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超低湿度用防湿庫『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』

PR新型デジコンと高精度湿度センサー採用！ドライユニット内の特殊乾燥剤は半…

『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』は、新型デジコンにより庫内の湿度を正確にコントロールできる超低湿度用防湿庫です。高精度湿度センサーの採用により正確に表示することが難しかった5％RH以下の湿度を正確に表示。超高速除湿のHYP・DUSに湿度設定と自動省エネの機能が付いて高性能化しました。使い易い全面ワイドドア（マグネットパッキン式）で、中央支柱がないので、横長のもの...
メーカー・取り扱い企業：トーリ・ハン株式会社
『熱硬化型焼結銅ペースト』半導体パッケージの高集積化に貢献

PR低抵抗・高放熱を実現する銅ペースト。200℃以上の加熱で焼結し、大気硬…

当社の『熱硬化型焼結銅ペースト』は、半導体パッケージに対し低抵抗・高放熱といった優れた性能を付与できる樹脂含有型ペーストです。さらに200℃以上の加熱で焼結するほか、大気硬化も可能です。半導体パッケージの高集積化などへの対応に必要な特性を備えています。【特徴】 ■銀ペーストと同等の電気的特性を保持しながら、イオンマイグレーションを低減 ■独自の特殊処方で硬化中の酸化を防ぎ、大気硬化によ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社ADEKA
低分子シロキサン定量分析

低分子シロキサンの確認手法！どの程度の発生量であるかなども分析可能

シリコーン製品から発生する低分子シロキサンが電子部品の接点周囲に存在すると、電気火花の熱により絶縁物である二酸化ケイ素を生じ、接点障害を引き起こす事が知られています。こちらでは、低分子シロキサンの確認手法として...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
NMRと分子動力学計算の低分子化合物-タンパク質間相互作用の解析

NMRとMD計算で低分子化合物とタンパク質の相互作用を評価できます。

生理活性化合物の中には、タンパク質を標的として作用する化合物が数多く存在します。そのため、低分子化合物とタンパク質間の相互作用について構造的な知見を得ることは薬剤の開発にとって非常に重要です。本資料では、NMRと分子動力学計算を用いて溶液中におけるL-トリプトファンとウシ血清アルブ...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】極低加速電圧条件での微細構造観察

極低加速SEM観察によるセパレータ構造評価

リチウムイオン二次電池に使われているセパレータに代表されるように、材料の多孔性や形状といった微細構造は製品の特性や機能を左右します。材料が樹脂やポリプロピレン(PP)など軟化点が低い場合、観察時の電子線照射により試料が損傷を受け、本来の構造が変化してしまうことがあります。加速電圧0.1kVという極低加速SEM観察により、変質を抑えて試料最表面の形状を詳細に評価した事例をご...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】FIB低加速加工

FIB：集束イオンビーム加工

FIBを用いたTEM観察用薄膜試料作製法では、高エネルギーのGaイオン（加速電圧30kV)を用いており、加工面にダメージ層が生じ、TEMの像質低下の原因となっています。そこで従来より低加速(2kV)の加工を行うことでダメージ層が低減でき、像質が改善されました。 FIB低加速加工によりFIB加工面のダメージを低減することで、TEM像観察、E...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
パワーデバイスの故障解析

ダイオード、MOS-FET、IGBT等のパワーデバイスの不良箇所特定・…

■不良箇所特定－裏面IR-OBIRCH解析・裏面エミッション解析－　IR-OBIRCH解析：～100mA/10V　～100uA/25V　まで対応　エミッション解析：～2kV　まで対応　＊低抵抗ショート、微小リーク、高電圧耐圧不良など幅広い不良特性に対応 ■リーク箇所のピンポイント断面観察－SEM・TEM－　予測される不良に合わせてSEM観察・TEM観察を選択し　リーク不...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
【分析事例】SiC中不純物の超高感度測定

ppb～pptレベルのバルク濃度を評価します

変電所などで使用可能な超高耐圧・低損失SiCパワーデバイスの開発においては低キャリア濃度の制御が必要となり、SIMS分析で極低濃度の不純物評価を行うことが有効です。 SIMS分析では多元素を同時に取得せず、不純物を1元素に限定する...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［HPLC］高速液体クロマトグラフ法

高速液体クロマトグラフ法（HPLC）は、液体中の成分を固定相と移動相の…

・有機酸のような高極性で比較的低分子な化合物も分析可能・脂質など低極性化合物も分析可能・ポストカラム法を用いることで、分離しきれなかった夾雑成分の影響を除くことが可能・高分子の定量および分子量分布測定が可能...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［SAXS］X線小角散乱法

・ナノスケールでの周期構造・配向性を評価可能

SAXSは、X線を物質に照射して散乱したX線のうち、2θ＜10°以下の低角領域に現れるものを測定し、物質の構造を評価する分析手法です。通常、数nm～数十nm程度の大きさの構造を評価できます。・ナノスケールでの周期構造・配向性の評価が可能・微粒子や材料中の空孔...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
Arイオンミリング加工

機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ5…

Arイオンミリング法とは、機械研磨を行った後、低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です。...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】低分子シロキサンの定量分析

アウトガス中のシロキサンをngオーダーで定量します

シリコーン製品からアウトガスとして発生するシロキサンは、揮発しやすく基板等に付着しやすい成分です。シロキサンが付着すると、光学系レンズの曇り、膜の剥離や密着不良、リレー回路の接点障害などの悪影響が出ることが知られており、シロキサンのアウトガス量を調査しておくことは重要です。本資料では、シリコンチューブを200℃で加熱した際の環状ジメチルシロキサンの発生量を調査した事例を紹介します。。...詳し...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
PCB廃棄物の処理に伴う分析サービス

工場や建物に残っている廃変圧器や廃コンデンサーはありませんか？

【PCB廃棄物の分類】 ■中間貯蔵・環境安全事業(株)(JESCO) 　・高濃度PCB廃棄物とはPCB濃度5000mg/kgを超えるもの ■無害化処理認定施設・都道府県知事等許可施設　・低濃度PCB廃棄物とはPCB濃度0.5mg/kg～5000mg/kg以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：芝浦セムテック株式会社
液晶材料分析

豊富な装置と知見！化学機器分析で材料全般の分子構造を解明いたします！

液晶材料には様々な種類があり、LCDパネルに使用する低分子もあれば、プリント基板や電装部品などに使用される高分子もあります。それら低分子液晶、高分子液晶（LCP）の分子構造を解析した事例をご紹介。当社では、豊富な装置と知見で、液晶材...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
【分析事例】積層セラミックコンデンサ(MLCC)の加熱SSRM

誘電体内の伝導パス(絶縁劣化箇所)の可視化

積層セラミックコンデンサ(MLCC)は、内部電極(金属)/誘電体層(絶縁体)/内部電極(金属)の積層構造を有するコンデンサです。MLCCの問題の一つとして高電界かつ高温下における誘電体層の絶縁劣化(低抵抗化)、つまり電極間ショートがあります。誘電体層内に形成される低抵抗な伝導パスを可視化することは絶縁劣化現象を解明する重要な手がかりとなります。本資料では、SSRM測定(高電界)と加熱機構(高温)...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察

低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます

密度が低い膜について、高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることは困難ですが、低加速電圧のSEM-STEM1)像では、わずかな密度の違いを反映し、組成コントラストをはっきり...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】STD-NMRによる生体分子間相互作用の解析

低分子-タンパク質間相互作用の有無・強弱を分析

飽和移動差(STD : Saturation Transfer Difference) NMRは、タンパク質と相互作用を示す低分子化合物を識別するNMRの分析法の一種で、薬剤のスクリーニング等に大きな威力を発揮します。本資料では、実際にSTD-NMR測定を用いて複数の化合物群より特定のタンパク質と相互作用を示す化合物を同定...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機薄膜太陽電池の断面観察

低加速電圧のSTEMを用いると有機膜のわずかな密度の違いが観えます

p型・n型材料の混合膜を使用するバルクへテロ接合型太陽電池では、高効率化のために膜内の材料の混合状態を適切に制御する必要があります。密度が低い膜（有機膜など）においては、TEM専用機を用いた高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることが困難です。一方、わずかな密度の違いが反映される低加速電圧のSTEM...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】核融合炉用バナジュウム合金

低放射、高温強度、耐照射性！大同分析リサーチは新材料の開発をお手伝いも…

核融合炉用バナジュウム合金の製造についてご紹介します。主成分はV-4Cr-4Ti。低放射、高温強度、耐照射性（耐中性子脆化）の特長を有しており、EB,VAR溶解による極低O, N, C 溶製材で大型溶解による世界標準試験材となっております。大同分析リサーチは新材料の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大同分析リサーチ
WDXによる元素分析サービス｜JTL

材料分析・異物分析に適した微量元素・軽元素の分析を実施します。

用の分光結晶も装備されていますので、B～Uまでの元素の高精度な定量が可能です。【微小領域（サブミクロンオーダー）の分析空間分解能】 FE-EPMAは電解放射（FE）型電子銃を採用しており、低加速電圧、WDX分析電流範囲 (10～100 nA) でも微小プローブが得られるため、低加速電圧を用いた高いX線空間分解能の分析が可能です。サブミクロンオーダーまで分析領域が絞れるため、30,0...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社
技術情報誌 201911-03 モダリティ多様化時代の医薬品

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】近年、細胞製剤や核酸医薬といった医薬品モダリティが急速な進展を遂げる中で、その品質評価においても、従来の医薬品の品質管理にない手法が求められる。当社CMC分析研究部は20年にわたる低分子および抗体医薬品の規格試験の実績を基盤としつつ、新しい医薬品モダリティに要求される分析機能をいち早く導入し、GMP体制の下で運用している。本稿ではADC、細胞製剤、核酸医薬に適用できる分析機能の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
EDXによる元素分析サービス｜JTL

試料表面に含有される元素(B～U)の定性・定量分析を実施します。

素が同時に測定ができるため、含有される元素が未知な場合でも検出が可能です。【短時間での分析】多元素の同時測定が可能なため、定性定量分析・カラーマッピングが短時間で実施できます。【低真空モードでの分析】汎用のSEMの低真空モードにより、ガスの出やすい試料や導電性の無い試料で蒸着をしたくない試料でも分析が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社
無機ガス分析の受託サービス｜JTL

GC-TCD、GC-BIDによって無機ガスの測定を実施します。

発生ガスが微量である場合、バリア放電イオン化検出器を持つGC-BIDを用いることでGC-TCDと比較して約100倍高感度に測定することが可能です。 ●グローブボックスを用いて窒素および酸素を低濃度まで測定窒素および酸素は大気中に多量に含まれるため、通常の処理では低濃度まで測定することが困難です。しかしアルゴン雰囲気のグローブボックス内で処理を行うことで空気の影響を減らし、一桁%レベル...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社
技術情報誌 202001-01 in-situ STEM

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター
車両基礎特性測定装置（K&Cテスター）受託試験

サスペンション及びステアリング系のパラメータを台上測定受託試験。各種シ…

【オートマックスの特徴と優位性】・荷重ゼロサーボによる正確なアライメント変化の再現・荷重ゼロサーボを可能にする低クロストーク荷重計測・最新の電動アクチュエータの採用・測定データは車両シミュレーションソフトに読込み可能【ご提供データ形式】・車両シミュレーションソフト読込み用データ（１種類...
メーカー・取り扱い企業：オートマックス株式会社本社・工場
パネル偏光板劣化解析

パネル偏光板の劣化解析例を掲載！信頼性試験やHS-GCMS分析によるア…

目に見えない劣化でも、この分析なら見つかるかも？！是非、ご一読ください。【掲載内容】 ■信頼性試験 ■HS-GCMS分析によるアウトガス分析 ■熱脱着GCMS分析による低沸点成分分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
生体材料のイメージング質量分析法（IMS）の受託分析

TOF-SIMSとMALDI-MSの両方を組み合わせた脂質のイメージン…

SおよびMALDI-MSはいずれもイメージング質量分析（IMS：Imaging Mass Spectrometry）が可能な手法で、得意とする成分や質量、空間分解能が異なります。TOF-SIMSでは低質量成分を得意とし、高い面分解能でイメージングが可能です。一方、MALDI-MSでは高質量成分を得意とし、イメージングが可能な脂質の種類が豊富です。ここではマウス精巣中における脂質のイメージング質量...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法

電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定…

結合状態を分析する分光法です。 EELSは大きく分けて3つの領域に分けられます。１：ゼロロス試料と相互作用せずに透過してきた電子、および弾性散乱した電子２：価電子励起領域30eV以下の低エネルギー側で、プラズモンやバンド間遷移３：内殻電子励起領域内殻準位からの遷移元素によって異なるため組成分析に用いる...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
EMS分析（エミッション顕微鏡法）

故障箇所を迅速に特定

PEM、EMIとも呼ばれます。・測定波長領域（可視域から近赤外域）に対して透明な材料のみ評価可能・クラック・結晶欠陥・ESDによる酸化膜破壊・Alスパイクによるショートなどの内部の欠陥を低損傷で捉えることが可能...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
『SAE＃2試験装置』

湿式クラッチの摩擦特性、潤滑特性等の評価試験を自動で行う装置のご紹介で…

長】 ■標準でインストールされている摩擦係数解析法により、各種の摩擦係数を安定して求めることができます。 ■理想に最も近い慣性吸収試験構造である、回転駆動部に接触する要素を限界まで取り除いた低フリクション機構により、精度の高い慣性吸収試験を可能としております。 ■ピストンを蓋側にセットするオートマックス製SAE#2の試験槽は、各種の供試体に合わせた試験槽に対応出来る共通取り付け部が...

