- 製品・サービス
67件 - メーカー・取り扱い企業
企業
18件 - カタログ
86件
-
-
Φ4対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-100
GaNの結晶成長をはじめ、急速・均一な熱処理を必要とする幅広いアプリケ…
『RTP-100』は、業界最小クラス、研究開発及び試作開発に好適な、 卓上型真空プロセス高速加熱炉です。 Φ4インチ対応、専用サセプタにより小片サンプルのプロセスも可能です。 最大到達温度1200℃で多彩なガスパージ環境に対応。 GaNやSiCなどの新材料の結晶成長やペースト材料の焼結など、 多目的にお使い頂けます。 【特長】 ■窒素ガス、酸素ガス、フォーミングガス(...
メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社
-
-
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…
高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…
水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現 デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理(べーく・アニール)に最適。 実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保 電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
小径ウェハ(4インチ)や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…
化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のSiウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温(1000℃)均一加熱 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…
Siプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。 GaAs用のホットプレートタイプに比べ高温(900~1000℃)まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
ウェハやガラス等の多種基板の処理可能 幅広い用途対応した可変雰囲気熱処…
当社では、真空・酸素雰囲気(常圧)・還元雰囲気(常圧)の雰囲気での 処理が選択できる急昇降温型の「横型アニール装置」を取り扱っています。 6インチまでの各種基板(ウェハ、セラミック、ガラス、実装基板)の処理に 対応しており、薄膜やウェハのアニール、ナノ金属ペーストの焼成、 有機材のキュアなど多く...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
大面積で一括照射・高照度での照射が可能!複数パルスの照射もできる加熱装…
『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を アニールする光応用加熱装置です。 UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの 光により、0.1~60msecの範囲を任意に可...
メーカー・取り扱い企業: ウシオ電機株式会社
-
-
アニール処理にお悩みの方必見!コンパクトな遠赤外線アニール炉
応答性に優れた遠赤外線ヒーターと熱風加熱の併用により、均一に加熱するこ…
『遠赤外線アニール炉』は、樹脂成形品のアニール処理を画期的に変える システムです。 遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮。 処理時間が短くなる事により、コンパクトな連続炉とな...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エコム 本社 「ヒートスクエア」
-
-
ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置!大面積で一括照射、…
『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec)。 ワークサイズに応じて、...
メーカー・取り扱い企業: ウシオ電機株式会社
-
-
遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮
遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮します。 樹脂成形品のアニール処理を画期的に変えるシステムです。 ●処理時間の大幅短縮 遠赤外線の放射加熱及び熱風拡散を併用する事により処理時間を大幅に短縮できます。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部 東京営業所
-
-
加熱効率向上で省エネルギー化!高速応答性でサーマルバジェット低減を実現
『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可...
メーカー・取り扱い企業: ウシオ電機株式会社
-
-
プラスチック製品のアニール処理による、遠赤外線加熱の効果について解説
際、金型内部の位置によりプラスチックに温度差が生じるので歪みとなります。 これが寸法の変化、結晶化、耐候性劣化等さまざまな物性低下の原因となって います。そこで再加熱し歪みをとることをアニール処理といいます。 この処理には精密な温度分布と正確な温度制御が必要になり遠赤外線加熱の 得意とする分野となります。 従来は熱風式の固定炉で時間をかけて処理していました...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社AMK
-
-
遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉
当社製の遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉です。 処理時間の大幅短縮、コストダウン、インライン化に最適です。 (特長) ●早い加熱処理 例その1:自動車ヘッドランプ 溶着後の歪除去 60分⇒5分 例その2:ICトレー ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部 東京営業所
-
-
バッチ式アニール焼成炉
[仕 様] ◆使用温度‥‥‥‥600℃ ◆炉内均一性‥‥‥600℃±3℃ ◆PIDプログラム温調 ◆炉内寸法‥‥‥‥ご希望の寸法に対応 ◆外形寸法‥‥‥‥幅900mm×高1650mm×奥行1500mm ◆使用電源‥‥‥‥3相 200V 20KVA ...●アルミナボード材にヒーターを組込築炉、SUSマッフル炉にすることで炉内の均熱性を高めています。 ●内...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヒートテック
-
-
『焼鈍炉』なら 目的に合わせた温度で熱処理をすることでさまざまな材料の…
しまうと、組織の硬さが不均一であったり、機械加工時に加工ムラが生じたりします。[焼鈍]処理で軟らかくすることにより本来の材質としての効果を発揮することができます。[焼鈍]とは別名で[焼きなまし][アニール]とも言います。 【特長】 ● 急冷、徐冷、過時効などの適切な冷却コントロールが可能です。 ● 精密な温度分布を出すことが可能です。 ● 各種雰囲気ガスを入れることが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: サンファーネス株式会社
-
-
“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール!4-8インチウェ…
『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
-
-
丸祥電器社が取り扱う『特殊炉【アルミ溶解・保持装置】』
持装置】』の ご案内です。 ■□■特徴■□■ ■溶解炉 常用/最高温度:750℃/950℃ 丸祥電器社の技術は、食品の焼き上げや防腐処理、印刷や フィルムのキュア用、線材連続アニールやCVD用、 超伝導用高精度雰囲気処理、光学レンズ用ガラス溶解や プレス及びアニール、硝子フロート用レアーヒーター、 合成石英用プリフォーム炉、ロー付け、光輝焼鈍、セラミックや 焼結金属向...
