【技術資料】焼成依頼前に必読！材料ごとの適切な炉×温度の対応範囲

PR【研究・開発・OEM向け】焼成依頼前に知っておくと便利な《炉の設備×温…

焼成依頼に役立つ『炉×温度×材料の対応範囲』について紹介した本資料は、「大気焼成炉の対応温度とその実績」や「雰囲気焼成炉の対応温度とその実績」、「所有炉の対応温度」などを図を使いながら分かりやすく紹介した資料です。 【掲載内容】 ■よくあるお悩み事 ■加工実績例 ■大気焼成炉の対応温度及び実績分野 ■雰囲気焼成炉の対応温度及び実績分野 ■所有炉の対応温度 ■分野別の焼成温度域 ■受託加工フロー ...

メーカー・取り扱い企業： 新興窯業株式会社 工場

真空はんだリフロー装置・酸化膜還元装置『RSS-210-S』

PRギ酸・水素還元両対応！最大200mm×200mmの基板に対応可能な卓上…

ギ酸・水素還元両対応卓上型真空はんだリフロー装置です。 業界最小クラスのコンパクトさながら、 大気・窒素・還元雰囲気（ギ酸または水素）、 また真空リフローにも対応。 さらに高速昇温・水冷方式による高速降温を実現しているので 研究開発や試作に適したモデルです。 はんだリフローや金属の酸化膜還元処理の他、ペースト材料の焼結など、様々な アプリケーションにも柔軟に対応します。 【特長】 ■フラック...

メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社

基板接合（直接接合・陽極接合・真空封止）

基板接合（直接接合・陽極接合・真空封止）

■陽極接合・直接接合・熱圧着接合に任意対応 ■ウェハーレベルからチップレベル接合に任意対応 ■加熱エリア・温度：φ6cm・Max1,000℃ ■加圧：Max1,000kg/cm2 ■雰囲気圧力：真空〜加圧雰囲気 ■各種MEMSセンサー・マイクロチップ・次世代デバイス ■表面改質ユニット任意取り付け対応可能 ■半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品なら 　...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

近赤外線塗装乾燥炉「ハロゲンランプオーダーシステム」

近赤外線ハロゲンランプを使用し高効率な乾燥機を設計！内側から乾燥や効果…

スト削減や環境エコにも繋がります。 目的、用途、被乾燥物に合わせた乾燥・加熱性能を提供し、様々な材質、目的に合わせ設計いたします。 ■特徴 ・レスポンスの速さ ・ランプ式放射加熱で雰囲気温度に影響されない質の高い赤外線を放射 ・均一な照射で焼きムラ・乾燥ムラを低減 ・コンタミフリーなクリーン加熱で、大気中・真空中など加熱雰囲気不問 ・約３０００～５０００時間（使用環境や出力...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーコー 埼玉事業所 ＩＰＳ営業課

フレキシブル シンタリングシステム『SIN200+』

次世代パワー半導体モジュールのシンタリング（焼結）接合試作＆量産装置

るダイアタッチ接合のR&D試作評価から量産までの用途に対応できます。特に、SiCパワー半導体に最適です。 真空チャンバー内での加熱、シンタリング（加圧）、冷却の全工程で、サブストレート温度、雰囲気圧力および、プロセスガスを、リアルタイムで正確に制御することができ、併せてギ酸ガスによる還元も実行可能です。従来の大気圧下での接合に比べて、圧力、加圧、ガス注入を適時変化させながらのプロセスは、よ...

メーカー・取り扱い企業： ピンク・ジャパン株式会社

耐蝕・耐熱ベローズバルブ

耐蝕・耐熱ベローズバルブ

スク部は、ネジ込み・キャップ構造で簡単に交換ができ、シールは安心・長寿命です。 ■ディスクはシート面であるためダストが発生しません。 ■常温タイプの駆動部は硬質PVCでカバーされている為、雰囲気の良くない場所に設置可能。 ■耐圧タイプの駆動部のカバーは、金属＋４Fコーティングにより耐蝕及び耐熱性に優れます。 ■接続部はネジ漏れの心配がない継手一体ですので、メンテナンスは安心です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

耐熱・耐薬品エアーバルブ（ふっ素樹脂PTFE製）

耐熱・耐薬品エアーバルブ（ふっ素樹脂PTFE製）

接液部は全てふっ素樹脂を使用していますので、耐薬品性、耐熱性に優れています。駆動部は硬質塩ビでカバーされていますので、雰囲気の良くない場所にも設置できます。（AV１型はヘッド部がアルマイト製） また、多くの企業様から、「もう数十年使っているけれど、かなり丈夫だから、安心して使えるよ。」など、多くのお声をいただいてお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

ト（SH-BN型） ◎ 最高使用温度 ・850℃（SH-IN型）, 1100℃SH-BN型 ◎ 対応基板サイズ ・1〜6inch（*1, 1.6inchはインコネルタイプのみ） ◎ 使用雰囲気 ・SH-IN：真空（1x10-7Torr）, 不活性ガス, 大気, O2, NH3, SiH4, CH4他 ・SH-BN：真空（1x10-7Torr）, 不活性ガス, H2, He, CH4...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハーをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全システムが装備されています。 ■特長 ・ デバイス・ウエハー・ガラス・部品等、材質や形状を問わず...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）

