新発売！低流量の配管の通水をひと目で確認「フローモニター小口径」

PR成形機周辺の配管に！狭いピッチにも対応、レンズ部分のみの交換が可能でコ…

『FMC-25-1F/FMC-25-2F』は、レンズ交換タイプのフローモニターです。 従来品「FMC-30-3F/FMC-30-4F」の小口径タイプが新登場！ 従来のフローモニターよりさらに低流量（0.6～6L/min）な配管に対応しています。 2色の羽根の回転で流体の流れを目視で確認でき、低流量時の流れがより見やすくなりました。 金型の小型化に伴う、狭いピッチにも取付可能です。 従来品同様、配...

メーカー・取り扱い企業： 日東工器株式会社

【事例集進呈】オートコネクタ/自動着脱装置

PR工場の自動化・省人化を実現！流体・粉体問わずご要望に応じた自動着脱装置…

当社では、スラリー・粉体などの配管を自動調芯により着脱可能な 「オートコネクタ(自動着脱装置)」を取り扱っております。 生産性の向上、多品種少量生産、省人化といったメリットがあり、 電池製造及び医薬等、スラリー・粉体を扱うユーザーに好適。 流体・粉体問わずご要望に応じた自動着脱装置の製作・納入いたします。 【特長】 ■スラリー・粉体配管を自動で着脱出来、粉体のブリッジ除去に...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

自動レジスト現像装置（枚葉式） デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！ また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。 当製品は、枚葉...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…

ます。 また、薄いウエハでの実績も多数あります（ウエハ厚さ150umなど）のでご相談ください。 【特長】 ■PEBによる逆テーパー角の安定 ■自動ウエハサイズ認識機能 ■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーの対応可 ■フットプリントの低減 ■生産量に合わせたラインアップ デモ設備も常設しておりますので、デモのご検討をお願いいたします！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コンパクト！手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式の…

研究開発目的としてだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■コンパクト！ ■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーも選択可能 ■多彩な薬液に実績あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

『薄膜スプレー技術資料』抜粋

霧化方法・薄膜形成方法など、当社の最新ノウハウを初心者の方にも分かりや…

今までスプレー技術にあまり携わっていない方でも 問題なく導入可能になるよう、分かりやすく解説しております。 【掲載内容】 ■霧化について ■各種スプレーの薄膜形成方法 （遠心力霧化等1流体スプレーの場合／2流体スプレーの応用／ 　2流体スプレー応用の集大成…新型FS式マイクロスプレーシステム／ 　断続スプレー／静電印加＋マイクロスプレー／薄膜スプレーシステム装置本体）/セレクトス...

メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社 コーティング開発部

高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

イズ：550 X 650 (mm) 塗布スピード：最大 60m/min ( 1,000mm/sec) 流量範囲：1cc - 20cc/min程度 ノズル：当社独自のLPVNノズル（外部混合型２流体ノズル） 基板固定：リフトアップピンによるロボットとの受け渡し/真空吸着 霧化圧：最大800kPa (元圧が800kPa以上必要となります） その他機能　 自動脱泡、薬液自動供給、自動洗浄、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像…

N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。 N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。 液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なくして霧状にして柔らかく吐出する方法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…

1流体スプレー方式の現像装置です。 現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。 大型基板や厚膜の現像に最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

れいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだんだん取れづらくなってきている… そんなユーザー様の声にお応えして超高圧ジェットリフトオフ装置が生まれました！ 2流体スプレーの圧力を上げて高圧ジェットと呼んでいる会社もありますが、弊社の超高圧ジェットの圧力は脅威の20MPa！ 使い方によってはガラスも削れます。 もちろん弊社のスピン技術と組み合わせて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i30

Compact & Resonable for Highend Pro…

を高められます。 バルブ、軸受、軸封等が使われていないので、費用のかさむ定期的な分解修理が不要、維持費がかかりません。 磁気軸受デザインなので、汚染リスクがないです。 剪断等で影響を受けやすい流体に対し、穏やかなポンプです。 狭い隙間や溝がないシンプルな構造で、液体の残渣等がポンプケーシング内に滞留しません。 脈動が無い、スムースな定常流を得られます。 回転数又はクローズドループ制御に...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…

自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ　φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン