半導体製造装置の製品一覧 （8ページ目）
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「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置です。
今後大きな需要が期待されるLiDAR用途など、多層化と高再現性が求められる高機能光学フィルターの安定生産に力を発揮します。 ・シリンダー型カソードによる、ターゲット消耗による膜質変化の影響を廃した製膜…
メーカー・取扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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プリンタブルエレクトロニクス向けインクジェット印刷機 インクジェット印刷・機開発キット
実験用 インクジェット塗布・印刷装置 ・金属微粒子インク／ＵＶ硬化インク／有機系インク 等 ・メカとの高精度吐出同期制御技術 ・各種高精度印刷補正制御技術あり ・高精度印刷機もあります。（…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ワイ・ドライブ
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【低ガス放出 セラミックス】「高電圧回路配線用 数珠玉碍子」
【RoHS 環境対応品】高電圧配線を必要とする回路の導入碍子として、どんな条件にも適用できるよう工夫された設計となっております。
■□■数珠玉碍子の特長■□■ ●優れた電気的特性 ●高耐熱性 ●低吸水性 ●優れた機械的特性 ●長寿命 ●低ガス放出 製品例の他にも貴社の技術仕様に合わせて多様な形状を承りますので、…
メーカー・取扱い企業： 株式会社友玉園セラミックス
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B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ IG-10（NW25）』
センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用！
広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを …
メーカー・取扱い企業： 東京電子株式会社
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高精度セミオートFCボンダ『CB-700（アスリートFA製）』
幅広いユーザーニーズに応えるセミオートFCB（フリップチップボンダ）
『CB-700（アスリートFA製）』は、R&D向けのオールインワンFCボンダです。 インターフェースには進化した対話型MMIFを採用し操作性が向上。 高精度搭載（±0.5μm[3σ…
メーカー・取扱い企業： 日精株式会社 本社
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簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置
「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP＋RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。 排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS8…
メーカー・取扱い企業： サンユー電子株式会社
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半導体PKG試作マニュアルモールド装置 Fusion-MEP30
減圧成形にも対応！既存金型部品を流用した設計により加工時期を短縮
『Fusion-MEP30』は、試作/実験に特化したモールド装置です。 トランスファー低圧制御により細かな設定が可能。 対話型の条件設定画面を設置し、10インチタッチパネルで ユーザー視点の…
メーカー・取扱い企業： ローム・メカテック株式会社
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研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥…
メーカー・取扱い企業： 日精株式会社 本社
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【開発中】高速FCボンダ CB-2100（アスリートFA製）
様々な工場のニーズに応える機能をラインアップ！小チップに特化した業界最速クラスのFCB（フリップチップボンダ）
『CB-2100』は、多様なデバイス（5G/データ通信/RFID）へ対応する 高速FCボンダです。 長年に渡るFCB（フリップチップボンダ）の製造で培ってきた要素技術と、 構造解析から得たデ…
メーカー・取扱い企業： 日精株式会社 本社
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実験・研究・評価・試作に好適！樹脂フィルムや金属箔に高速、高精度、低ダメージ真空成膜を実現！
『VS-R400F』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、 超高速、高品質な真空成膜を実現するスパッタ装置です。 LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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研究・試作に最適な小型プラズマCVD装置『VC-R400F』
独自のLIA方式プラズマ源を採用し、樹脂フィルムや金属箔に超高速、高品質な真空成膜を実現！
『VC-R400F』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、樹脂フィルムや金属箔への超高速、高品質な真空成膜を実現するプラズマCVD装置です。 実験・研究・評価・試作…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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実験・研究・評価・試作に好適！ガラス、金属などの平板基材に高速、高精度、低ダメージ真空成膜を実現！
『VS-R400G』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、 超高速、高品質な真空成膜を実現するスパッタ装置です。 LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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研究・試作に最適な小型プラズマCVD装置『VC-R400G』
独自のLIA方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速、高品質な真空成膜を実現！
『VC-R400G』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速、高品質な真空成膜を実現するプラズマCVD装置です。 実験・研究・評価・…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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SUSS MicroTec社製インクジェット塗布装置『LP50』
半導体、PCB、プリンテッドエレクトロニクス向け、卓上型インクジェットプリンターシステム
SUSS MicroTec社製の卓上型インクジェット塗布装置『LP50』は、目的に応じて 柔軟にプリントヘッドを選定できるよう設計された多機能で高精度な製品です。 （Fujifilm、Konica…
メーカー・取扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社