高純度、高熱伝導、軽量で靭性があり、高い耐熱衝撃性を発揮する高温セラミ…

クトロニクス、冶金、薄膜形成、蛍光体などで幅広く使用されています。 【特長】 ■無毒（人体に無害） ■高純度（半導体製造にて実績） ■低密度（軽量化が可能） ■化学的に不活性（腐食性雰囲気中で実績） ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

クリーンルーム内の重量物搬送に！【エアーキャスター】

エアーの力で重量物を浮上させ、ごくわずかな力で搬送できる装置です！国内…

ム内での重量物の運搬に好適。 ■振動が少なく露光装置、半導体装置等の精密機器の搬送に最適。 ■床を傷めず重量物の移動が可能。 ■プラントエアーで運転できる。 ■騒音や粉塵の心配がなく、防爆雰囲気でも使用可。 ■ランニングコストがほとんどゼロ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関西加工機商会

枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中

フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェット…

ダメージフリーのダウンフロー型表面波プラズマの強還元性Ｈ２ラジカル雰囲気でフラックスレスリフロー　フラックス塗布、洗浄工程　塗布装置、洗浄装置を削減。完全ドライＣｔｏＣシステム。ファインピッチバンプの短タクトリフロープロセスを実現。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

半導体チップの不良に頭を抱えている担当者様へ

チップ持ち帰り不良の多さの原因がわからない方などにオススメ！

長穴、2穴、3穴等カスタムメード品の設計、製作 ■全てチップ持ち帰り対策用に開発 ■薄形ダイ用吸着面ミゾ付コレット（CGコレット）（正方形、長方形）も 　標準仕様で提供可能 ■イオナイザー雰囲気対応品 ■狭ピッチ用先端鋭角ゴムコレット ■フリップチップボンディング用ハンダバンプチップ、BGA吸着用 　カスタムメードラバーチップコンタクトエリアが小さいハンダバンプチップの 　エッジ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

トランス・大型電磁石・制御装置・電源装置

この国の産業を支える独自に培ってきた先進技術

　かつ温度上昇が抑えられることで鉄使用量も削減できることから　小型・軽量化が実現できます。 防塵性・長寿命化 変圧器の発熱が抑えられるため　変圧器自体を完全密閉可能となり　防塵性にすぐれ　雰囲気環境の悪い場所への設置も可能。　　　　　　　　　　　　　　発熱が抑制され　長期間安定した稼働が可能で　且つ長寿命の信頼性が高い製品です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 東邦電気株式会社

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

コンタクトアニール用ランプアニール装置『RLA-3100-V』

GaN基板の処理も可能！コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装…

6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応可能な コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装置です。 耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、 N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。 また、自動ウェーハ載せ替え機構を装備し、C to C搬送を実現します。 【特長】 ■～6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応 ■自動ウェーハ載せ替え機構を装...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

真空熱加圧装置 3Dタイプ

3D形状へ真空熱加圧を行う装置です。 曲面貼りや凹凸封止、段差への追…

等を行います。 《特徴》 〇曲面や段差などに等方向加圧が可能なミカド特許技術です。 〇異形状なワークのどの面にも金型なしで加圧を行う事が可能です。 〇ミカド独自のチャンバー構造により、雰囲気の切り替えが短時間で出来ます。 〇光エネルギー使用する事により、非接触の加工も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

カワソーテクセル株式会社　事業紹介

熱い想いでアイデアを練る！更なる未来へとつないで、新たな伝統を刻んでい…

【主要生産設備】 ■スプレードライヤー ■大型ラバープレス ■真空炉 ■マシニングセンタ(パレットチェンジャ付) ■ガス雰囲気炉 ■TIG溶接機　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： カワソーテクセル株式会社

真空チャンバー制作技術紹介

真空容器製作等にお困りの方は是非弊社まで！！

ば1ヶ月程度 《品質保証》 《低コスト》 必要な仕様に対応する適切な設計によるコスト低減 【制作例】 小型実験用チャンバー、実験用チャンバー、中性子加速器用チャンバー Ar雰囲気溶接用グローブボックス、液晶製造装置用チャンバー、蒸着装置用チャンバー など、実績はございますのでご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空容器制作事例「実験用チャンバー」

真空容器制作事例のご紹介

ば1ヶ月程度 《品質保証》 《低コスト》 必要な仕様に対応する適切な設計によるコスト低減 【制作例】 小型実験用チャンバー、実験用チャンバー、中性子加速器用チャンバー Ar雰囲気溶接用グローブボックス、液晶製造装置用チャンバー、蒸着装置用チャンバー など、実績はございますのでご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

『半導体ロボット設計製作』事業紹介

新しい可能性をカタチに！ものづくりをトータルコーディネートいたします

株式会社ソーワエンジニアリングでは、半導体搬送装置の開発設計から 製作・組立までを一貫して承ります。 半導体装置メーカーへの納入実績27年。 真空雰囲気での搬送装置の為、高度な技術を必要とされます。 また、部品検査、出荷検査を行い、ISO9000に準拠した品質保証体制を 整えております。 【製品例】 ■ロボットリンク部 ■半導体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソーワエンジニアリング

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空対応 位置決めテーブル ＜PT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜PT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル