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XY位置補正でステージインデックス、初期設定、温度などによるコンタクト…
PCP-102SLは、通常のウェハの他に、薄層ウェハの検査を実現するために開発されたプローバです。 カセットからの自動搬送、プリアライメント、ファインアライメント、プロービング(検査)を行います。 【特長】 ■ステージインデックス、初期設定、温度などによるコンタクトの累積誤差を解消します。 ■マルチプ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社プラムファイブ
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