フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御！】

PR循環ポンプ１台で冷却加熱ブラインを供給！ブライン供給配管の切替作業不要…

ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ１台で-100℃～+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式：混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式：電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 　◎循環量：10～20L/min　◎揚程：10～15m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック

多回路エネルギー監視モニター　eマルチ

電力とパルス（水道、ガスなど）を同時に計測。多様なエネルギーのトータル…

最大18回路までの多回路計測。電気以外にガス、燃料、生産量なども計測できます。 ...【特徴】 ○電力のほかパルス入力によりガス・燃料・水道・生産量などが計測可能 ○多様なエネルギーの使用状況を一元管理 ○既存のLANを使用してネットワーク構築し、自動でデータ収集を実施 ○eモニターLANタイプと同一システム上での使用も可能 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 河村電器産業株式会社

IEC61850対応日本語SCADA『Mint SCADA』

国際標準規格IEC61850に準拠。マルチベンダIEDに対応した日本語…

　相互運用を可能にするIEC61850とは、スマートグリッドにおける国際標準規格です。 　2017年、ジェイティ エンジニアリング社(当時※)と共同でIEC61850と市販SCADAを組合わせた製品を開発。 日本でいち早く、IEC61850に対応したSCADAとして、Mint SCADAを販売開始しました。 【特長】 ■市販SCADAパッケージ『JoywatcherSuite』との組み...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミントウェーブ

中央監視装置 RiCS-200

お客様に合わせた使い勝手を考慮して、中央監視制御システム、設備等に詳し…

採用をご検討される際に、デモ機に触っていただき、実際の使い勝手を確認していただくよう、いつでも機材をスタンバイしております。...【特徴】 ○電力量やガス使用量等のエネルギー消費状況を細かく分析出来ます ○各種データは稼働開始時より蓄積 ○適切なメンテナンスの実施により無制限に過去に遡って閲覧出来ます ●その他機能や詳細については、お問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業： 菱機工業株式会社