ミネラルキャスティング

PR高減衰性の特長を活かし、機械の高精度化・高速化に貢献。純国産で安定供給…

『ミネラルキャスティング』は、骨材を樹脂で固めたポリマーコンクリートで、 高減衰性、低熱伝導性、電気絶縁性などの特長を備えています。 機械に採用することで、高レベルの減衰性を実現できるほか、 鋳物製の枠にミネラルキャスティングを充填するハイブリッド構造によって、 鋳鉄と同等の高剛性も両立することができます。 【特長】 ■鋳鉄(FC300)と比較し約10倍の減衰性能、約1/30の熱伝導率、高い電...

メーカー・取り扱い企業： 日之出水道機器株式会社 産業機械マーケティング

『熱硬化型焼結銅ペースト』半導体パッケージの高集積化に貢献

PR低抵抗・高放熱を実現する銅ペースト。200℃以上の加熱で焼結し、大気硬…

当社の『熱硬化型焼結銅ペースト』は、半導体パッケージに対し 低抵抗・高放熱といった優れた性能を付与できる樹脂含有型ペーストです。 さらに200℃以上の加熱で焼結するほか、大気硬化も可能です。 半導体パッケージの高集積化などへの対応に必要な特性を備えています。 【特徴】 ■銀ペーストと同等の電気的特性を保持しながら、イオンマイグレーションを低減 ■独自の特殊処方で硬化中の酸化を防ぎ、大気硬化によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

【DL可STEM/EDS】STEM/EDSによる半導体絶縁膜評価

STEM-EDS観察は半導体のPoly-Si(ポリシリコン)間の絶縁膜…

線の入射角度を変えることで、回折コントラストの変化を観察 ・観察対象が結晶質であるかの判断 ・結晶内にある結晶欠陥（転位、双晶等）の情報の獲得 本事例では 「STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価」 を紹介しています。 本事例は問題なしの結果でしたが、異常検出も可能です。 ぜひPDF資料をご一読ください。 また、弊社では本STEMに加えFIBとの併用で、試料のある領域に...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

【分析事例】積層セラミックコンデンサ(MLCC)の加熱SSRM

誘電体内の伝導パス(絶縁劣化箇所)の可視化

積層セラミックコンデンサ(MLCC)は、内部電極(金属)/誘電体層(絶縁体)/内部電極(金属)の積層構造を有するコンデンサです。MLCCの問題の一つとして高電界かつ高温下における誘電体層の絶縁劣化(低抵抗化)、つまり電極間ショートがあります。誘電体層内に形成される低抵抗...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

態の変化を測定し、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。 【目次】 １. はじめに ２. エリプソメトリーについて ３. PVA膜スピンコート直後の経時変化 ４. シリコン絶縁膜の傾斜エッチング評...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

故障劣化予知診断　高調波を使用して電気設備の不具合箇所を特定！

2次から40次までの高調波を使用して診断！　モーター、機械、インバータ…

KS-2000)により、モーター、機械、インバーター、 電力用変圧器、コンデンサーを異常・劣化が診断できます。 【測定項目(抜粋)】 ■モータ部　 　●回転軸・軸受・据付　　　　●巻線の絶縁・振動　 　●軸受・ハウジングの損傷　　●エアギャップ付均一 ■負荷部 　●軸受損傷・異物付着　　　　●カップリング異常・軸バランス 　●回転軸異常・バルブ摩耗　　●歯車・ベルト系損傷 ■...

メーカー・取り扱い企業： 日本メカトロン株式会社 大阪事業所

電子機器の加速劣化試験サービス

お客様の製品に適した加速劣化試験を“具現化”して提案・実施！加速劣化試…

電子機器の軽薄短小化により配線の狭ピッチ化、ファインパターン化が 加速し、さらには使用環境の過酷化に伴い、より一層、マイグレーションを 代表とした絶縁劣化などのリスクが高まっています。 当社は、各種公的規格に準拠した試験は勿論、長年、各種電子機器の 品質保証で培ってきた試験・ノウハウを ベースに、お客様のご要望に 即した加速劣化試験を...