メーカー・取り扱い企業：オートマックス株式会社本社・工場
クロスビームFIBによる断面観察

FIB加工をリアルタイムで観察しながら断面観察が可能です。

）FIB加工をリアルタイムで観察できるため目的の箇所を確実に捉えます。２）2つの二次電子検出器（In-Lens/チャンバーSE）により試料から様々な情報が得られます。３）加工用FIBと観察用低加速SEMを1つのチャンバーに集約し大気に曝すことなく観察。４）拡散層：PN界面の可視化が可能。N+/N-及びP+/P-の濃度差は検出不可。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
LV-SEMとEBIC法によるSiC MOSFETの拡散層の観察

SiCパワーデバイスでも、特定箇所の断面作製、拡散層の形状観察、さらに…

2）をInlens検出器で検出。 FIB断面でのSEM観察で拡散層の形状が可視化できます。【EBICを用いた解析手法】 ■PEM/OBIRCH 不良箇所特定 ■FIB断面加工 ■低加速SEM ■EBIC解析 ■TEM ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
【分析事例】量子化学計算によるアゾベンゼン類の電気化学特性評価

電池などに用いられる有機化合物の酸化還元特性・電子状態を予測・評価

還元活性を有する芳香族アゾ化合物は、アルカリイオン電池やレドックスフロー電池において現在主力の金属活物質を代替する低環境負荷の次世代有機活物質として注目されています。電池性能の評価には、実験に加えシミュレーションを用いた物質の電子構造や酸化還元特性の検討が有用です。本資料では、量子化学計算によりアゾベンゼンと...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】極浅ドーパント分布の高精度分析

高い再現精度で評価可能

デバイスの微細化により、極浅い領域における不純物の深さ方向分布評価が必要とされています。正確な評価を行うためには、通常よりも低いエネルギー(1keV以下)の一次イオンビームを用いたSIMS分析が必要になります。今回、B+を低エネルギーでイオン注入したSiウエハを1keVの酸素イオンビームを用いて、日をまたいで、6回測定した...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】GCIBを用いた有機材料劣化成分の深さ方向分析

雰囲気制御下でのGCIBを用いた有機EL層構造および劣化層の成分評価

分を深さ方向に分析した事例を紹介します。実験には有機EL原料のルブレンを用いました。大気暴露したサンプルをTOF-SIMSで測定をした結果、ルブレンペルオキシドと推定される質量（m/z 564）や、低分子のベンゼン系の質量（m/z 77,105）が検出されました。これらの劣化に起因する成分は、表面から約1μm以上の深さにわたって存在していることを確認しました。※GCIB：Gas Cluster ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】指定外酸化防止剤（TBHQ）のLC/MS/MS分析

高い回収率で低濃度の食品中TBHQ定量分析を実現

TBHQ(tert-ブチルヒドロキノン)は米国・中国などで酸化防止剤として食品に添加されている化合物です。しかし、日本ではTBHQを含む食品の輸入・販売が認められていません。そのため、輸入食品にTBHQが含まれていることがあり、国内で検出された場合は自主回収などの措置がとられます。本資料ではさまざまな食品に0.1ppmのTBHQを添加し、LC/MS/MSで測定した事例を紹介します。いずれの食品でも...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】尿中のカテキン代謝物のLC/MS/MS分析

尿中のカテキン代謝物の定性、及び経時変化・個体差調査

高感度LC-MS（Q-TOF型）を用いることにより、生体試料中における代謝物のような低濃度成分の定性分析が可能です。生体内で付加や抱合などの代謝を受けた成分の検索や、経時変化や個体差の調査を目的とした試料間比較を行うことができます。高濃度カテキン飲料を摂取後に採尿し、カテキンの代謝を...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】熱分解GC/MSによるスマートフォン封止剤の分析

2段階の加熱によりUV硬化系素材の分析が可能

熱分解GC/MSによる2段階加熱法を用いて、市販スマートフォンのディスプレイ周辺部封止剤の素材解析を行いました。低温(250℃)で試料を加熱し、発生したガス成分をGC/MS測定することにより、残存モノマーや低分子添加剤（重合開始剤、酸化防止剤）を検出することができます。引き続いて高温(550℃)で加熱することに...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】高分子フィルムの多層構造の解析

GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に…

フィルムの機能性は素材・厚み・層構造等で決まることが知られています。今回は食品用ラップフィルムとして一般的に用いられるポリエチレン系多層フィルムの層構造を評価しました。 FT-IRで主にポリエチレンで構成されていることを確認したフィルムに対し、GCIB（Arクラスター）をスパッタに用い、TOF-SIMSで深さ方向に測定することで、10μmの厚みの中でポリエチレンとナイロン6とが積層されてい...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機フィルムの昇温脱離ガス分析（TDS）

真空環境下における有機物の脱ガス成分を評価可能

染で測定が困難となる場合がありますが、あらかじめ試料量や分析条件を調整し脱ガス量をコントロールすることにより、分析が可能となります。以下に有機フィルムについて、TDS分析を行った結果を示します。低温度域で表面吸着水が脱離し、温度の上昇と共に脱ガス強度が上昇する現象を捉えることができました。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】農薬一斉分析法の開発

対象の成分についてオーダーメイドの分析法を開発します！

れ煩雑です。複数の成分が一度に測定可能であれば、試料量や分析コストを抑えることができ、より効率的な分析が可能になります。本例では、前処理に固相抽出を用い、測定にLC/MS/MSを用いることによって、低濃度域まで約70成分の農薬の有無を簡便に確認できる方法を確立しました。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】クリームはんだ中フラックスの成分分析

クリームはんだ中のロジン、チキソ剤、活性剤などを網羅的に定性します。

ースト）は金属粉末と松ヤニなどから成るフラックスとを混合したペースト状のはんだで、電子部品を基板上に実装する際に用いられています。はんだフラックス中には、溶剤や活性剤、ロジン、チキソ剤などといった低分子～中・高分子の様々な有機成分が含まれています。ここでは、これらの成分についてGC/MS、LC/MSを用いて幅広く定性した事例を紹介します。...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】製剤中農薬原体のイメージング分析

製剤中の農薬原体・無機成分の分布を可視化できます

イメージングすることができます。今回、農薬原体の配合比率が異なる2種類の製剤中の農薬原体や無機成分を可視化しました。製剤A(配合比率高)は農薬原体が製剤に広く分布していたのに対し、製剤B(配合比率低)では農薬原体は局在していました。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】パッケージ品のロックイン発熱解析

Si系パワーダイオードのリーク箇所非破壊分析

ロックイン発熱解析において、ホットスポットを絞るためには周波数を上げることが望ましいですが、一方で感度が悪くなってしまうという問題があります。そこで、高周波数側から低周波数側に測定条件を振っていき、発熱信号が得られ始める周波数を見際めることが重要となります。本事例では円筒状のパッケージ品において、リーク電流に伴う発熱箇所を非破壊で特定した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】金属膜の高温XRD評価

昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価

れ行いました。両測定で、Pt(111) は500℃より高い温度ではピーク強度が増加し、半価幅が小さくなり、結晶化が進行していることが分かりました。また、温度が上昇するにつれ、熱膨張によりピークが低角度側（格子間隔が広がる方向）にシフトしていることを確認できました。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】バイポーラトランジスタ（IGBT）の不良品調査

高電圧電源を用いたエミッション顕微鏡による故障箇所の特定

鏡でも異常を確認可能です。また、エミッタ電極の遮光により、発光が検出できない場合には、コレクタ電極を除去し、コレクタ側から近赤外光を検出します。 2000Vまで印加可能な高電圧電源を用い、高耐圧で低リーク電流のパワーデバイスを動作させ、エミッション顕微鏡で故障箇所を特定する例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】金属(Sn)の昇温脱離ガス分析

低融点金属のTDS分析

Snは半導体の製造でも使用されるはんだの主原料として用いられています。はんだ中のガスはボイド発生の原因となるため、はんだやその主原料であるSnの内包ガス量を制御することが重要です。TDS分析にてSnを融点を超える温度まで昇温し、脱離したガスについて調査した結果を以下に示します。試料を融点以上に昇温することで、試料の表面吸着成分や内包ガスの成分について評価することが可能です。...詳しいデータは...

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