ガス機能 | イプロスものづくり

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー

セラミックス触媒による排気脱臭技術『セラ・ダイナミックス』

PR繰り返し使えて長寿命！自己再生能力を持つセラミックでカンタン悪臭対策！

『セラ・ダイナミックス』は、セラミック触媒を使用し、排気などのニオイを強力脱臭できる技術です。空調ダクトや排ガスダクトに設置するだけで、悪臭、油ミスト、有機溶剤を強力に吸着、分解、無害化し、悪臭防止法・PRTR・近隣対策ができます。 30万～40万種と言われる臭気成分に幅広く対応可能。用途や臭気成分などの条件に合わせて選べる製品ラインアップも魅力です。【『セラ・ダ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファインセラ

NEXGENグローブボックスシステム（新時代のガス精製装置付）

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステ…

・再生ガス、再生工程不要の新時代のガス精製装置付グローブボックス。・酸素濃度、水分濃度１ppm以下を保持、NEXGENシステムによるオートバキ　ューム・オートパージ・全自動圧力コントロール。・全世界に２万台以上の導入実績、63年の歴史を誇る世界基準のグローブボ　ックスメーカーVAC社製 ...1.次世代型カートリッジ式ガス精製装置を搭載【特許技術】 2.酸素濃度・水分濃度を...

メーカー・取り扱い企業：山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

ルーツブロワー『VP1シリーズ』高温ガスの圧送・循環に好適！

負圧域～0.35MPaG。0～100％回転数制御、100℃以上の高温ガ…

『VP1シリーズ』は、負圧域～0.35MPaGと対応圧力範囲が広く、回転数制御（0～100％）による容量調整機能を備えたケーシング・ローター水冷式のルーツブロワーです。接ガス部の材質は鋳鉄、ステンレス、特殊合金などを使用でき、 NiメッキやPFAコーティングにも対応。用途や吸入流体の特性に合わせた仕様での製作が可能です。ニーズに合うブロワーやコンプレッサが見つからずお...

メーカー・取り扱い企業：株式会社四葉機械製作所

クリンガー製ガスケット『マイラムPSS』900℃対応

超高温用　耐熱900℃　マイカガスケット

排気マニホールド、ガスタービン、高温蒸気、排ガス用途に適したガスケット材。0.1mm厚のSUS316ステンレス製爪付き薄板の両面に雲母の積層板を機械的に接着したガスケットです。【特徴】 ○使用温度　実用温度：900℃ ○適用流体　排ガス、過熱蒸気 ○厚さ：1.5t、3.0t 　公差：±10％ ○幅ｘ長さ：1000×1200mm 　公差：±50mm ○各種配管...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アキツ大阪支店

真空ガス置換乾燥装置

低酸素環境でのクリーンなガス雰囲気循環ファン加熱を可能とする真空ガス置…

真空排気による効率的なガス置換により、処理室内の酸素濃度を迅速に低減、低酸素環境でのクリーンなガス雰囲気循環ファン加熱をおこないます。...【特徴】 ■置換に要するガス量と時間を大幅に低減。　強力な真空排気機能によりガス置換を効率的におこない、フロー式に比べガス量の節約と時間の短縮をもたらします。 ■酸素濃度管理と工程管理が確実で容易。　一定の排気能力を持った真空ポンプで槽内エアを...

メーカー・取り扱い企業：佐藤真空株式会社

規格品装置　グローブボックス／ガス循環精製装置

グローブボックス、ガス循環精製装置のことならお任せください。

短時間で酸素・水分を除去し、最適な作業環境を創出。【特徴】＜グローブボックス＞ ○コンパクト＆エコノミータイプ ○真空型／ガス置換型対応 ○複数グローブ型／対面作業型対応 ○自動調圧機能により、グローブ作業が容易＜ガス循環精製装置＞ ○コンパクト＆エコノミータイプ ○短時間でガス精製可能（水分、酸素） ○貴金属触媒とＮｉ触媒の選択が可能 ○製造装置に対応し、連続...

メーカー・取り扱い企業：アトーテック　株式会社

小型ガス加熱器　HX series

低圧損、クリーン構造の小型ガス加熱器です

低圧損構造にも関わらずMax300℃まで加温可能な小型ガス加熱器です。【特長】 ○圧力損失を低減することで流量制御後にも設置が可能 ○オールメタルシールのクリーン構造 ○接ガス部材質はSUS316L ○異常加熱検出用サーマルスイッチ内蔵 ○熱電対内蔵 ○コンパクトサイズでありながらMax300℃の加熱が可能 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。......

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

高温高圧ガス・圧送　PT型ルーツブロワー

プロセス中のガスの持つ高いエネルギーを無駄にすることなく、そのまま…

当社FLB型ロータリブロワーは、気体輸送で使用される中圧・中容量の圧縮機です。現在、使用流体も様々なガス体へと用途が広がっています。当社はロータリブロワー専業メーカーとして、新しい設計方針のもと、最高の工作技術を駆使し、皆様のご要望に答えるよう努力しています。ステンレスをはじめとする特殊材質、高温・高圧ガスの循環等特殊用途では多数の納入実績があります。【特徴】 ○吸入温度...

メーカー・取り扱い企業：株式会社四葉機械製作所

高圧加圧ガス冷却横型真空炉『RQシリーズ』

幅広い冷却ガス圧に対応する真空熱処理炉

『RQシリーズ』は、シンプルな冷却ガス上下切替機構を搭載した高圧加圧ガス冷却横型真空炉です。オプションとして対流加熱機能の付加が可能。循環ファンによる対流加熱は850℃まで昇温でき、真空加熱（放射加熱）の欠点である低温での昇温遅れを大幅に改善します。【特長】 ■省エネルギー性を高めるため、インターナルチャンバ外表面温度を200℃以下に維持 ■開閉ドアは、クラッチ式ド...

メーカー・取り扱い企業：株式会社IHI機械システム本社　セールスグループ

ドライ真空ポンプ LEYVACシリーズ

これまでのメンテナンスコストを大幅に削減！長期間連続運転可能なドライポ…

新型LEYVACの特徴・ドライポンプ：プロセスガスにポンプの潤滑油が接触しません・5年間サービスが不要（クリーンなアプリケーションの場合）・信頼性のある確立されたスクリュー式のデザイン・80m^3/h, 140,^3/hの排気速度を大気圧付近から発揮・堅牢なデザインと確立された技術により長期間連続運転が可能・予想される誤使用に対しても保護機能あり・大気圧からプロセス圧までフラットな排...

メーカー・取り扱い企業：ライボルト株式会社

デジタルマスフローメータ　MM-3000L series

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです

マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。【特長】 ○高分解能（16ビット）A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示ＬＥＤを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社『高機能シール』

超高真空用高機能メタルシールのご用命は当社にお任せください！

当社では、超高真空、半導体、原子力、繊維、自動車、航空宇宙等、各種産業用高機能メタルシールをご提供しております。主な製品として、メタル中空Oリングやバネ入りCリングヘリコフレックス(R)、メタルCリングなどを取り扱っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【取扱製品】 ■航...

メーカー・取り扱い企業：テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社

電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』

豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いた…

『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージのコンビネーション及びゲージの自動切替を行うオー...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SSHシリーズ

省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポン…

豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。 ●非腐食性ガスの場合、冷却用ガス・シールガス・パージ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

水封式真空ポンプ　LEH/LEMシリーズ

水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な水封式真空ポンプ

水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な水封式真空ポンプ【特徴】 ○引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる ○摩擦部分が少なく故障がないので連続運転に耐えられる ○低騒音でかつ振動が少ない ○連続排気で脈動がない ○軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易 ○全機種エルモ形で従来のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい ○定流量弁を内蔵し適量給水方式を採用 ○LEH型...

メーカー・取り扱い企業：樫山工業株式会社

油中ガス自動分析装置

変圧器など油入機器に使用されている絶縁油中の溶存ガスを分析し、異常診断を行なうための油中ガス自動分析装置です。 ...【特徴】 ■油中ガスサンプルは最大18本装着可能（20ml／本） ■ガスの抽出を自動化し、大気混入による精度劣化を防止できます。 □その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三美テックス

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング装置を納入した事例を紹介させていただきます。今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロードロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

【ステンレス製】『ルーツ式真空ポンプ』VPシリーズ

化学メーカー・製薬メーカーで採用実績多数有！腐食に強いステンレス製真空…

『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つオーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を採用したルーツ式の真空ポンプです。凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社四葉機械製作所