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バックアップローラーの直径・幅がφ58×50mmのフィルム超仕上げ装置のご紹介！
『SP-50型』は、目的の表面粗度が標準作業で得られるフィルム超仕上げ 装置です。 砥粒を塗布したロールフィルムを巻取りながら研磨する方式。 常に安定した表面仕上研磨が、被研磨物の寸法精度に…
メーカー・取扱い企業： 株式会社松田精機
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小型なボディで装置組込みの省スペース化！
熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節する定温度型のピラニ真空計です。 小型なボディで装置組込みの際に省スペース化を図ることができます。 表示は操作しやすいデジ…
メーカー・取扱い企業： 東京電子株式会社
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超音波振動を付加して脆性材や複合材などの難切材を効率よく切断を行うダイシング装置「CSX-400シリーズ」
CSX-400シリーズは、ウエハや集積基板をチップや個々の基板へと個片化する超音波を付加したダイシング装置。一般的なダイシング加工の『回転力による引く作用』のみでなく、回転刃の先端に超音波をハイブリッ…
メーカー・取扱い企業： 日精株式会社 本社
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個人差のないカーボン蒸着が可能に！ EPMA・分析SEMの前処理用として最適
QUICK CARBON COATER SC-701CTは、EPMAや分析SEMの試料作製の手間を省いたカーボン蒸着専用コーターです。誰でも簡単・手軽にカーボン蒸着できます。 個人差のない蒸着を実現…
メーカー・取扱い企業： サンユー電子株式会社
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低粘度～高粘度(MAX10000cP)レジスト対応！
ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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加熱することで用意にはく離が可能になる粘着シート。しっかり固定しても熱をかければすぐ剥がれる優れモノ！電子部品の製造効率化に！
Nittoの熱はく離シート「リバアルファ」は、常温では粘着力があり、加熱するだけで簡単にはがすことができるユニークな粘着シートです。 電子部品の各種製造工程で自動化・省人化に大きく貢献しています。 …
メーカー・取扱い企業： 日東エルマテリアル株式会社
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世界中の政府機関に高精度圧力校正機器を供給する主要供給業者として業務を開始
Laversabは、監査・承認を受けた米国国防総省の再委託業者として、 米国空軍や米国海軍ならびにその他の政府機関に対して、極めて頑丈な 軍用規格製品を供給しています。 顧客は、米国をふくむ…
メーカー・取扱い企業： アスコット株式会社
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産業用途向けにノイズ耐量を強化！フロッピーディスクドライブの代替品として動作実現します
当製品は、インダストリアルモデル（産業用途向けモデル）で フロッピーディスクドライブの代替品として動作実現します。 配線加工、ドライバのインストールなどシステムの改造不要。 PC/AT互…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トリコ 東京支店
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大型サンプルの全面コーティングに最適なイオンコーターです。4～8インチまでの各モデルを用意しております。
QUICK COATER SC-708シリーズは、SEM観察または分析用大型試料のチャージアップ防止用として、また、一度に多くのサンプルの成膜処理を行ないたい場合に最適なスパッタコーターです。 …
メーカー・取扱い企業： サンユー電子株式会社
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スラリーなどの研磨性流体に最適なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ
半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。抵抗の少ない構造である為、サイズに…
メーカー・取扱い企業： ゲミュージャパン株式会社
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◉ 大型製造装置設備を使わず、短時間で容易にグラフェン・CNT（SWNT）合成実験が可能 ◉ 1バッチわずか30分！
◉ コールドウオール式による高効率・高精度プロセスコントロール ◉ 急速昇温：RT→1100℃/約3分間 ◉ 高精度温度流量制御・再現性に優れたハイパフォーマンス機
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター！
QUICK COATER SC-701HMC IIは、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックモデルです。 ソフトウェア制御で高精度コントロールが可能。各種金属の薄膜作製を手軽に行な…
メーカー・取扱い企業： サンユー電子株式会社
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エアライン、ビジネスジェットなどジェネラルアビエーション向けに最適の製品です お客様の仕様にあわせたカスタマイズも可能
Laversab社モデル6300は、一般航空を対象としたRVSMピトー静圧テスターです。RVSM航空機のピトー静圧システム上でリーク確認と精度確認を行ういます。精度確認は通常、高度計、対気速度計および…
メーカー・取扱い企業： アスコット株式会社
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イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチックスパッタコーター
軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター 【特徴】 ○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 ○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献 ○排気 →…
メーカー・取扱い企業： サンユー電子株式会社
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※動画で解説！ 研磨装置 Super Finisher 平面研磨
各種基板の研磨に、また、打ち抜き部の微細バリ取りに。
Super Finisher 平面研磨は、スタンパー原盤の裏面ラップには微妙なラップの使い分けが素人にもでき、環境がクリーンです。 スタンパー裏面研磨装置は、スタンパーの裏面をラッピングフィルムによ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社サンシン
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最大5800ｍｍまでのアルミフレームの販売が可能！ また、外装ブースなどの「組立品」としても承ります！他社との互換性もあり。
弊社のアルミフレーム及びアクセサリー類は、各種装置・機械の架台、 クリーンブースやフェンス(安全柵)等において、 国内外問わず数多くのお客様の生産設備に幅広く活用されております。 アルミフレ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社タイトウトレーディング 草津本社工場
