電極式 | イプロスものづくり

PR１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイ…

エスケイ電子工業の工場用マットスイッチは、１００万回もの繰り返し運用が可能。特殊コーティングしたアルミ板フィルムにウレタンスポンジを挟み込む独自構造で、高耐久性を低価格で実現しました。不感部分が少なく、確実な動作も特長です。防水仕様は、耐油と非耐油、２線式および４線式をラインアップ。色、形状、寸法、厚さもカスタマイズ可能です。長年にわたりご利用いただき、約50年間の実績がありますので、安心して...

メーカー・取り扱い企業：エスケイ電子工業株式会社

各ランプの光量制御で待機電力削減に貢献！『電子点灯UV照射装置』

PR【省エネ・電力削減】各ランプ毎に光量調節が可能で１０Aタイプの国産及…

ADPECが提供する電子点灯式UV照射装置は、従来のトランス式の電源を登載したUV照射装置を進化させ、電子制御方式の電源ユニットを搭載した新UV照射装置です。本製品はUVランプの調光が可能となり、その範囲は最大10％～100％となっておりますので、塗装ラインの始動時やセット替え時は10～20%近辺で点灯する事により、待機電力の大幅な削減が可能となります。また、ランプを複数本...

メーカー・取り扱い企業： J-one（株式会社アドペック/ヤマシン技研株式会社）

化合物半導体用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１６５０ＳＰＢ型）

先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…

従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。実績豊富な６連式電子銃は高融点金属を含む多層膜電極形成に対応しています。また安定した蒸着が特徴でマイクロアークによる基板ダメージやドロップ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

浸漬揺動式電解研磨機｜NSCエンジニアリング

「電解研磨装置」「専用電極治具」「電解研磨液」を一括提供いたします。

『EP-ISシリーズ』は浸漬電解研磨に独自機能を付与した電解研磨自動装置です。電解研磨処理中に発生する酸素と水素ガスを独自の液揺動方式で攪拌し、好適な処理条件のもと高品質電解研磨を実現。【ターゲット層】・電解研磨を内製化したいお客様・電解研磨を生業にしており自動装置導入により効率化したいお客様【特長】 ■材料表面がクロムリッチになり耐蝕性向上 ■表面粗度が改善し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NSC エンジニアリング本部

サンユー電子　真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ

スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子

1976年の創業以来一貫して、“使いやすい、簡単、便利”にこだわったものづくりを通じ、多くの方々に、スパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器をお使いいただいております。 SEM用前処理用としてのスパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、各種デバイスの電極付け用途としてのスパッタ装置、真空蒸着装置は、大学や公的研究機関の各研究室、民間企業の開発担当の方々...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

液体ソースプラズマCVD装置

小型でスペース効率の優れた装置！基板はφ4インチ対応で、加熱機構・T/…

当製品は、TEOSをはじめ、液体原料ソースを対象としたシリンダーキャビネット付きプラズマCVD装置です。液体ソースに対応したベーカブルMFC、各種ベーキング機構を備えており、内部異常放電防止対策や安定プラズマ生成目的の独自のプラズマ電極を設計開発。上蓋開閉により基板交換、内部メンテナンスでき、小型でスペース効率の優れた装置です。【特長】 ■シリンダーキャ...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

ウェハプロセス用真空蒸着装置

膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現！高品質の電極膜を安定して形…

『ウェハプロセス用真空蒸着装置』は、6インチまでのウェハへの電極膜形成に対応したバッチタイプ蒸着装置です。ディスクリートIC、化合物IC、MEMSデバイスの量産用途に豊富な実績を持っています。膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現するオイルフリー排気系により高品質の電極膜を安定して形成が可能。量産用途の蒸着装置として高い稼働率を誇ります。【特長】 ■信頼性...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

ＦＰＣに代表されるフレキシブル電子デバイスの量産に実績対応。社内デモ機によるプロセスサポートにより各種の個別要求に確実に対応。一般的な樹脂フィルムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績独自開発による高使用率カソードと実績豊富な搬送機構により安定した稼動を実現。プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなど豊富なオプション機構を揃えており多目的なフィルム連続処理装置とし...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

TMPタイプ　真空蒸着装置

簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…

「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP＋RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。シンプルかつイージーオペレーションで、将来の機能拡張までをも考慮しています豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。また、専用オプションにより、有機物の薄膜...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

高真空蒸着装置『RD-1230』

サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動…

高真空蒸着装置『RD-1230』は、ぺロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置です。抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能です。排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては高性能な成膜制御が可能です。【特長】 ■ロブスカイト太...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンバック本社

カーボンコーター　SC-701CT

個人差のないカーボン蒸着が可能に！ EPMA・分析SEMの前処理用とし…

QUICK CARBON COATER SC-701CTは、EPMAや分析SEMの試料作製の手間を省いたカーボン蒸着専用コーターです。誰でも簡単・手軽にカーボン蒸着できます。個人差のない蒸着を実現し、試料に対する熱ダメージを低減します。【特長】〇フラッシュ式蒸着法を採用　→　個人差のないカーボン蒸着を実現〇蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省く〇ロータリーポンプのみによる...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

エキシマUV装置（ハンディタイプ）

超小型ハンディ式エキシマUV装置本体重量：3.8kg 寸法：W3…

超小型ハンディ式エキシマUV装置本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能【社内実験機仕様】・実験可能サイズ：600×700mm（最大）・ランプ照度：50～140mW ・ランプ灯数：5本・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計で...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

リフトオフプロセス対応真空蒸着装置

高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…

『リフトオフプロセス対応真空蒸着装置』は、化合物半導体やSAWデバイスなど光デバイスや高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置です。蒸発源に電子銃と抵抗加熱電極を装備しており、高融電極膜や貴金属を含む厚膜の形成が可能。基板への蒸発粒子の入射角の垂直性に優れており、成膜時の基板の温度上昇を防ぐ各種機構（基板水冷機構、電子銃用反射電子トラップ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

バイアススパッタリング装置『SPR-014-B』

良好な絶縁膜形成を実現するバイアススパッタリング装置！

『SPR-014-B』は、基板側にバイアスを印加しながらスパッタリングを行い、絶縁層用の成膜が可能なロードロック式バイアススパッタリング装置です。ピンホール密度が低く、良好なステップカバレージ性を備えた良好な絶縁膜形成ができます。【特長】 ■低いピンホール密度 ■良好なステップカバレージ性 ■次の電極層に有利な平坦性　・排気系はドライポンプと磁気浮上型TMP...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本シード研究所

オルテコーポレーション　会社案内

持ち帰りをゼロにし歩留まりを向上！半導体製造装置ごとに最適化されたピッ…

オルテコーポレーションは、半導体製造装置の消耗パーツを取り扱っている会社です。「エポキシディスペンシングルノズル」や「交換式ゴムコレット（交換式ラバーチップ）」といった後工程で使われる様々なパーツを取り扱っており、数十年に及ぶ豊富なケーススタディから、最適なコレットをご提案いたします。半導体でお困りのことがあれば、是非当社までご相談ください。【取扱製品】一部抜粋 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

『KVD-OLED Evo.6』は、有機EL材料の塗布材料を目的とした OPV(有機薄膜太陽電池)用蒸着装置です。有機材料の塗布工程は接続されているグローブボックス(MBRAUN)の中で行い、搬送機構を用いて蒸着室内に基板を搬送し、電極を蒸着させる一貫した装置となります。グローブボックス（MBRAUN社製Labmaster）と接続でき、ロードロック室間は手動の搬送機構...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社