圧縮ガスドライヤー

PR各種圧縮ガスから不純な水分を除去するドライヤー

各種ガスドライヤーは、圧縮ガスから水蒸気を連続的に分離するように設計されているため、圧力下露点温度を低下させます。 【効果一例】 二酸化炭素は不活性ガスであり、湿度のレベルによっては腐食性が高くなる可能性があります。 したがって、圧縮二酸化炭素ドライヤー（CO2ドライヤー）は通常、特定のプロジェクト要求を満たすためにカスタムメイドされます。 動作圧力、温度、要求される圧力下露点温度、湿度レベル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭ケミカルス

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

特殊構造採用の電気ヒーター　気体加熱器『クリーンホット』

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーン…

気体加熱器『クリーンホット』は、特殊ヒーターおよび特殊構造の採用に より加熱効率がよく、加熱対象ガスをすばやく昇温し、正確な温度制御が 可能な電気ヒーターです。 内部特殊構造により、断熱材を使用しなくても外装パイプ表面温度の 低温化を実現。断熱材不要なためクリーンルームなどの環境で使用可...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

ガス加熱用高効率ヒータ『WEXシリーズ』

小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの…

ワッティーが提供する『WEXシリーズ』は、継手や配管など接ガス部は オールステンレス(SUS316L)製のガス加熱用高効率ヒータです。 サイズ別に適した仕様を実現し、最小流量10L/min～最大流量100L/min、 最高使用温度300℃まで可能な製...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大き...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

セトラ社　腐食性ガス対応　微圧センサ　２０１

接ガス部はインコネル６００シリーズとＳＵＳ３１６を採用し全溶接構造で堅…

モデル２０１は耐食性の微差圧トランスミッタです。 接ガス部は全溶接構造でリークの心配がない構造になっています。 接ガス部の材質はインコネル６００シリーズを採用、継手部はＳＵＳ３１６を採用して耐腐食性に優れます。ローコストで微圧の計測を行う事が出来ます。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

卓上真空プラズマ装置YHS-G(ガス導入タイプ)

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！ 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪ チャンバーサイズはφ250mm×高さ150mm。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替え…

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減す...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

液体・ガス燃料溶射システム『Met-PCC(HVOF)』

コンパクトで操作も簡単！高い密着力と気孔率の低い皮膜を実現します

です。 フロントエンドでは、操作者のインターフェースはグラフィカルユーザー インターフェイス（GUI)を利用しており、オプションとして動画を画面に 取り込むことが可能。 標準の装置はガスと液体に関して、皮膜に適した連続性の為に質量流量で すべて制御されており、すべての溶射パラメーターで装置のリアルタイムの 動向を見ることができます。 【特長】 ■質量流量制御＝高い繰り返...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

半導体製造向　特殊ガス　シリンダーキャビネット

ガス供給装置の設置・製造や特殊材料ガス配管工事など承ってます

弊社の業務内容としては、 半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造や 特殊材料ガス配管工事などです。 【製品事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

超高純度ガス小型精製器

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大１ＰＰＢ以下まで除去します。内蔵の粗取り用フィルターメディアには全て...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

半自動ガス切替装置

簡単な操作で、途切れることなくガスを供給

切替に電磁弁等を使用していないため 電源が無い場所でも使うことが可能な、半自動ガス切替装置...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

活性炭ガス精製器

高清浄度活性炭を内蔵

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

プラズマ溶射システム『Met-PCC(PLAS)』

従来のプラズマとHVOF装置の簡潔な制御と操作者インターフェイスの特長…

発品です。 同社最新のPLCが装置を動かし、信頼できるイーサネットのプロトコルを通して 機器同士が伝達するので、プロセッサーは操作性・統合性・伝達性に優れています。 【特長】 ■一次ガス・二次ガス・キャリアガスの質量数量制御＝高い繰り返し精度 ■使いやすい直感的な操作者インターフェース ■インヴァーター電源＝安定性 ■タッチパネル操作者インターフェースつきのPC制御 ■キー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

ウエキコーポレーション　ガストータルソリューション

ガス設備設計・製作・施工、ガス使用現場のトータル管理、高圧ガス・特殊ガ…

・ガスエンジニアリング＆サポート ・ガスサービス事業 ・ガス販売：工業用ガス、燃料用ガス、半導体・液晶用ガス、電子・照明用特殊ガス、標準ガス ・ガス機器販売：ガス機器、低温機器、溶材機材...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウエキコーポレーション

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃（SH-BN）, 850℃（SH-IN） ◎ 短時間昇温...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ガス配管製作

ガス配管製作

自動溶接作業は、クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。 製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の 　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な 　体制となっており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

溶解槽

溶解槽

間での濃度変更にも対応できます。濃度管理は1槽ごと独立して行えるのでこまめな濃度管理・調整が可能です。また亜鉛板補給作業が大変容易になり、溶解槽は密閉されているので健康を害し建物を老朽化させる腐食性ガスは外部に発生しません。 ★亜鉛溶解速度の高速化 　亜鉛溶解時間を短縮し、短時間でイオン化した溶液の補充が可能なので急速な濃度変更にも対応可能。 ★有害ガス発生の防止 　溶解槽で発生する呼吸...