複合分子ポンプ　TG5000/5003 TG5500/5503

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...【製品の特長】 ○ク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

一段式ロータリーベーン真空ポンプ SOGEVAC Bシリーズ

一段式の油回転式真空ポンプ。低い騒音レベルとスムーズな操作性。幅広…

一般産業だけでなく研究開発分野においても適した油回転式真空ポンプ。低～中真空の排気に適し、ルーツ真空ポンプやターボ分子ポンプなどと組み合わせることにより高真空を得ることもできます。排気速度10～750m3 x h-1の幅広いラインナップからお客様のニーズに適したポンプを選択できます。【主な特徴】 -　低圧でも高い排気速度 -　低い騒音レベルとスムーズな操作 -　内蔵の効率的な排気フィルタ...

メーカー・取り扱い企業：ライボルト株式会社

真空ポンプ　水エジェクタ(WJシリーズ)

エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…

水エジェクタは、水を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。駆動水の蒸気圧程度の吸入口圧力が得られ、凝縮性・腐食性ガス、ダストを含む気体の排気に有効です。また、多段蒸気エジェクタシステムの最終段としても利用できます。...【製品の特長】 ○駆動に水を使用しているので、凝縮性ガスや腐食性ガスの排気、ダストを含む気体の排気に有効です ○駆動水の飽和蒸気圧程度の吸入口圧力が得られます ○標...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

バリアブルレンジ対応マスフローコントローラ　MC-700

低価格でありながらマルチレンジに対応したマスフローコントローラです

MFC上部あるロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能なマスフローコントローラです。【特長】 ○短納期対応モデル ○高速・高性能なピエゾアクチュエータ搭載 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○ロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

ヘリウムリーク受託検査サービス

リーク検査はお任せください。製品と検査機を繋ぐ治具の作成から検査まで、…

弊社は、お客様の部品をお預かりして「ヘリウムリークディテクタ」によるリーク検査（リークテスト・リークチェック・漏れ試験）を行うサービスを行っております。ヘリウムリークディテクタを用いたリーク検査は以下の利点を有しています。・ヘリウムは水素よりも分子直径が小さく漏れ試験のガスに適している・他の漏れ検査の方式に比べて高精度で微小な漏れが検出可能（水没法やエアリークテスターでは検出で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソナスリンク

グラフェン開発用小型熱CVD装置 SFCVシリーズ

大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…

少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、同時に大幅なコストダウンを実現しました。また、従来小型では困難とされてきた5～100Pa での圧力コントロール機能を備え、より多様な処理パターンに対応可能としました。さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。詳しくは、カタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業：佐藤真空株式会社

低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…

気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

ULVAC DIGEST 真空関連機器総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数掲載しています。今なら総合カタログ無料でプレゼント中です。【掲載製品】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

高電流密度イオンビーム型イオン銃

EUROVAC社製VARIAN型廉価版3keVイオン銃

リングレート:200Å/min 　■ ビーム径:2.5mm 　■ リモートコントロール機能:ビーム電圧のオンオフ　■ イオンビームスキャニング機能: 　■ DC偏向機能: 　■ 自動出ガス機能: 　■ 取付フランジ:ICF70 　■ 許容加熱温度:250℃...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テク

恒温真空プローバー

小型TMP排気セット装備！最大4プローブまで増設可能なプロービングシス…

当製品は、軽量化のため、ベースはアルミ材を使用している、上下に真空吸着付きの『恒温真空プローバー』です。温調はサイクル制御2系統。ステージ部が温調機能があり、真空雰囲気・ガス雰囲気・温度可変といった環境下で測定ができるシステムとなってます。【特長】 ■最大4プローブまで増設可能 ■ステージ部が温調機能があり、真空雰囲気・ガス雰囲気・温度可変といった　環境下で測定...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック

ピュアでクリーンな錠剤押さえ用緩衝材「タカプレン」

発泡剤等の添加物を使用していない、衛生的で安全な緩衡材です。

『タカプレン(R)』は、発泡添加剤を使用せず、窒素ガスにより発泡させているため、ポリエチレン100％のピュアでクリーンな発泡体です。様々な容器形状、口部形状に合わせた最適な錠剤押さえの形状、取り出し易い形状をご提案致します。『タカプレン』で乾燥剤を包み込んだ新しいタイプの錠剤用緩衝材『タカプレン(R)ハイブリッド』もございます。【特長】 ○発泡添加剤を使用していないため、見た目に...

メーカー・取り扱い企業：高久産業株式会社

真空ポンプ保護装置　標準HSコレクター

あらゆるパーティクルに対応でき、効率よく捕捉が行なえます！

「標準HSコレクター」は、フィルターの寿命を出来る限り永くする為に、パーツの選択が可能で、あらゆるパーティクルに対応でき、効率よく捕捉が行なえます。洗浄により半永久的に使用できる焼結金属フィルターとミスト回収用のセルロースフィルターが選択でき、また粒子により1～10μのデミスターを選択できます。ワンタッチで全ての部品が取り外せ、フィルターの交換が短時間で行なえ、ドレン部が全開口でき清掃が安易に行な...

メーカー・取り扱い企業：エイチアールディー株式会社本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により　従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード...

メーカー・取り扱い企業：樫山工業株式会社

中型真空プラズマ装置【ワンタッチで簡易な操作性】

表面改質に特化した大型真空プラズマ装置！ワンタッチの簡単な操作性で初心…

表面改質に特化した大型真空プラズマ装置です。ワンタッチフルオート機能、及び、オートリーク機能を搭載しているため、取扱が非常に容易で、真空機器初心者でも扱えます。 AC100Vのコンセントで動作しますので、様々な状況での使用が可能となります。また大変メンテナンスが容易です。又、チャンバーサイズはご要望に合せて作らせて頂きます。...■大面積！φ400、A4サイズの処理対応 ■家電感覚の使用感 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

デバイスネット対応マスフローコントローラ　MC-5000L

デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラで…

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ【特長】 ○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ　 (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応） ○＋11〜24V...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

ドライガスシール『DGS』

広いしゅう動面に、独自のテーパ－状のガス溝

DGSシリーズのガス潤滑メカニカルシールは、ターボコンプレッサ専用に開発されました。しゅう動面が広く、回転環にU字型またはV字型の溝があるのが特徴です。 DLC膜（ダイヤモンドライクカーボン）をコーティングしたSiCしゅう動材の採用により、緊急時にも優れた稼動特性を発揮します。コンプレッサの高効率化が図れるのはもちろんのこと、運転経費が低い、消費動力が少ない、使用時の安全性が...

メーカー・取り扱い企業：イーグル工業株式会社本社

堀技研工業　真空ポンプ

コンパクト、低騒音、低振動、高効率、低消費馬力。高シェアを誇る当社の真…

当社の真空ポンプは揺動式の特徴を生かし、コンパクト、低騒音、低振動、高効率、低消費馬力です。その性能及び耐久性の高さにより、炭化水素ガス回収装置用真空ポンプでは国内市場の多くのシェアを誇っております。【特長】 ○プロセス用真空ポンプに最適 ○非常に少ない消費馬力を実現 ○騒音、振動も低レベル ○小型軽量 ○保守も容易 ○据え付けは簡単 ○１台の真空ポンプで吸入側を負圧にし...

メーカー・取り扱い企業：堀技研工業株式会社

反応生成物対応　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MIシリーズ

独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を…

外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。 ...【製品の特長】 ○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上 ○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減 ○排気...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

コールドカソードタフゲージ『CCTG200C』

B-Aゲージ同等の精度！セラミック製の陰極を採用したコールドカソードタ…

測定も可能です。【特長】 ■コンパクト設計 ■視認性の良いシンプルなLED表示 ■B-Aゲージ同等の精度 ■セラミック製の陰極（カソード）を採用 ■カソードを700℃で加熱するデガス機能付 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミラプロ

アクティブ真空センサー用コントローラ GRAPHIXシリーズ

1・2・3の計測チャンネルを持つ新型コントローラ

高性能の真空センサー用コントローラです。静電容量計、ピエゾ式圧力センサー、ピラニ真空計、冷陰極電離真空計、熱陰極電離真空計などの幅広い製品に対応します。 -　直感的ユーザーインターフェースの3.5インチタッチパネルディスプレイ -　曲線や棒グラフで読みやすく表示 -　設定や計測データを内部またはUSBを使用して外部メディアにリアルタイムに記録 -　圧力上昇テストによるリークテスト機能 -　多種...