メーカー・取り扱い企業： ユーロフィンFQL株式会社

【高調波診断器事例】ケーブル診断

高調波センサにて測定！動力棟系統のケーブルに絶縁異常の兆候が見られた事…

特高変電所側(IN側)、サブ変電所側(OUT側)。 ケーブルIN側、OUT側の各相を高調波センサにて測定。 ACモータのモードで計6回測定を行いました。 診断により、動力棟系統のケーブルに絶縁異常の兆候が見られました。 また、今後問題点が解決出来れば当診断が優位であるとのことでした。 【事例概要】 ■測定箇所：特高変電所側(IN側)、サブ変電所側(OUT側) ■測定方法：ケー...

メーカー・取り扱い企業： 日本メカトロン株式会社 大阪事業所

【分析事例】酸化アルミニウム薄膜の局所構造解析

成膜条件の違いによる膜の微細構造の変化を捉えることが可能です

酸化アルミニウムは優れた耐摩耗性、耐熱性などの性質から各種産業用機械・製造装置用部品などに用いられています。 また、化学的安定性や高い絶縁性も有していることから、その薄膜は触媒の担体や磁気トンネル接合の絶縁層などにも用いられています。成膜条件によってアモルファス構造や様々な結晶構造をとり得る酸化アルミニウム膜の微細構造の評価はXAFS...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】導電性塗料中の成分の分析

試料冷却により塗料中の添加剤の形状と成分、および分散状態を評価

導電性塗料は、絶縁性材料に導電性を持たせるために用いられています。もともと絶縁性である塗料自体に導電性を持たせるために、塗料中には添加剤が加えられています。 本資料では、導電性の異なる2種類の導電性塗料について、塗...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【TEM/SEM/EBSD】断面観察及び構造解析に関する事例集1

金属組織観察や相解析などTEM、FE-SEM、EBSD等による断面観察…

当事例集では『断面観察及び構造解析』にかかる事例についてご紹介します。 「線材（ばね材）の金属組織観察」、「2相ステンレスの相解析」、「STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価」の目的や手法、結果などを含めた分析事例を多数掲載。 他にも、観察や相解析、絶縁膜分析や測定などご紹介しています。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■線材（ばね材）の金属...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

ユカインダストリーズ株式会社『一般特性試験』のご紹介

電気絶縁油の保守管理！一般特性試験

ユカインダストリーズ株式会社では、電気学会および石油学会の 「電気絶縁油保守管理指針」に基づき絶縁破壊電圧、体積抵抗率、 酸価、水分量などの特性評価を行っております。 劣化した絶縁油は、絶縁性能や冷却性能が低下するため、定期的な 分析をお勧めしております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ユカインダストリーズ株式会社 東京本社

表面分析ガイド

様々な表面分析手法！異物、変色、汚染などのお困りごとの解決に向けてお役…

手法を用いて、異物、変色、汚染などのお困り ごとの解決に向けてお役立て致します。 微小領域からバルク試料まで幅広い分析が可能な「EDX」、電子線を照射し オージェ電子を検出する「AES」、絶縁物の分析や化学結合状態の分析が 可能な「XPS」など、様々な表面分析を行っております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【分析手法】 ■EDX(EDS)：エネルギー分散...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

低分子シロキサン定量分析

低分子シロキサンの確認手法！どの程度の発生量であるかなども分析可能

シリコーン製品から発生する低分子シロキサンが電子部品の接点周囲に 存在すると、電気火花の熱により絶縁物である二酸化ケイ素を生じ、 接点障害を引き起こす事が知られています。 こちらでは、低分子シロキサンの確認手法としてHS-GCMSによる アウトガス定量分析をご紹介。 HS-GCMS...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

テープ粘着剤の構造解析｜受託分析

熱分解GC/MS法により粘着剤の構造解析が可能

粘着テープは日用品としての用途をはじめ、医療用・建築用・絶縁用等、幅広い用途に使用されています。これに用いられる粘着剤はその用途によって異なり、種々の素材が使われています。 本事例では市販粘着テープの粘着剤について、熱分解GC/MS法による構造解析を行なっ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【機器の健康診断】機器の状態監視で故障の予知保全を確認しませんか

インバーターの突然の故障原因を事前にキャッチ！急な設備トラブルを回避し…

【測定項目(抜粋)】 ■モータ部　 　●回転軸・軸受・据付　　　　●巻線の絶縁・振動　 　●軸受・ハウジングの損傷　　●エアギャップ付均一 ■負荷部 　●軸受損傷・異物付着　　　　●カップリング異常・軸バランス 　●回転軸異常・バルブ摩耗　　●歯車・ベルト系損傷 ■...

メーカー・取り扱い企業： 日本メカトロン株式会社 大阪事業所

【故障解析事例】静電気破壊の再現実験

プラズマFIB装置を用いて断面を観察！広く破壊されている様子が確認され…

【半導体チップの故障原因】 ■IGBT製造上の問題 ・ゲート絶縁膜破壊 ・接合リーク ■実装、使用上の問題 ・静電気破壊 ・アバランシェ破壊など ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クオルテック

TG-DTA（熱重量示差熱分析）

試料と基準物質の温度差をDTA信号として出力！温度を一定のプログラムに…

【分析事例】 ■熱硬化性樹脂中の残留溶媒の揮発挙動と硬化反応の確認 ■絶縁材料の耐熱性評価 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

高調波簡易診断

異常・劣化が診断可能！設備機器の困りごとを解決いたします

2・B3・C)の5段階診断です。 また、電流不平衡・負荷モードも測定基準に含み、 モーターから一番近い制御盤で測定します。 【測定対象 モーター部】 ■回転軸・軸受・据付 ■巻線の絶縁・振動 ■軸受・ハウジングの損傷 ■エアギャップ不均一・振動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本メカトロン株式会社 大阪事業所

【分析事例】Si系IGBTチップ断面の低温顕微PL分析

断面方向からライフタイムキラーの影響を確認することが可能です

IGBT(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)はパワー半導体モジュールとして、家電用品から産業機器まで様々な製品に使用されています。 IGBTは特性改善のためにライフタイム制御が行われていますが、この制御はドリフ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】分子動力学計算を用いたアモルファスSiNx膜構造解析

シミュレーションによってアモルファス膜のミクロな構造解析が可能です

アモルファスSiNx（a-SiNx）膜は、N/Si比などの組成変化によって半導体から絶縁体まで物性が大きく変化することから、トランジスタ用ゲート絶縁膜など幅広い用途で用いられています。一方、結晶性のないアモルファス構造の材料に対し、原子レベルのミクロな構造解析を行える実験手法は限られて...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】半導体基板中軽元素の高感度分析

SIMS分析によりH, C, N, O, Fなどを1ppm以下まで評価…

5E13atoms/cm3)以下の濃度まで検出可能です。実際のFZ-Si中における測定例（図1）とIII-V族半導体のバックグラウンドレベルを紹介します（表2）。III-V族半導体以外にも、金属膜・絶縁膜など各種材料で標準試料をとりえ揃えており、高感度な定量分析が可能です。半導体基板など各種材料のバルク分析や半導体プロセス中のガス成分の混入評価などに最適です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価

試料断面における応力分布を確認することが可能です

晶Siのラマンスペクトルのピークは、試料に圧縮応力が働いている場合は高波数シフト、引張応力が働いている場合は低波数シフトします。これにより、Siの応力に関する知見を得ることができます。 IGBT（絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）の断面について、ラマンマッピングで応力の分布を確認した例を示します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】二酸化ケイ素の構造解析

非晶質（ガラス）二酸化ケイ素（SiO2）のラマン散乱分光法による構造解…

二酸化ケイ素（SiO2）は半導体における絶縁膜・FPDの基板材料・光学材料・医療機器から装身具に至るまで幅広く用いられていますが、非晶質であるガラスとして構造解析を行うことは非常に困難です。ガラス中でSiO2が環状に結合することに着目し、ラマ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ホール側壁ONO膜の構造観察

FIB法による特定箇所の平面TEM観察

ナノオーダーでの加工が可能なFIB技術を用いることにより、特定箇所の平面TEM観察が可能です。 これにより、断面からの観察では構造の確認が困難なホール側壁のキャパシタ絶縁膜のONO三層構造（シリコン酸化膜／シリコン窒化膜/シリコン酸化膜）が確認できます。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SXES］軟X線発光分光法

