超低湿度用防湿庫『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』

PR新型デジコンと高精度湿度センサー採用！ドライユニット内の特殊乾燥剤は半…

『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』は、新型デジコンにより庫内の湿度を 正確にコントロールできる超低湿度用防湿庫です。 高精度湿度センサーの採用により正確に表示することが難しかった5％RH以下の 湿度を正確に表示。超高速除湿のHYP・DUSに湿度設定と自動省エネの機能が 付いて高性能化しました。 使い易い全面ワイドドア（マグネットパッキン式）で、中央支柱がないので、 横長のもの...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

【定量ポンプ・塗布装置・粘度計・環境装置】展示会出展のお知らせ

PR2024年5月8日~10日開催 サステナブルマテリアル展＠インテック…

2024年5月8日(水)~10日(金)の3日間、インテックス大阪にて開催される 『高機能素材Week2024』のサステナブルマテリアル展に出展致します。 ＜会場＞ インテックス大阪　5号館 小間番号　→　【　10-37　】 ＜出展製品の詳細＞ ■精密ギヤポンプ ・精密加工により高精度な定量送液が可能な定量ポンプ ■ギヤポンプ式塗布装置 ・高粘度/高圧/高精度/高耐久の定...

メーカー・取り扱い企業： 協和ファインテック株式会社

容積計量チューブポンプ式ディスペンサー『TME』

チューブポンプのイメージを一新するチューブポンプディスペンサー。 微少…

『TME』はいままで微量吐出には不向き、チューブ交換時の吐出量調整が難しいといったチューブポンプのイメージを一新します。 独自のカム動作を高精度小型DDモーターで低速回転から高速回転で制御します。 １ショットの吐出量はマイクロメータによりチューブ内容積を変更することで調整できます。 独自のチューブ固定方式によりセット時のばらつきがありませ...

メーカー・取り扱い企業： ESER Corporation-Japan(イーサージャパン） さいたまラボ

高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

セル方式のOGS量産用スプレーコーター。　ガラスキャリアに化学強化済みのガラス基板（個片）を張り合わせ、複数個取りの状態でOC1などのレジストコーティングを自動で行う量産用装置。 レジスト膜厚２um前後で±5%(個片）のユニフォーミティを実現し、OGS量産プロセスの歩留まり向上に貢献しています。 ガラス基板（キャリア）サイズ 550 X 650 (mm）まで対応した全自動スプレーシステム。基板...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

中大物向け1200×1100×650ｍｍ5軸制御型立型MCを保有

最大加工サイズφ1000×500、工程集約による短納期対応、複数面アプ…

高精度の五軸ＭＣを導入することで、量産品だけでなく単品物まで幅広く対応することが可能となりました。工程集約を最大限に活かし、高精度品をタイトな納期で対応することに加え、複数面アプローチによる複雑形状の高精度加工と様々な業種のお客様からお引き合いを頂いております。高精度三次元測定機による保証とセットで高い信頼とご愛顧を頂いております。 まずはお気軽にお問い合わせください。 品質保証【測定設備】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三栄精機工業

枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

『自動レジスト塗布現像装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布現像装置です。 装置内にレジスト塗布チヤンバーと現像チヤンバーを設けています。 レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。 また、現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれ循環し、高精度の現像処理が出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンロー...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ロール to ロール片面露光装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置

ターンを焼きつけます｡ 装置は､ロール巻出機→クリーンローラ装置→エッジコントローラ装置→露光部→ロール送り部→ロール巻取機によって構成されます｡ 【主な特長】 平行光光源による高解像度 高精度基板搬送(サーボロール送り､エッジコントローラ) テンション(張力)コントロールが可能 露光部クリーン対応(上部HEPAユニット装備､露光部内面はSUS板)...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

両面アライメント付きロール to ロール露光装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度両面露光装置

FPC両面回路形成用露光機で､ロール状両面FCCLに､ドライフィルムをラミネートしたものに対し､両面回路を高精度で露光可能です｡ 両面同時アライメントを行い露光するため､FPCの裏表露光精度を高めることができます｡ また､両面同時露光を行うので､高い生産性が得られます｡...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

内層板用両面同時露光装置　光 ＨＤＥ１１０Ｓ

今までの露光装置とは生産性が違います！

　　◆高生産性 　　　・高スループット：最大5枚／分 　　　・大基板サイズ対応：最大30×24インチ 　　◆高精度露光 　　　・高精度アライメント：新画像処理システム 　　　・安定露光：楔形真空接合方式 　※詳細は『カタログダウンロード』か『お問い合わせ』よりどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 豊和工業株式会社 機械事業部ＣＥ営業グループ電子機械チーム

薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

大村技研の『フォトリソグラフィープロセス装置』は、薄膜電子部品工程 における一連のプロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。 洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および 研究開発向けの設備を提供します。 「全自動スピンエッチング装置」は、ウエハを1枚ずつ取り...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

スピンナーASC-4000

ACサーボを採用し常に安定した回転精度のスピンナー(スピンコーター）

ACサーボモーター採用。 高剛性の主軸部。 ワークを選ばない回転安定性。...小型スピンナーでは突出した高出力ACサーボモーターを主軸回転に採用することにより抜群の回転安定性を誇る。 プログラムは最大99ステップを9パターン保存可能。 〜φ6インチと〜8インチ用をご用意しています。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハレジスト塗布装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

『自動ウエハレジスト塗布装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布装置です。 レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。 また、レジストの他、接着剤の塗布、保護膜の塗布等にも使用出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたは...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社