【防災・BCP対策】非常用LPガス発電機

PR防災・停電対策・BCP対策向け非常用電源には災害に強いLPガス発電機を…

豊富なラインナップからお客様に適した発電機をご提案。 【LPガス発電機のメリット・優位性】 ■ガソリン発電機のように使用後放置してもキャブレターが詰まらない ■スズがでず、大気汚染物質の排出量が少なく、CO2も削減できる ■燃料の保管が容易のため、必要な量に応じて備蓄可能。72時間も対応可能。 【LPガスのメリット・優位性】 ■分散型エネルギーで復旧が早い。 ■国土強靭化計画で「エネルギー供給...

メーカー・取り扱い企業： 富士瓦斯株式会社（フジガス）

冷媒ガス『R32』

PR無色透明で無臭！純度99.8%、水分20ppm、蒸発残分100ppmの…

『R32』は、通常の温度、気圧下では安定した冷媒ガスです。 比重は0.960g/cm3(25℃)で、沸点は-51.7℃となっており、 通常の条件では有害な反応は起こりません。 また、不凝縮ガスは1.5%で、酸分はNDの製品です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【物理的及び化学的性質】 ■物理的状態：液化ガス ■色：無色透明 ■沸点：-51.7℃ ■引火点...

メーカー・取り扱い企業： アオホンケミカルジャパン株式会社

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

特殊構造採用の電気ヒーター　気体加熱器『クリーンホット』

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーン…

気体加熱器『クリーンホット』は、特殊ヒーターおよび特殊構造の採用に より加熱効率がよく、加熱対象ガスをすばやく昇温し、正確な温度制御が 可能な電気ヒーターです。 内部特殊構造により、断熱材を使用しなくても外装パイプ表面温度の 低温化を実現。断熱材不要なためクリーンルームなどの環境で使用可...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

ガス加熱用高効率ヒータ『WEXシリーズ』

小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの…

ワッティーが提供する『WEXシリーズ』は、継手や配管など接ガス部は オールステンレス(SUS316L)製のガス加熱用高効率ヒータです。 サイズ別に適した仕様を実現し、最小流量10L/min～最大流量100L/min、 最高使用温度300℃まで可能な製...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大き...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

セトラ社　腐食性ガス対応　微圧センサ　２０１

接ガス部はインコネル６００シリーズとＳＵＳ３１６を採用し全溶接構造で堅…

モデル２０１は耐食性の微差圧トランスミッタです。 接ガス部は全溶接構造でリークの心配がない構造になっています。 接ガス部の材質はインコネル６００シリーズを採用、継手部はＳＵＳ３１６を採用して耐腐食性に優れます。ローコストで微圧の計測を行う事が出来ます。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

卓上真空プラズマ装置YHS-G(ガス導入タイプ)

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！ 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪ チャンバーサイズはφ250mm×高さ150mm。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替え…

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減す...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

液体・ガス燃料溶射システム『Met-PCC(HVOF)』

コンパクトで操作も簡単！高い密着力と気孔率の低い皮膜を実現します

です。 フロントエンドでは、操作者のインターフェースはグラフィカルユーザー インターフェイス（GUI)を利用しており、オプションとして動画を画面に 取り込むことが可能。 標準の装置はガスと液体に関して、皮膜に適した連続性の為に質量流量で すべて制御されており、すべての溶射パラメーターで装置のリアルタイムの 動向を見ることができます。 【特長】 ■質量流量制御＝高い繰り返...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

半導体製造向　特殊ガス　シリンダーキャビネット

ガス供給装置の設置・製造や特殊材料ガス配管工事など承ってます

弊社の業務内容としては、 半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造や 特殊材料ガス配管工事などです。 【製品事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

超高純度ガス小型精製器

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大１ＰＰＢ以下まで除去します。内蔵の粗取り用フィルターメディアには全て...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

半自動ガス切替装置

簡単な操作で、途切れることなくガスを供給

切替に電磁弁等を使用していないため 電源が無い場所でも使うことが可能な、半自動ガス切替装置...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

活性炭ガス精製器

高清浄度活性炭を内蔵

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

プラズマ溶射システム『Met-PCC(PLAS)』

従来のプラズマとHVOF装置の簡潔な制御と操作者インターフェイスの特長…

発品です。 同社最新のPLCが装置を動かし、信頼できるイーサネットのプロトコルを通して 機器同士が伝達するので、プロセッサーは操作性・統合性・伝達性に優れています。 【特長】 ■一次ガス・二次ガス・キャリアガスの質量数量制御＝高い繰り返し精度 ■使いやすい直感的な操作者インターフェース ■インヴァーター電源＝安定性 ■タッチパネル操作者インターフェースつきのPC制御 ■キー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

ウエキコーポレーション　ガストータルソリューション

ガス設備設計・製作・施工、ガス使用現場のトータル管理、高圧ガス・特殊ガ…

・ガスエンジニアリング＆サポート ・ガスサービス事業 ・ガス販売：工業用ガス、燃料用ガス、半導体・液晶用ガス、電子・照明用特殊ガス、標準ガス ・ガス機器販売：ガス機器、低温機器、溶材機材...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウエキコーポレーション

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃（SH-BN）, 850℃（SH-IN） ◎ 短時間昇温...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ガス配管製作

ガス配管製作

自動溶接作業は、クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。 製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の 　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な 　体制となっており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

溶解槽

溶解槽

間での濃度変更にも対応できます。濃度管理は1槽ごと独立して行えるのでこまめな濃度管理・調整が可能です。また亜鉛板補給作業が大変容易になり、溶解槽は密閉されているので健康を害し建物を老朽化させる腐食性ガスは外部に発生しません。 ★亜鉛溶解速度の高速化 　亜鉛溶解時間を短縮し、短時間でイオン化した溶液の補充が可能なので急速な濃度変更にも対応可能。 ★有害ガス発生の防止 　溶解槽で発生する呼吸...

メーカー・取り扱い企業： 木田精工株式会社

真空ガス四重極分析計

遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置

装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。 これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。 使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics（診断）に新しい可能性を切り開きます。 【仕様】 ◇マスレンジ：　1-100 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

半導体プロセスガス用　インラインフィルター

短納期対応可能！高純度ガス用インラインガスフィルター！

半導体製造プロセスガス向けに開発。 複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現！ 高い除粒子効果及び、ろ過精度でガス置換特性・耐圧性・耐腐食性に優れています。 フィルターエレメントは、2種類。 ・SUS...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

各企業様の研究・開発部門や各種研究開発機構様とのお取引をさせて頂いており、最先端技術を取り入れた技術の提供が可能です。御客様の御要望に沿った装置設計が弊社の最も得意とするところです。その他、ユニット、部品単体の設計や改造案件なども承っておりますので、お気軽にご相談下さい。 【取り扱い産業一覧】 半導体製造／有機EL・液晶パネル製造／太陽電池パネル製造／医薬品製造／食品加工／他 ...近年...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

小型ガス精製器用ジャケットヒーター

ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致…

(株)ピュアロンジャパン製 ジャケットヒーターです。...【特徴】 ○４００℃までの高温に対応可能です。 ○各サイズに合わせて設計されていますのでジャストフィットします。 ○外装はポリエステルクロス製です。 ○発塵の心配がありません。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。 配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや 排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター 【特長】 ・200℃までの高温まで加熱可能 ・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社

『事例集』半導体製造用バルブのヒューマンエラー対策※無料進呈中

【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラ…

は半導体製造工程でのヒューマンエラー事例と対策をご紹介。 特に人気のある3事例をまとめて進呈中です。 ◎概要◎ ・バルブを閉止したつもりが半開状態だった ・間違って閉止バルブを開けてガスを流してしまった ・忙しい時や普段とは違う作業時にバルブを締め切らずに漏れ発生… といった事故やトラブルのお悩みはありませんか？ お悩み別の解決方法を事例集にまとめております。 ▼ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ガス供給装置の設置・製造【設備案内】

ガス供給装置の設置・製造【設備案内】

湘南テクノが挑戦し続けているのも、この激動の分野です。半導体を製造する為の機械設備に 使用される私達の精密機械加工技術が、お客様が日頃、 お使いになられている製品にいかさえれているかも知れません。 ＝＝＝創業以来、私達は世界基準を満たすクオリティーを追求し続け 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　更なる技術の革新を追求し続けています＝＝＝ ・師弟関係をもったマイスター達は、技...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

