レジスト装置の製品一覧 （2ページ目）
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試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化） …
メーカー・取扱い企業： 日精株式会社 本社
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低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置も作製可能です！
【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現！
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥離力・低消費薬液での膨潤・高圧ジェットリフトオフを実現！
【枚葉式の装置でDIP並みの膨潤】＋【超高圧ジェット】の組み合わせで、取れづらくなったレジストを完全除去！ ●【膨潤＋高圧ジェット】の繰り返し処理でがんこなレジストを除去可能！ ・高温ベークで…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）
高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像装置。厚膜などの現像時間を短くするのに有効です。
N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。 N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。 液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なく…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！
物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？ ・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離 ・溶剤にNMPやDMSOなどの…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）
厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状（円形、扇等）、圧力、流量などを自由に選択できます。
1流体スプレー方式の現像装置です。 現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。 大型基板や厚膜の現像に最適です。 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです
当製品は、枚葉式で現像、前面露光（反転露光）、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、FPC用で250～300mmに対応します！
当製品は、エッチング後にフォトレジスト及び、裏止め剤を 剥離する装置です。 搬送速度は2.0m/min、材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、 FPC用で250～300mm…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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静止現像式（パドル）自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）
多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです
枚葉式でウエハ上に現像液を液盛りして現像を行います。 ディップ方式と違い、1枚1枚現像を行うので、プロセスの再現性が非常に高いです。 薬液使用量を最適化することにより、現像液使用量の削減に…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現します。
自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することに…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
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クリニック様、薬局様の会計業務削減に貢献！ ※IT導入補助金(デジタル化導入類型)利用可能
ハヤレジはセミセルフ方式にも対応した医療機関様向けPOSレジシステムです。 電子カルテ・レセコンから出力された患者・請求情報などをデータ連携にて取り込む、 または領収書に請求情報が印字されたバ…
メーカー・取扱い企業： ハヤレジ株式会社
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190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理す…
メーカー・取扱い企業： ウシオライティング株式会社
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セミコンジャパンカタログ展示コーナー
セミコンジャパンカタログ展示コーナーの簡単な内容を申し上げますと、展示会に出展したくてもできない企業様はたくさんございます。そこで、弊社がその出展できなかった企業様のカタログを弊社のブースで展示を致し…
メーカー・取扱い企業： 有限会社竹内広告
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電子部品生産システム、冷間鍛造自動車部品、クーラント関連機械の総合カタログ
自動省力機器設計・製作および販売を行っている、マトヤ技研工業株式会社の「電子部品生産システム関連機械/自動車部品（冷間鍛造）関連機械/クーラント関連機械 総合カタログ」です。 マトヤ技研工業は自動生…
メーカー・取扱い企業： マトヤ技研工業株式会社
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低弾性でFPCの折り曲げが容易。薄型化・軽量化、設計自由度アップに貢献
『感光性カバーレイ(PICC)』は、柔軟性・絶縁性・実装性に優れた フレキシブル基板用のソルダーレジストです。 低弾性で基板が折り曲げやすく、基板設計の自由度アップに貢献するほか、 カバーレ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社タムラ製作所
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水処理全ての問題に優れた効果を発揮！ 21世紀の新しい水処理剤として注目！ 水質浄化と設備の保守が同時に解決！
銀イオン循環冷却水質系浄化剤 ISO14001取得工場で愛用される無公害水処理剤。 水質の浄化と設備の保守を同時に行うことが可能で、レオジネラ症予防対策や油剤の劣化などを防止することが可能です。…
メーカー・取扱い企業： 有限会社ク・チャベル 埼玉営業所
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顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ
2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です｡ オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに…
メーカー・取扱い企業： ウシオライティング株式会社
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高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置
『自動レジスト塗布現像装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布現像装置です。 装置内にレジスト塗布チヤンバーと現像チヤンバーを設けています。 レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗…
メーカー・取扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター
セル方式のOGS量産用スプレーコーター。 ガラスキャリアに化学強化済みのガラス基板（個片）を張り合わせ、複数個取りの状態でOC1などのレジストコーティングを自動で行う量産用装置。 レジスト膜厚２um…
メーカー・取扱い企業： 株式会社アピロス 本社
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シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー
◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス ======================================== ＜仕 様＞ 試料サイズ…Φ2インチ 〜 Φ6インチ カップ径…Φ30…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トービ
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レジストの溶解量が多い(液寿命の増加)！ネオ現像液
『D-701』は、液状フォトレジスト及び、ドライフィルム等のアルカリ 可溶型フォトレジストに対して適切な現像液です。 高解像度のため、パターン不良減少。(レジスト低膨性) スカムなどの残渣除…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ヤマトヤ商会 新潟営業所
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フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置
平行光光源により高解像度が得られます
メーカー・取扱い企業： ウシオライティング株式会社
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直動形電磁弁
小形４ポート３位置 直動形電磁弁 真空吸着、真空破壊制御に最適 応答時間 ２ms 作動回数 ５億回超 禁油仕様標準、安定作動、異物トラブル防止 真空・正圧の両用可能、大流量、インターロッ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント
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塗料ロスが極めて少なく、対応電池パネルやガラスの製造ラインにも対応。
太陽電池パネルやガラスの製造ラインの装置にも対応！ ●膜厚均一性が高い ●両面同時塗布 ●塗布効率が向上 ●薄い基板に塗布できる すべてオーダーメイドにてお作りします。 各種装置、…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ファイコーポレーション
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高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー
マルチステッププログラムは99ステップ×50パターン保存可能。 薬液系統増設や薬液温調システム等のオプションもご用意しています。 他サイズ、特注仕様もご相談下さい。
メーカー・取扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター
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簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベロッパー、エッチャー共に製作可能
用途、ご予算に応じてカスタマイズできますのでお問合せ下さい。 又、搬送機構を持たない汎用機もございます。
メーカー・取扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター
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丁寧な打ち合わせの後、お客様のニーズを満たす乾燥装置をお作り致します。
○吊下げ式乾燥炉 ○ウイケット式乾燥炉 ○ＵＶ式乾燥炉 ○ボックス式乾燥炉 など、各種乾燥装置のオーダーメイドを承っております。 丁寧な打ち合わせの後、お客様の要望に沿うような乾燥装置を…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ファイコーポレーション
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フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度両面露光装置
両面同時露光により高い生産性を実現します
メーカー・取扱い企業： ウシオライティング株式会社
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