SXESは、物質から発光される軟X線を用いて化学結合状態を評価する手法…

形状は価電子帯における着目元素の部分状態密度を反映 ・X線吸収スペクトル（XAS）との同時測定によってバンド構造の評価も可能 ・バルクの情報が得られるため、表面近傍数nmの影響を受けにくい ・絶縁物に対しても帯電の影響を受けずに評価が可能 ・検出下限が低く（＜1atomic%）、微量成分であっても評価が可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［XPS］X線光電子分光法

試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有…

sis とも呼ばれています。 ・固体表面（約2～8nm）の元素の定性・定量が可能 ・化学結合状態分析が可能 ・非破壊で分析が可能 ・深さ方向分布（イオンスパッタを併用）の測定が可能 ・絶縁物の測定が可能 ・雰囲気制御下での測定が可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［GDMS］グロー放電質量分析法

特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

であり、半定量値です。 ・微量元素（ppbレベル）から主成分レベルまでのバルク分析が可能 ・μmオーダーの深さ方向分析、薄膜分析が可能 ・導電性材料、及び補助電極を用いることで半導体材料、絶縁物材料も分析が可能 ・質量分解能が高く、妨害イオンの除去が可能 ・水素と希ガスを除く、Ｌｉ以下のほとんどの元素について測定が可能 ・同位体比測定が可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

EVモーター材質調査~ローターとステーターコアの分析調査~

大同分析リサーチは長年培った材料分析技術、磁性材料評価技術でお客様のモ…

度分布の測定を通して、明らかにします。材料設計上の適否、磁場解析への適用に御活用下さい。 ステーターコイル調査では積層構造やコイル巻線の断面観察を行い、コイル形状・コイル表面処理・コイルの占積率・絶縁処理材等の調査やコイルの巻線解読もサポート致しますので御相談下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

【AFM/AESオージェ電子分光装置】めっき部品の加熱影響評価

AFM走査型プローブ顕微鏡/AESオージェ電子分光装置によりめっき部品…

を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う装置です。 この物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 AESオージェ電子分光装置では、材料の極表層（~5nm程度）の元素分析や深さ方向の濃度勾配を調査することが可能です。 この2つの分析装置を使い「めっき済...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

回路基板　解析修理サービス

パソコンの周辺機器及び音響機器の修理は当社にお任せください！

KインダストリーBGAリワーク機　3台 ■モリカワBGAリワークツール　1台 ■レントゲン撮影機　1台 ■ROMライター　1台 ■ROMイレーサー　1台 ■耐圧試験器3000V　1台 ■絶縁抵抗計500V　1台 ■その他オーディオ用測定器 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社デジテック

【DL可/AFM】めっき済み接点部品表面の導電性評価

AFMでは極めて微小な表面形態（凹凸）を捉えて測⾧することが可能です

し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う」装置です。 この物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性や絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 この分析装置を使い「めっき加工したコネクタ接点部品の表面処理」の調査を行いました。 ぜひPDF資料をご一読ください。 また、弊社では本分析装置...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

【分析事例】ポリイミド成分の深さ方向分析

TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の深さ方向の評…

ポリイミドは非常に耐熱性が高く電気絶縁性も優れていることから、電子部品をはじめとして様々な分野で用いられている材料です。表面改質を行うことで他の材料との密着性を高めることができることから、改質層の状態を把握することが重要です。今回、有機...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】FT-IRによる樹脂の硬化反応評価(3)

官能基の変化を捉えることで樹脂の硬化度を評価することが可能です

耐薬品性や電気絶縁性などに優れている樹脂は、様々な電子部品の絶縁体、コーティング剤、接着剤として利用されています。FT-IR分析は、樹脂の硬化度等の不良原因を調査することが可能で、製品開発に有効です。 一例として、...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【資料DL可】高分子材料のミクロトームによる平滑化とAFM観察

クライオミクロトームとAFMで軟らかい高分子材料の各種高分解能観察が可…

を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う装置です。 その物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 また、クライオミクロトームを用いることで、凍結下で樹脂など軟らかい高分子材料の超薄切片作製が可能です。 このAFMとクライオミクロトームを使いポリイソプ...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

