【無料オンラインセミナー】「トヨタ流の仕事の秘密」開催のご案内

PR企業成長に向けた人材育成にお悩みはありませんか？　トヨタでは物づくりの…

株式会社豊田マネージメント研究所は、無料オンラインセミナー「"自分が 変わる 職場が変わる" トヨタ流の仕事の秘密～TMS導入編～」を開催します。 当セミナーでは、トヨタ文化の柱となる「Toyota Way」と「トヨタ生産方式 (TPS)」の基本的な考えをオフィスワークに応用したマネジメントシステム 「TMS(Toyota way Management System)」をトヨタのOBがご紹介。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社豊田マネージメント研究所

三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ

PR研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」…

　株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、 小ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社／静岡市、支店／東京・沼津・中部・大阪、営業所／横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸

バッチタイプＳＷＰアッシング装置

ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラ…

ルド。基板にラジカルのみを供給。 高密度ラジカルによるウェット同等のダメージレスアッシングを実現。 ハイレートとダメージレスアッシングを両立。コンパクトなバッチタイプで小型基板・化合物半導体・ＭＥＭＳデバイスに対応 ＭＥＭＳ製造プロセスの有機膜犠牲層除去に優れた効果を発揮。 ハイエンドＭＥＭＳデバイスに必須のレジストアッシング装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Hills(ヒルズ）社　ハイテクファイバー製造装置

ハイテク繊維、不職布の製造分野で幅広い技術と多くの実績を保有！

先端素材である特殊機能繊維の開発において中心的な存在であるヒルズは、常に革新的な繊維開発ソリューションを提供します。ハイテク複合繊維紡糸技術・ＭＥＭＳファイバー・ナノチューブ状に紡糸したナノチューブファイバーなど、時代が求めるハイテク繊維生産・開発のためのキーテクノロジーを提供します。詳しくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

デスクトップ高精度搭載機

デスクトップ高精度搭載機

中） ・自社開発の小型ステージの採用で破格コストとコンパクトさを実現（特許申請中） ・高速画像処理による高精度な自動アライメント機能搭載 ・マイクロハンドとスポット加熱工法の組み合わせによりＭＥＭＳデバイスの組立に最適（多品種チップ集積化に最適） ...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

メムス・コア　開発受託サービス

新世代ＭＥＭＳ製品の開発・製品化を進めております

原理試作・プロトデバイス試作・量産までをトータルでサポートいたします。また、外部ファブ、大学機関との連携により、競争力の強い価値あるサービスをご提供いたします。また半導体プロセス技術ではなしえないＭＥＭＳ製造特有のプロセス（マイクロマシニング）を保有します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メムス・コア

MEMS開発プロセス装置

MEMS開発ツール・精密アライメントのナノテック

『MEMS開発プロセス装置』では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「片面マスクアライナー」や、両面プロセスのローコストアシストモデル「正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスのスタンダード量産機「両面同時露光マスクアライナー」、自動化・量産化のカスタム対応装置「オートマスクアライナー」、専用露光装置「カスタムマスクアライナー」、カスタム設計対応の「アライメント固定装置」、独自のクランプ機構を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

MEMS開発ツール

ナノテックのMEMS開発ツール製品情報です。

『MEMS開発ツール』では、標準片面マスクアライナーや、試料裏面観察アライナーの「マスクアライナー」、UVナノインプリンター・マイクロコンタクトプリンターの「インプリント」、スプレーコーター「コーター」、オンリーワンのローコストマスク作製機「簡易マスク作製機」など多数掲載しています。陽極接合用アライメント装置、赤外線観察アライメント装置、各種張合わせアライメント装置の「仮止め装置」、真空接合装置「...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

メムス・コア　MEMS用最新ダイシング加工

新世代ＭＥＭＳ製品の開発・製品化を進めております

シング加工技術では、MEMSウェハやLSIウェハを、「切りシロ」なく、「ドライプロセス」でチップに分割することができますので、従来のダイシング法にない多大な効果が期待できます。 特に脆弱構造を持つＭＥＭＳデバイスの開発にあたりましては、設計・試作・開発の時点から本技術をご利用になることをお勧めいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メムス・コア

テレセントリックｆθレンズ仕様　レーザ露光装置

テレセントリックｆθレンズとポリゴンミラーによる「ラスタースキャン型レ…

プリンテッド・エレクトロニクス関連で、絶縁膜のパターン形成や金属パターン形成、ＭＥＭＳ形状のバンク・隔壁形成に、ポジレジスト・ネガレジストをマスクレスで直接露光する「レーザ露光機」です。テレセントリックｆθレンズとポリゴンミラーによる「ラスタースキャン型レーザ露光」で走査幅全域にお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・ドライブ

マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。 Ｒ＆Ｄ・ディスクリート・化合物・ＭＥＭＳ・パッケージ・実装工程・マスク・小型ＦＰＤ　多くの基板に専用機構を用意。 基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。 各用途専用カソード（ワ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

研究開発用スパッタリング装置

コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…

少量生産対応可能な上位機種の能力を手動操作型の簡易実験機で実現 ８インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりＭＥＭＳ・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応 電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチ式真空半田付装置（フラックスレスリフロー　真空リフロー）

パワーモジュールからウェハバンプまでフラックスレス・ボイドレスリフロー…

ボイドレスを実現。バッチ式のコンパクトな装置形態でガス・電力の省エネ化を実現。 立上・処理・メンテナンス含め短タクト処理を実現。 パワーモジュール半田付だけで無くウェハバンプリフロー、リペア、ＭＥＭＳデバイス封止工程等各種接合工程に幅広い実績。 ナノ金属ペースト焼結接合工程にも実績と柔軟で積極的な試作対応 【展示会概要】＜ネプコン・ジャパン 2020＞ 出展：第34回 ネプコン・ジャ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

研究開発用インクジェットプリンターDMP2850　リフレッシュ

DMP-2850リフレッシュ （メンテナンス：ヘッドラッチ、ベルト交…

FUJIFILM Dimatix社製マテリアルプリンター「ＤＭＰ−２８５０」は、ＭＥＭＳピエゾ方式インクジェット技術を用いて微小液滴が吐出可能な研究開発用途向けインクジェットプリンターです。 DMP-2850リフレッシュ （メンテナンス：ヘッドラッチ、ベルト交換） をご提案...

メーカー・取り扱い企業： 富士フイルム株式会社 インクジェット事業部

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど多くのデバイスの量産現場で多様なプロセスで活躍中...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。 膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応 Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績 蒸着・アニール・ＣＶＤなどの異種プロセス室も装備可能で実績のあるメインフレーム（搬送システム）に各プロセス室を自由に接続できるフルカスタム・オ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店