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堅牢な冷陰極型電離真空計
帯域（4.0×10-7Pa）?（3.0×10-2Pa）の圧力を１レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。
メーカー・取扱い企業： 東京電子株式会社
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【小型で高精度】卓上型テストコーター 『Mini-Labo』
超小型のロールtoロール コーターで膜厚均一性±2%以下！家庭用電源でOK！工事不要で手軽に導入可能です。※塗工のデモも承ります
『ミニラボ（Mini-Labo）』は、国内のみならず国外の開発現場でも 100台以上の販売実績を持つ、卓上サイズの超小型テストコータ―です。 低粘度塗料の薄膜塗工に適した「マイクログラビア方式…
メーカー・取扱い企業： 株式会社康井精機
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フィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ
プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置
【FM-664シリーズ】は、プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発されました。 ウェハーサイズは、下記２タイプを用意 ■FM-6648：8インチまで ■FM-6643…
メーカー・取扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社
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SEM用試料作製に適した全自動イオンコーター
QUICK AUTO COATER SC-701ATは、真空排気からコーティング(エッチング)、大気解放までを自動で行なう全自動タイプのコーターです。 【特徴】 ○膜厚制御連動方式により、個人…
メーカー・取扱い企業： サンユー電子株式会社
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シンプルを追求したコーター ボタン1つで簡単に操作できます
QUICK MINI COATER SC-701Mk II ECOは、軽量コンパクトでSEM試料用前処理に特化したコーターです。 【特長】 〇ボタン1つのスーパーイージーオぺレーション 〇マ…
メーカー・取扱い企業： サンユー電子株式会社
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熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。
帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10 4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。
メーカー・取扱い企業： 東京電子株式会社
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試料自動研磨機【社内設計だから可能なカスタマイズ設計】【日本製】
高精度な試料片作りに最適！最適な研磨条件もご提案！安心の国産機でアフターフォローも万全！
『KIRIME』は1台で全体荷重/個別荷重、2つの研磨スタイルが選べる試料自動研磨機です。 メモリー条件から最大6個を選び合わせて、オートチェンジレシピが作れます。品質の向上や新素材の開発に必要な、…
メーカー・取扱い企業： アイエムティー株式会社
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設計から実装・検査・出荷まで柔軟に対応します。 さまざまなメーカーの難題に「ヨーホーの対応力」
「ヨーホー電子では、設計・基板実装・組立を通して、 お客様と共に新たな価値を創造します」 当社独自の基板実装ノウハウと確かな設計技術を基に、部品調達、ディスクリート実装、表面実装、製品組立、各…
メーカー・取扱い企業： ヨーホー電子株式会社
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コンタミ・メンテ・振動を最小化 ベアリングレス磁気浮上遠心ポンプ
【国内正規代理店】LEVITRONIXベアリングレスポンプ 先端プロセスの要求に対応する送液性能と制御性能を実現！
高性能な3つの“Minimal（最小化）”を実現！ “Minimal” コンタミネーション 接液部に発塵元となるベアリング・軸受・開閉バルブなどの部品を持たない非接触型構造となっています。その…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1項 対応可）
緊急除害装置「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。 （高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合…
メーカー・取扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピンコーターです。回転カップ式チャックにて省材料も実現！
【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造（密閉式、回転カップ式） ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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半導体製造工程で使用される液冷システムに特化し開発されたステンレス・スチール製カップリング
セインのウルトラフローSCは、ネジ接続またはダブルフェルールチューブフィッティング付きのウルトラフロー特別バージョンです。半導体製造工程で使用される液冷システム向けに特別設計されたステンレス・スチール…
メーカー・取扱い企業： セインジャパン株式会社
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カラーフィルター全面研磨装置【突起の修正&RGB面平坦性の向上】
突起の修正及びRGB面の平坦性の向上を図るカラーフィルター全面研磨装置！
各種カラーフィルターの突起の修正及びRGB面の平坦性の向上を図ります。当方式は、ガラス基板のうねりを研磨テープ側から吸収し均一な膜厚を得る事ができます。又、プラズマディスプレイー等では、そのリブの平坦…
メーカー・取扱い企業： 株式会社サンシン
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バレル（BPシリーズ）やニードルアダプター（UNAシリーズ）などの先端に取り付け、目的に合った吐出量を得るために使用！
・ニードル径が内径Φ2～Φ0.2までと多くの種類を取り揃えています。 ・針長は13ｍｍ、15ｍｍと2種類有り、自動機などに組み込む際に合う長さを選べます。
メーカー・取扱い企業： ユニコントロールズ株式会社
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UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー
光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、完全非接触ギャップ管理、オートアライメント機能搭載です。
当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。 弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。 超精密UV…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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