ステンレスチューブ BA管 EP管　製品カタログ

バリューインパクト有限会社は『つなぐ』に価値をご提案します。 真空配…

以下サイズを国内在庫し、現地配管や装置内ガス配管、機械加工部品用などの用途に採用。主に半導体ガス配管などの清浄度配管に多く使用されております また国内在庫本数を増やし、即納期や製作に対応しております 【在庫品】 SUS316L BA 1...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社

【ガススプリングの代替に】パワーアシストヒンジ採用事例

ガススプリングの代替にパワーアシストヒンジを。ガス抜けがなく省スペース…

チップマウンターのカバー開閉部分に パワーアシストヒンジ HG-PA230-25を採用いただきました。 【課題のポイント】 ・ガススプリングを取り付けるスペースが確保できないが、開けるときのアシスト機能が欲しい。 ・積層表示灯を見やすい装置にしたい。 【解決のポイント】 カバーの重量が重いため従来機種ではガススプリン...

メーカー・取り扱い企業： スガツネ工業株式会社 テクノフィールド事業部

【セラミックスパーツ】 スペーサー・ワッシャー・ブッシュ・ネジ類

『セラミックスパーツ』は、耐熱性、耐薬性、非磁性などに優れ、高い機能性…

用、M6用 ・平ワッシャー：M2.6用～M12用 ・ブッシュ：M3用～M14用 ・ネジ、ナット、ボルト類 　　ナベ小ネジ 　　セットナベ小ネジ（樹脂・ゴムワッシャー付） 　　六角ボルト（ガス抜き用穴有/無） 　　六角穴付きボルト（ガス抜き用穴有/無） 　　六角ナット 【仕様】 ○材質：アルミナ96 ○色：白 ○耐熱温度：1300℃ ○Eu-RoHS2対応製品 製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社廣杉計器

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

ための難しいプロセスに対応可能なハイスペックなエッチャーをお探しの方 【仕様】 ・サイズ：W ～800mm x D 1700mm x H 1500mm（本体・標準、構成によって異なる） ・ガス配管：最大12ライン（プロセスガス11ライン+パージ用N2） ・対応ウエーハサイズ：最大φ200mmフルウェハ、クーポンタイプ、パッケージ化ダイ等 ・対応プロセス：成膜（PECVD、ICP-CV...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

レーザークラッド加工装置『MED-CLAD』

純度の高い皮膜で、金属部材の耐食・耐摩耗・耐衝撃性能を高めます！

MED-CLAD』は、スタンドアローン型の製品で、レーザークラッドの皮膜を 施すのに使われるレーザークラッド加工装置です。 制御盤ボックスは、繰り返しのきくクラッディング用にレーザーシールドガスと パウダー送りガスの質量流量制御を提供。 クラッディングの工程のすべては、タッチスクリーンのパネルを通して制御され、 操作者とのインターフェイスはwindowsのインターフェイスで操作さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

全てのFOUPに対応した SEMI準拠のN2パージロードポート 【特徴】 ○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応 ○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入 　フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射） ○多量のガスを一挙に流し、置換時間及びガス総流量を大幅に改善 ○SEMI規格に基本的に準じている ●その他機能や詳細については...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライト製作所 本社

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム…

『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な 集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。 バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより 効率の良いヒーティングが可能。 流量の再現性が求められる原子層堆積（ALD）プロセ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

小型圧力ゲージ　ＰＧ−２０

半導体のガス供給系の集積化システムに対応した小型圧力ゲージ

半導体のガス供給系の集積化システムに対応した小型圧力ゲージ ＜特長＞ ■表示部外径20mm(1.125インチ)／1.5インチベースブロックへの着脱が容易 ■視認性に優れた3・1／2桁LEDデジタル...