『各種機器分析による現象解析』のご紹介

問題解決のお手伝い！各種機器分析による現象解析

【調査分析例】 ■油中混入物の調査 ■漏油などの油種判定 ■絶縁紙の平均重合度測定（JEMA,IEC）・引張強度試験 ■帯電度測定（ミニ静電テスター、循環式帯電度連続測定） ■変圧器等解体調査　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： ユカインダストリーズ株式会社 東京本社

ユカインダストリーズ株式会社『油中ガス分析』のご紹介

変圧器の内部異常を早期に発見！

『油中ガス分析』は、油入電気機器から絶縁油を採取し、運転中の 油入電気機器の内部異常を早期に検知する技術です。 年間約8000試料、これまで約38.2万件の分析実績を有しており、 自社で開発した高度な分析技術および豊富なデータを...

メーカー・取り扱い企業： ユカインダストリーズ株式会社 東京本社

【分析事例】エポキシ樹脂の構造解析

熱分解GC/MS法によるLED封止材の構造解析

エポキシ樹脂は耐熱性、耐薬品性、絶縁性に優れ、機械的強度も高いため、電子機器の絶縁材料、接着剤、塗料、建築材料など種々の用途に用いられています。しかし溶剤溶解性が無いことから、構造決定のための分析手段は限られてしまいます。本事例ではL...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】FT-IRによるポリイミド樹脂の硬化度評価

官能基の変化を捉えることで樹脂のイミド化率を評価することが可能です

耐薬品性や電気絶縁性などに優れている樹脂は、様々な電子部品の絶縁体、コーティング剤、接着剤として利用されています。FT-IR分析は、樹脂の硬化度等の不良原因を調査することが可能で、製品開発に有効です。一例として、ポリ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ポリイミド樹脂の構造解析

熱分解GC/MS法によりポリイミド樹脂の構造解析が可能

ポリイミド樹脂は耐熱性・耐薬品性・強靭性に優れ、また絶縁性も高いため、電子機器の絶縁材料をはじめ種々の用途に用いられています。しかし溶剤溶解性がほとんど無いことから、構造決定のための分析手段は限られてしまいます。本事例では市販のポリイミド樹脂の熱分解GC...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】LIB(リチウムイオン)正極材料の抵抗分布評価

正極材料の導電性をSSRMを用いてマッピング

リチウムイオン二次電池の正極について、その形状と導電性をマッピングすることで、周囲と絶縁された結晶粒や劣化によって導電性が低下した活物質の分布を可視化することが可能です。 本事例では、リチウムイオン二次電池の正極を機械研磨によって断面を作製してSSRM測定を行い、統計処理によって材質...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】エポキシ樹脂の定性

TOF-SIMS分析による成分の推定が可能

エポキシ樹脂は、優れた機械特性・耐薬品性・電気絶縁性を有することから、プリント基板やIC封止材など電子部品用途として、広く使用されています。エポキシ樹脂の原材料に一般的に用いられるビスフェノール類の試薬について、TOF-SIMSで測定したデータを取...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】FT-IRによる樹脂の硬化反応評価

官能基の変化を捉えることで樹脂の硬化度を評価することが可能です

耐薬品性や電気絶縁性などに優れている樹脂は、様々な電子部品の絶縁体、コーティング剤、接着剤として利用されています。FT-IR分析は、樹脂の硬化度等の不良原因を調査することが可能で、製品開発に有効です。 一例として...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】軟X線発光分光によるGaNの評価

価電子帯・ギャップ内準位について元素別の情報が得られます

各元素について、フェルミ準位近傍の部分状態密度（pDOS）を直接的に得られるため、材料の電子状態を評価する手法として幅広く用いられています。さらに本手法の特長として、1.バルクの情報が得られる 2.絶縁物に対しても帯電の影響を受けず評価可能 3.検出下限が低い（＜1atomic%）などが挙げられ、特に軽元素(B,C,N,O等)を含んだ材料の評価に有効です。本資料では測定例としてGaN基板のSXES...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST