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【FOOMA2024出展決定】クリーン環境対応の天井搬送システム
PR納入事例動画あり!工程間搬送で実績多数のワーク形状を問わない高速搬送シ…
■FOOMA JAPAN2024に出展決定■ 会場 :東京ビックサイト 東1~8ホール 会期 :2024年6月4日(火)~7日(金) 4日間 ブース番号:東7 P-15 ぜひ実機をご覧ください! 「オートランバンガードMark2」は、モノレール式の高速自動搬送システムです。天井を走行し、人やコンベヤや加工機などの地上導線に囚われない最短ルートでの工程間搬送を実現します。ハンガ部分はお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社椿本チエイン マテハン事業部
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PRミリ単位以下の微小な変化を検知!医療機器・電子機器への干渉、影響はあり…
株式会社日本ジー・アイ・ティーは、UWBをはじめとする先端技術の 開発・設計・製造・販売を専門とする企業です。 当社が取り扱う『UWBレーダー方式センサー』は、1mm以下の微小な 変化を検知します。 医療機器・電子機器への干渉、影響がなく、プライバシー保護にも寄与。 バイタルセンサーや、工程内異物検知などにも応用が可能です。 【特長】 ■1mm以下の微小な変化を検知 ■...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本ジー・アイ・ティー
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微小□2.0mmICウエハチップを非接触にて掴みます。
「微小□2.0mmウエハチップ非接触チャック」は、気体を噴出することによりミュウチップと本気底面に儲けたクッション室内部とチップに対向する作動面との間隙に負圧および正圧を発生させ微小2.0mm角ICミュウチップを非接触状態にてつかみ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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6inと8inウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる
「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許) 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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化合物半導体ウエハ(GaAs,InP,GaP)を気体供給操作を行い、ウ…
◎特徴 1.450℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 2.化合物半導体ウエハ(GaAs,InP,GaP)の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2~4in ウエハ ・Φ2~4inx1/4ウエハ ・Φ2~4i...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック
ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の「非接触チャック」は、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 ●多種多様のワークに対応 ユーザーの業種は、半導体、...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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重量物非接触搬送装置「フロートチャックSA-5C(SAN)型」
重たいワークでも効率よく非接触搬送可能なベルヌーイチャック
重量物非接触搬送装置(フロートチャックSA-5C(SAN)型)は、新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット
φ300mm高屈折率ガラスウエハ撓ますことなく、ストレスをかけることなく、キズ、汚れを付着させることなくマニュアル操作によるピンセットにて非接触にて移載およびハンドリングする。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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厚さ20μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 す…
TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。 反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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空気でつかむ
●気体を噴出することによりベルヌーイ効果・エゼクタ効果により生じた負圧によりLCOS個片を非接触にて吸引保持、搬送する。 ●きず、汚れ、パッド跡を付けない。 ●クリーンルームにて使用可能 ●通気性ワーク、穴あきワーク、極薄柔軟ワークも可能 ●手操作にても使用可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」
気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「…
ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。 ・ウエハ非接触搬送装置 ・ガラス基板非接触搬送装置 ・非接触ピンセット ・太陽電池ウエハ非接触搬送装置 ・ウエハチップ非接...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック
す。超高温域て使用する石英ガラスは、高純度で熱・酸に強く機械的強度が高い等、数多くの特質を持っています。 半導体製造工程における洗浄槽、酸化拡散炉、エッチング装置、CVD装置等におけるウエハの非接触にて搬送、ガラスモウルディングレンズの非接触搬送が可能になりました。 その他、アルミニュウム、SUS、PEEK他、使用環境に合わせて製作しております。 ◎特徴 1.耐熱1000℃可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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1機種のレンズベルヌーイチャックにて広範囲の曲率のレンズに対応可能
用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用とにより、「異なった曲率レンズのレンズに対応するレンズベルヌーイチャック」は異なった曲率をの凹、凸レンズを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持し搬送します。 このためレンズ表面に傷を付けたり汚したりすることが無く、また発塵を防止いたします。 またレンズ曲率により機種を取り替える必要がなく、生産性が格段の向上し、設備...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…
ソ-ラ-リサ-チ研究所では、5.0mm□~ 微小ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と 圧力式エアクッション...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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空気でつかむ
●非接触にて吸引保持、搬送する。 ●きず、汚れ、パッド跡を付けない。 ●クリーンルームにて使用可能 ●通気性ワーク、穴あきワーク、極薄柔軟ワークも可能 ●手操作にても使用可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ごみをまき散らさないクリーンルーム対応ベルヌーイチャック
クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、気体を噴出することにより効率よく、ワークを非接触(非接触)状態にて懸垂把持し、搬送します。 クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、ノズルより噴出した排気を吸引捕捉する排気回収機構が設けられていますので排気のクリーンルームへの流...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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半導体ウェハーをコンパクトに梱包。薄ウェハーも安全に搬送可能。ANSI…
れており、ANSI/ESD S541規格にも対応しています。 テストウェハーなどの小LOTからお客様のウェハー搬送をお手伝い致します。 3Ds-ICやレンズ実装などウェハーの表面に触れない非接触搬送や、 フィルムフレーム付ウェハーの搬送、GaN、化合物ウェハーの搬送など、 ウェハー搬送にお困りの際はぜひご相談下さい。 【特長】 ■薄ウェハーも安全に搬送可能 ■スペーサーは両...