メーカー・取り扱い企業: 丸祥電器株式会社
-
-
台車式焼鈍炉 厚みのあるワークでも規定の冷却時間で処理が可能
急冷や徐冷などの精密な温度コントロールにより生産効率を向上することがで…
■ 鋼を完全焼鈍したい →『ピット型無酸化焼鈍炉』 ■ 鋳物を焼鈍したい →『台車式焼鈍炉』 ■ プレス品の大物部品を焼鈍したい →『台車式焼鈍炉』『ピット型焼鈍炉』 ■ 光学ガラス成型品のアニールしたい →『台車式アニール炉』 *詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: サンファーネス株式会社
-
-
高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱 乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…
空ガスフロー処理、複数の処理モードを1台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。 真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品 高速加熱アニール 実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応 目的に合わせて小型からラインナップ。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
テルモセラ・ジャパン研究開発用実験炉を紹介。燃料電池・セラミックス等の…
Edge furnace セミオート式 超高温卓上型実験炉 Max2000℃ ◉ MiniLab-CF セミオート式 超高温実験炉 Max2900℃ ◉ MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉 Max2000℃ ◉ TVF-110 石英反応管縦型炉 Max1200℃ ◉ Nanofurnace 石英反応管 ホットウオール熱CVD装置 ◉ ANNEAL ウエハーアニール装置 Ma...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
印刷後の乾燥、アニール、硬化など多くの用途にご利用いただけます
『コンベア型乾燥炉NTシリーズ』は、遠赤外線セラミックヒータを 使用したコンベア型乾燥炉です。 印刷後の乾燥、アニール、硬化など多くの用途にご利用いただける 汎用型の乾燥炉です。 【特長】 ■温度調節計とS.C.Rパワーコントローラーによる連続比例制御 ■NT-2000、NT-2400:2ブロック温度...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社光輝
-
-
CFRTP(熱可塑性炭素繊維)予備加熱 ※テスト動画公開中!
CFRTPシート、焦がしていませんか?高制御予備加熱による高品質化のご…
よるシート温度コントロール ■多点出力ユニットにより、ヒーター1個ずつ調整可 【用途】 ■炭素繊維強化複合材(CFRP)やガラス繊維強化複合材(GFRP)の予備加熱 ■発泡シート成形用アニール炉 ■光学系シート成形用アニール装置 ■塗装乾燥炉 など ※詳しくはPDF資料をダウンロードしたいただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社浅野研究所
-
-
厨房設備、合成樹脂製品、化学薬品製造ライン等、用途に応じて製作いたしま…
成樹脂製品のための工業用ヒーター] ○電流値を低く抑えるために、電源導入部である端子と 抵抗体の接続方法にいくつかの工夫をおこなっている ○断線対策として使用温度を考慮したうえ、抵抗体へのアニール処理なども実施 [環境試験のための工業用ヒーター] ○ごみ焼却時に発生するガスを熱処理して無害化する その熱源の設計・製作に独自の技術が活かされている →ダイオキシン類やCO2、NOx、...