メーカー・取り扱い企業：ライボルト株式会社

低水分グローブBOX付真空乾燥装置

電池/電極生産用乾燥装置　【リチウム二次イオン・キャパシタ、太陽電池、…

露点管理可能なグローブBOXにより、乾燥･ベーキング処理後のワークへの水分吸着を防ぐ低水分グローブBOX付真空乾燥装置です。各種電池・電極などの乾燥･ベーキング･脱ガス処理に適しています。...【仕様】 ■各種電池・電極などの乾燥･ベーキング･脱ガス処理のための装置 ■露点管理可能なグローブBOXにより、乾燥･ベーキング処理後の　ワークへの水分吸着を防ぐ ■槽内寸法：W400×D...

メーカー・取り扱い企業：佐藤真空株式会社

平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能！

『MSS600-3』は、矩形カソード W100ｘH500mmによる 3元RFスパッタリング装置です。基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着します。また、基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整や様々な異種積層成膜が可能です。【特長】 ■自動スパッタ機能により、長時間のスパッタリング作業も省力で可能 ■GenCor...

メーカー・取り扱い企業：株式会社愛知真空

各種装置

スパッタ・アッシャー複合機や水素吸蔵機能材料評価装置など、各種装置をご…

当社は、ガス供給設備メーカーの技術を生かし、産業界で必要とされる様々な「流体制御システム」製品を設計・製作しております。スパッタ・アッシャー複合機をはじめ、飲料プラントや高純度ケミカル供給装置、エキシマ照射装置など、各種装置をご用意。目的に合せたグレードの高いガス供給技術は、半導体製造装置メーカーから高い評価をいただき、これらの技術は医療や飲料業界などの分野にも裾野を ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューズテクノネット

高温マスフローコントローラ　MC-3000L-TC series

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L…

独自の特許技術で1.0％F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。水蒸気などの高温ガス制御に最適です。【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃（非通電）が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リンテック東京営業所

【資料】ユニカー工業株式会社　メカニカルシールとは

機械内部の液体やガスの漏れを防ぐ！メカニカルシールについて解説

当資料では、メカニカルシールについて解説しております。「シールの種類について」や「グランドパッキンとの違い」、「メカニカルシールの機能上の分類」などを掲載。図や表なども多数掲載し解説しておりますので、ぜひ参考資料としてご活用ください。【掲載内容】 ■メカニカルシールとは ■シールの種類について ■グランドパッキンとの違い ■メカニカルシールの機能上の分類 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社椿本マシナリー

真空熱処理炉　VHF-H/VHF-V

横型・竪型どちらでも選択可能

目的によりカーボンヒーター、メタルヒーター(W, Mo) を装備可能な、金属、セラミックスの脱脂、焼成処理に適した真空ガス置換型熱処理炉...【特徴】 ■Ar, N2 ガス置換によるフロー昇温、冷却が可能 ■プログラムコントローラーによる脱脂工程、焼成工程のパターン運転が可能　ガス置換タイミングは、プログラムコントローラーのイベント信号によりおこなう ■炉内過昇温アラーム、水冷ジャケッ...

メーカー・取り扱い企業：佐藤真空株式会社

真空設備のエンジニアリング業務

真空設備をトラブルなく運転するために、生産設備個々の条件に合った真空ポ…

日本ブッシュでは、これまで培った真空ポンプ技術者集団に加え、エンジニアリング会社で豊富な経験を積んだエンジニアを社内に配置し、自社真空ポンプを利用したエンジニアリング業務への取り組みを始めました。オイルベーン式、ドライスクリュー式、水封式など真空ポンプは種類が豊富です。これらの中からどのポンプを選定すればよいのか、また大きさをどうやって決めればよいのか、迷わず判断できるよう、ポ...

メーカー・取り扱い企業：日本ブッシュ株式会社

真空乾燥・真空ベーキング装置 DY "Wing"Type

高温の真空乾燥・ベーク処理を全自動で…DY-Pタイプ。さらに大排気…

生産機として設計された自動式真空乾燥・ベーキング装置です。生産ライン用として求められる信頼性、耐久性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。到達圧力と排気速度の異なる2タイプ(DY-PとDY-MP) から、目的、用途に合った機種をお選びください。 ■DY-Pタイプ排気系が油回転真空ポンプ単独で構成され、到達圧力は×10Pa となります...

メーカー・取り扱い企業：佐藤真空株式会社