メーカー・取り扱い企業: アキレス株式会社 工業資材販売部
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空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック
、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ワークを空中に浮遊した無接触(非接触)状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜することが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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超細1.4mmx長55mmの極細・長尺ワーク用ベルヌーイチャック
幅1.4mmx長さ55mmの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベ…
超細・長尺ワ-クを非接触吸引するため新方式: 気体垂直噴流方式(VGF方式)を採用。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-CL型」シリーズは極細・長尺ワ-クを効率良く吸引するため新しく気体垂直噴流方式(VGFS)...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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誰でも使える現場向きの使いやすさと、裏面反射キャンセルなどの高機能を両…
やすさ アライメント補助機構があるため、初めて使用する方でも容易に測定ができます。また光量の自動調節により、反射率の大きく異なるワークでも基準板の交換の必要がありません。更にマウスを触らなくても非接触センサーで解析スタートができるため、操作による振動の心配も不要です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マブチ・エスアンドティー
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最大10pc/secの高速ピックアップ技術で高生産性を実現!独自技術に…
マッピング機能対応や画像処理機能対応(割れ・欠け・異種混入)など、オプション機能も充実しています。 【特長】 ■高速ピックアップ技術 ■モーションコントロールによる動荷重の低減 ■非接触によるダメージレス素子位置決め ■極小チップも確実収函 ■品種切替の時短対応技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ハイメカ株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】ウエハー高圧ジェットスクラバー HPC-865…
ウエハー表面を非接触で純水の高圧ジェットにより洗浄するものです。 【特徴】 ◯パーテイクルの除去 ◯粒子状汚染除去 ◯ウエハー表面のバリの除去...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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3D形状へ真空熱加圧を行う装置です。 曲面貼りや凹凸封止、段差への追…
カド特許技術です。 〇異形状なワークのどの面にも金型なしで加圧を行う事が可能です。 〇ミカド独自のチャンバー構造により、雰囲気の切り替えが短時間で出来ます。 〇光エネルギー使用する事により、非接触の加工も可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: ミカドテクノス株式会社
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ウェハフィルムマウンティング装置 HS-7600/HS-7800
気泡無く貼り付け可能!パターン面非接触式も製作できます
『HS-7600/HS-7800』は、常にフィルムにテンションを掛けた状態で マウントする独自の構造により、ウェハとフィルム間に気泡を 入れる事なく、完璧なマウントを行ないます。 また、特殊仕様に対応可能な各種オプションも完備。 各種デバイスや工程に対応した製品を豊富に取り揃えております。 (UV硬化タイプ、ノンシリコンタイプ、帯電防止UV硬化タイプ、BGタイプ等) 【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業: ヒューグルエレクトロニクス株式会社
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脆いフィルム,超薄シートを非接触にて把持し移載いできます。
脆いフィルム、薄いシート、柔軟性シート、通気性シ-トを搬送する 「脆弱フィルム搬送装置」。 ◎特徴 1.脆い、弱い、薄いフィルムを破損せずに搬送が可能である。 2.噴出気体流がフィルムに衝突しない。 3.吸引圧力が保持面全体でほぼ均一である。 4.フィルムの脆さに応じた吸引力に調整が可能である。 5.フィルムの支持間隔が小さい。... 「脆弱フィルム搬送装置」は、気体流の負圧発生...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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【展示会出展】ヘルスケア・医療機器開発展/再生医療EXPO
流体コントロール製品を中心に多数ラインアップ。医療分野で活躍す…
電装産業株式会社 -
流体解析AI『DeepLiquid』
カメラを設置するだけ。非接触で水質を解析可能。 監視業務の省…
AnyTech株式会社 -
【加工事例】白色干渉顕微鏡による加工面の測定
mm単位を超える広い面内測定範囲!多結晶セラミックスとSiC単…
株式会社新興製作所 -
79GHzミリ波レーダー方式 非接触型振動センサー
悪環境(高温等)でも影響なし!40KHzまでの広帯域・高振動周…
サクラテック株式会社 -
Enovasense Field Sensor
高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレ…
プレシテック・ジャパン株式会社 -
超音波流量計|定置タイプ「ISTT-D9000」
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ハイテック株式会社 -
人協働ロボット搭載AGV
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田辺工業株式会社 -
MANNER社製『テレメータ』
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株式会社マツイ 東京本社