リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

計測サービス『地上型3Dレーザースキャナー』

短時間で面的な点群データを高密度・広範囲に取得でき、測量作業の効率化を…

構造物をはじめ、道路擁壁や造成地などで計測した事例がございます。 【点群データの活用範囲】 ■断面図作成 ■土量計算 ■平面図化 ■不陸計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【点群データの活用範囲の詳細】 ■断面図作成 ・地形を確認しながら任意の場所と方向で、縦横断図の抽出が可能。 ■土量計算 ・点群データから土量を計算することで...

メーカー・取り扱い企業： シマウチエンジニアリング株式会社