メーカー・取り扱い企業: 新日電熱工業株式会社
-
-
工業炉内の温度計測の設定、安全装置などカスタマイズも可能です
ェライト系 :焼きなまし ● マルテンサイト系:焼きなまし、焼きならし、焼入れ、焼戻し 【課題事例】こんな課題を解決しました ■ ステンレス板のプレスと焼鈍を行いたい ■ テンションアニール炉(張力焼鈍炉) ■ ステンレス鋼板の焼鈍で水素ガスシール性を向上させたい ステンレス熱処理のお悩みがございましたらお気軽にご相談ください。...
メーカー・取り扱い企業: サンファーネス株式会社
-
-
急冷、徐冷時の精密な温度コントロールが可能
■ 竪型焼鈍炉 ■ ピット型焼鈍炉 ■ 台車式焼鈍炉 ■ ローラーハース式焼鈍炉 ■ メッシュベルト式焼準炉 ■ ストランド式光輝焼鈍炉 ■ ステンレスパイプ光輝焼鈍炉 ■ 台車式アニール炉 ■ 真空焼鈍炉 ■ アルミ軟化焼鈍炉 小ロット生産 ・ 熱処理試験・ 少量サンプル製造などご相談ください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...
メーカー・取り扱い企業: サンファーネス株式会社
-
-
熱処理時の粉塵を同時回収。作業環境の安全確保ができる集塵装置
<ロータリーキルン仕様> 温度 :~1100℃ 雰囲気:大気 / 窒素 / 水素 / アルゴン / AXガス 用途:焼成 / 焼結 / 水素還元 / 乾燥 / アニール / 表面処理 処理物:金属粉末 / 磁性粉末 / セラミック粉末 / 一次電池材料/二次電池材料 搬送方法:バッチ型 / 連続式...
メーカー・取り扱い企業: サンファーネス株式会社
-
-
【水素100%にも対応可能】粉体材料の熱処理に!回転する炉芯管の中で粉…
<仕様> 温度 :~1100℃ 雰囲気:大気 / 窒素 / 水素 / アルゴン / AXガス 用途:焼成 / 焼結 / 水素還元 / 乾燥 / アニール / 表面処理 処理物:金属粉末 / 磁性粉末 / セラミック粉末 / 一次電池材料/二次電池材料 搬送方法:バッチ型 / 連続式...
メーカー・取り扱い企業: サンファーネス株式会社
-
-
断熱性に優れたセラミックファイバーを採用した炉室を使用!1700℃まで…
理炉『OSK 75YU 14HV』を ご紹介いたします。 金属材料やセラミック部品、特にステンレス鋼、高温合金、 硬質合金、非鉄金属のような材料の還元性または保護雰囲気 での真空焼結とアニールの熱処理に対応。 炭酸化の開発プロセスにおける炭素製品のような材料の特殊な 熱処理にも対応できます。 【特長】 ■温度均一 5℃以内 ■良好な真空フランジシールにより漏れがない ...
メーカー・取り扱い企業: オガワ精機株式会社
-
-
良好な真空フランジシールにより漏れがない!個性的なカスタマイズが可能
『OSK 75YU 12HV』は、金属材料やセラミック部品、特にステンレス鋼、 高温合金、硬質合金、非鉄金属のような材料の還元性または保護雰囲気 での真空焼結とアニールの熱処理に対応する高真空炉です。 炭酸化の開発プロセスにおける炭素製品のような材料の特殊な熱処理 にも対応可能。 温度精密が±1のSCR(ケイ素制御の整流器)と30の区分のプログラム...
メーカー・取り扱い企業: オガワ精機株式会社
-
-
温度均一が5℃以内!炭素製品のような材料の特殊な熱処理にも対応可能
HV』は、1700℃まで操作できるラボ用真空熱処理炉です。 金属材料やセラミック部品、特にステンレス鋼、高温合金、硬質合金、 非鉄金属のような材料の還元性または保護雰囲気での真空焼結と アニールの熱処理に対応。 温度精密が±1のSCR(ケイ素制御の整流器)と30の区分のプログラム可能な 温度制御を搭載しております。 【特長】 ■良好な真空フランジシールにより漏れがない ...
メーカー・取り扱い企業: オガワ精機株式会社
-
-
実験炉・ヒーター_「PRODUCTS GUIDE_2022」
電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用 最新の高温基板…
ermic Edge furnace-TE」セミオート式超高温卓上型実験炉Max2000℃ ◉「MiniLab-CF」超高温実験炉Max2900℃ ◉「Mini-Lab-WCF」超高温ウエハーアニール炉Max2000℃ ◉ SiC3立方晶炭化珪素コーティンググラファイト部品 ◉ BH基板加熱ヒーター:...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
設備の小型化、省エネに貢献!線材等の加熱に適した小型の雰囲気炉
【使用例】 ■金属線の熱処理=アニール ・採用例:ガイドワイヤー(医療用) ■細線のクセ取り除き その他 ・採用例:ガイドワイヤー、ワイヤーボンダー用金線、銀線 ■コーティング乾燥 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイベック
-
-
急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…
な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。 高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。 太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニールにも有効でインライン化にも対応。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
均熱性に優れた面状ヒーター!
完全に覆われており、酸化雰囲気下で最高1,000℃までの 昇温が可能なガス分離型面状加熱ヒーターです。 主に、薄膜装置(CVD/スパッタリング等)や半導体製造装置(基板加熱/ フラッシュアニール等)への組み込みに適しています。 【特長】 ■大気中や酸化雰囲気中で1,000℃まで昇温可能 ■化学的に安定した石英ガラスを使用しており使用環境の影響を受けにくい設計 ■コンタミの発生...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナガノ
-
-
電気とガスの最適化とモジュール化で省エネ・省スペースを実現したハイブリ…
【その他の特長】 ■アルミ製品の溶体化、時効硬化処理 ■ガラス製品のアニール処理 ■塗装乾燥・焼き付け ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エコム 本社 「ヒートスクエア」
-
-
電子・半導体業界用!1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール
従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー
-
-
真空・各種ガス雰囲気での高温アニール装置で、赤外線加熱による急速昇温、…
・円筒上真空チャンバー外周には、8個の真空ポートがついた拡張性の高い真空チャンバーを採用。 ・上面が大きく開き、試料の設置・取出し作業が容易にできる。 ...最高昇温速度 150℃/sec、加熱時間 1500℃まで約1min 熱源からの放出ガスや電磁誘導の影響を与えないクリーン加熱 高温の試料を観察できるオプションも用意しています。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サーモ理工
-
-
熱処理のことならなんでもお気軽にご相談ください!
【設備】 ■テンパー炉 ■ロックウェル硬度計 ■アニール炉 ■雰囲気炉 ■真空熱処理炉1室型 ■ショア硬度計 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社PG熱処理研究所
-
-
製缶付ヒータや工業炉の仕様検討から、設計・製造までお客様にあったサービ…
体的になり打合せもスムーズに進めれる その3.納入後、すぐに設置して使用できる 【導入実績】 ・加熱炉:ホットプレス用加熱炉 ・真空炉:窒素フロー&排ガス排気構造 ・脱脂炉・管状炉・アニール炉用装置 ※装置補助設備等も製作しております。 「炉殻のサイズを小さくしたい」、 「電気容量は確保したいがコストは抑えたい」などお客様のご要望にお応えします。 詳しくはPDFをダウン...
メーカー・取り扱い企業: 貞徳舎株式会社
-
-
直接加熱と間接加熱はその様態は同じであるが、遠赤加熱は決定的に異なって…
【特徴】 [遠赤外ヒーター] ○ヒーター温度は真空脱泡で30~50℃、アニールや水分乾燥で 100~500℃、フイルム加熱で100~300℃、 塗装乾燥で200~500℃であり、一般的に600℃以下で使用されている ○ヒーター温度は自由にコントロールできるので ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社AMK
-
-
赤外加熱の中でも遠赤外加熱は効率の良い熱源として幅広く利用されています…
度分布(品質の向上)・ 容易な温度制御(自動化)・クリーン加熱等により幅広い範囲で用途が広がっている →金属やプラスチックの器具・部品などの塗装乾燥硬化、プラスチック製品の 予熱・加工・アニール、基板加熱、食品加熱等様々な分野で利用ができる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社AMK
-
-
機械の試作・開発のパートナー!お客様のイメージを具現化します
【製品ラインアップ】 ■熱処理装置 ・ゴム熱処理装置:バッチ式加硫炉、コンベアー式加硫炉、焼成炉、 アニール炉、高低温、真空、熱風式各種 ・電気炉:亜鉛、アルミ、鉛、錫溶解炉 ・乾燥装置:真空乾燥機、熱風乾燥機、遠赤外線コンベアー乾燥装置、 プリント基板各種熱処理装置、クリーンオ...
メーカー・取り扱い企業: 東京電熱計装株式会社 本社・工場