メーカー・取り扱い企業： 木田精工株式会社

真空ガス四重極分析計

遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置

装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。 これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。 使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics（診断）に新しい可能性を切り開きます。 【仕様】 ◇マスレンジ：　1-100 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

半導体プロセスガス用　インラインフィルター

短納期対応可能！高純度ガス用インラインガスフィルター！

半導体製造プロセスガス向けに開発。 複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現！ 高い除粒子効果及び、ろ過精度でガス置換特性・耐圧性・耐腐食性に優れています。 フィルターエレメントは、2種類。 ・SUS...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

各企業様の研究・開発部門や各種研究開発機構様とのお取引をさせて頂いており、最先端技術を取り入れた技術の提供が可能です。御客様の御要望に沿った装置設計が弊社の最も得意とするところです。その他、ユニット、部品単体の設計や改造案件なども承っておりますので、お気軽にご相談下さい。 【取り扱い産業一覧】 半導体製造／有機EL・液晶パネル製造／太陽電池パネル製造／医薬品製造／食品加工／他 ...近年...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

小型ガス精製器用ジャケットヒーター

ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致…

(株)ピュアロンジャパン製 ジャケットヒーターです。...【特徴】 ○４００℃までの高温に対応可能です。 ○各サイズに合わせて設計されていますのでジャストフィットします。 ○外装はポリエステルクロス製です。 ○発塵の心配がありません。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。 配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや 排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター 【特長】 ・200℃までの高温まで加熱可能 ・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社

『事例集』半導体製造用バルブのヒューマンエラー対策※無料進呈中

【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラ…

は半導体製造工程でのヒューマンエラー事例と対策をご紹介。 特に人気のある3事例をまとめて進呈中です。 ◎概要◎ ・バルブを閉止したつもりが半開状態だった ・間違って閉止バルブを開けてガスを流してしまった ・忙しい時や普段とは違う作業時にバルブを締め切らずに漏れ発生… といった事故やトラブルのお悩みはありませんか？ お悩み別の解決方法を事例集にまとめております。 ▼ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ガス供給装置の設置・製造【設備案内】

ガス供給装置の設置・製造【設備案内】

湘南テクノが挑戦し続けているのも、この激動の分野です。半導体を製造する為の機械設備に 使用される私達の精密機械加工技術が、お客様が日頃、 お使いになられている製品にいかさえれているかも知れません。 ＝＝＝創業以来、私達は世界基準を満たすクオリティーを追求し続け 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　更なる技術の革新を追求し続けています＝＝＝ ・師弟関係をもったマイスター達は、技...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

ステンレスチューブ BA管 EP管　製品カタログ

バリューインパクト有限会社は『つなぐ』に価値をご提案します。 真空配…

以下サイズを国内在庫し、現地配管や装置内ガス配管、機械加工部品用などの用途に採用。主に半導体ガス配管などの清浄度配管に多く使用されております また国内在庫本数を増やし、即納期や製作に対応しております 【在庫品】 SUS316L BA 1...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社

【ガススプリングの代替に】パワーアシストヒンジ採用事例

ガススプリングの代替にパワーアシストヒンジを。ガス抜けがなく省スペース…

チップマウンターのカバー開閉部分に パワーアシストヒンジ HG-PA230-25を採用いただきました。 【課題のポイント】 ・ガススプリングを取り付けるスペースが確保できないが、開けるときのアシスト機能が欲しい。 ・積層表示灯を見やすい装置にしたい。 【解決のポイント】 カバーの重量が重いため従来機種ではガススプリン...

メーカー・取り扱い企業： スガツネ工業株式会社 テクノフィールド事業部

【セラミックスパーツ】 スペーサー・ワッシャー・ブッシュ・ネジ類

『セラミックスパーツ』は、耐熱性、耐薬性、非磁性などに優れ、高い機能性…

用、M6用 ・平ワッシャー：M2.6用～M12用 ・ブッシュ：M3用～M14用 ・ネジ、ナット、ボルト類 　　ナベ小ネジ 　　セットナベ小ネジ（樹脂・ゴムワッシャー付） 　　六角ボルト（ガス抜き用穴有/無） 　　六角穴付きボルト（ガス抜き用穴有/無） 　　六角ナット 【仕様】 ○材質：アルミナ96 ○色：白 ○耐熱温度：1300℃ ○Eu-RoHS2対応製品 製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社廣杉計器