メーカー・取り扱い企業： ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)

株式会社テック・エンジニアリング 取扱い製品 総合カタログ

半導体関連製品やクリーンルーム設備などの製品を紹介します。

株式会社テック・エンジニアリング 取扱い製品 総合カタログでは、シリンダーキャビネットやレギュレーターボックス、排ガス処理装置、マルチファンクション コンビネーションなどの「半導体関連製品」、クリーンルーム、各種精製ガス装置、除外装置などの「クリーンルーム設備」、ヒータージャケット、特殊ベローズなどの「シナテク社製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テック・エンジニアリング

フレキシブル シンタリングシステム『SIN200+』

次世代パワー半導体モジュールのシンタリング（焼結）接合試作＆量産装置

D試作評価から量産までの用途に対応できます。特に、SiCパワー半導体に最適です。 真空チャンバー内での加熱、シンタリング（加圧）、冷却の全工程で、サブストレート温度、雰囲気圧力および、プロセスガスを、リアルタイムで正確に制御することができ、併せてギ酸ガスによる還元も実行可能です。従来の大気圧下での接合に比べて、圧力、加圧、ガス注入を適時変化させながらのプロセスは、より均一で高い信頼性を持った...

メーカー・取り扱い企業： ピンク・ジャパン株式会社

脱気システム Livalley

気泡の原因を元から除去！既存プロセスに後付けするだけで溶存酸素を10p…

半導体・電子部品、食品、医薬品、化粧品 業界の皆様からの問い合わせ多数！ 通常の純水に溶け込んでしまう空気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除き、コントロールすることにより減少させた脱気水を用いて、既存プロセスの歩留りを改善します。 ■特徴１：生産・検査・試験プロセスの歩留まり改善 液体に溶け込んで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東設 本社ヘッドオフィス

『事例』ガス供給ラインバルブの安全対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所で…

バルブを閉止したつもりが実際には半開状態だった、バルブの閉止の確認や作業に手間や時間がかかる、といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/produc...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ガスフリーペン型大気圧プラズマ装置 NRSR-P10

外部からガスを供給することなくプラズマ処理が可能です。 表面処理（塗…

製品の特徴  ペンタイプで扱いが容易  ガス供給が不要、AC100V の電源接続のみで使用可能  簡単操作  小型コントロールボックス  コロナ放電タイプと違い、対向電極不要  処理対象への電荷ダメージなし ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ヒューズテクノネット　燃料電池イオン膜評価機

Windowsパソコンでの操作がわかりやすい

燃料電池の電気的特性、ガスによる物理的特性、耐久特性の評価に最適です。改質器の評価も可能です。供給用加湿器ユニットは内臓（※単品販売可） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューズテクノネット

硫化水素対策向けフッ素樹脂塗料F-200SI、F-3000

温泉地や水処理場、畜産、再生紙工場等で発生している硫化水素への腐食対策…

フッ素樹脂塗料のジェットプロテクターF-200SI（1液型スプレータイプ）、F-3000（2液硬化型塗料タイプ）は、硫化水素ガスでお困りな温泉地や水処理場、畜産、再生紙工場等での様々な機器類の金属部の腐食対策で採用されている製品になります。 特に塗装時の密着が難しい非鉄金属（銅、真鍮、黄銅、ステンレス、アルミ等）へも、簡単...

メーカー・取り扱い企業： 太平化成株式会社

『事例』　高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できる…

バルブ全体をヒーティングしたい、ハンドルを付けたまま恒温槽に入れられるバルブ、ガス量の安定と再現があるバルブ欲しいなど、お困りごとはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

大気圧プラズマ生成用電源

パルス放電での大気圧プラズマ生成に

・パルス電源を用いた大気圧アーク放電です。そのためマッチング等の調整が不要です。 ・パルス電源なので、室温からの処理も可能です。投入電力を増やすことで最大400℃程度の領域まで可能です。 ・ガス種に依存せず、ガス化できるものであればほとんどの物質をプラズマ化出来ます。 ・１台の電源で多チャンネル出力が可能なので、低コストで大量処理が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

プラズマクリーナー　G1000

ボンディングパッドの洗浄(ボンダビリティ向上)、表面改質・親水化(モー…

G1000 / G500は、ガスプラズマのエッチング効果を利用して低圧環境下で洗浄対象物の表面をクリーニングするシステムです。 ご用途に合わせて使用するガス(アルゴン、酸素、水素＋アルゴン等)を選択することにより、有機質のみなら...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

耐薬品性ふっ素ゴムシール「サンエラストI」

耐薬品性フッ素ゴムシール！従来のフッ素ゴムに比べ耐薬品性が大幅UP

●半導体、液晶、化学プラント、食品、および塗装などの業界では、溶剤、薬品、腐食性ガス等多くの流体が使用されております。 ●これらの流体をシールするには従来ふっ素ゴムが使用されておりますが、膨潤あるいは溶解などの問題で使用範囲が限られていました。 ●サンエラスト（3301...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

精密洗浄システム『スノーガンII』は、純度99.99％以上の液化炭酸ガスで ノズルから、サブミクロンの超微細ドライアイスパウダーを噴射。 対象物にキズをつけず、パーティクル・オイル等の汚れを引きはがします。 また、ドライクリーニングのため、洗浄液の洗浄度管理・...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

の処理が出来、表面改質やウエ 　ハ洗浄等の処理プロセスの開発に最適 ○ウエット洗浄とは異なり廃液を出さず、試料に物理 　的ダメージを与える事なく高度な洗浄効果が得られる ○有機汚染物質はガス化して排気される為 　有機汚染物質の再付着が起こらない ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

複数材料の多層膜が成膜可能！高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

ズマ源：マイクロ波分岐結合型ECRプラズマ源 ・プラズマチャンバ：内径Φ150mm、水冷ジャケット構造 ・円筒ターゲット部：円筒型　内径Φ100x巾40mm、バッキングチューブ直接冷却方式 ■ガス導入系：マスフローコントローラ：3系統 ・ガス種：アルゴン、酸素、窒素 ■操作 ・排気：自動 ・基板搬送：自動 ・成膜：自動／手動（切り替え） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

ctron Cyclotron Resonance)プラズマ源を用い、プラズマ引き出し部にターゲットを配置することによって固体ソースによるECRプラズマ成膜を実現しています。 CVDのような危険なガスを用いる必要がないため排ガス処理の必要もなく、地球環境に優しい成膜技術です。 【特長】 ■高絶縁膜特性 ■多層膜 ■緻密・平坦膜 ■低ダメージ ■長期安定稼働 ※詳しくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

ボールバルブ（ボール弁）『BCシリーズ』

標準で禁油・禁水対応のボールバルブ。LET-LOK（食い込み継手）接続…

ガス関連装置、一般的なガス配管等に最適なSUS316製ボールバルブ（ボール弁）です。 ＜特長＞ ・標準で禁油・禁水に対応し低コスト ・コンパクト設計 ・禁油・禁水でありながら軽い操作トルク ・パネルマウント対応 ・真空引き対応（カタログ記載リークレートご参照下さい） ・豊富な国内在庫で対応 サイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"の4種類をご用意し、継手で実績のあるLET-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

ヒューズテクノネット　ガスコントロールユニット集積タイプ

ガスコントロールユニット集積タイプで、ガス漏れを監視します

半導体、液晶工場向け装置ガス、液体材料供給システムの設計、製作を行っております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューズテクノネット

チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに！シリカコート

金属に高純度シリカガラスをコーティング！酸化が抑えられ耐食性が向上！金…

Quartzace』では、 基材は金属、樹脂、ゴム、生体など、様々な基材に対応でき、基材の特長を活かしたまま、表面のみシリカガラスの特性が得られます。 例えば、金属にコーティングすれば、塩酸ガスなどに対してシリカガラスの優れた耐食性が得られます。 また、高温での金属の酸化も防ぐことが可能。 金属表面が合成石英並みのSiO2になることにより、メタルコンタミの問題を解決できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コンタミネーション・コントロール・サービス

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

トを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により 　従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

分析・解析機器　薬液中金属不純物分析システム

半導体製造ラインで用いられている洗浄薬液やガス中の金属不純物を測定する…

洗浄薬液槽近くに設けられたサンプリングモジュールで生成した微細のエアロゾルを アルゴンガス気流に乗せて長距離（100mまで）を移送し、 ICP-MS近くに設けられた切替えバルブにて薬液を選択し、ICP-MSにて自動分析するシステムです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IAS Inc. IAS Inc.

縦型減圧CVD装置

10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能！カスタマイズ可能

縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。 【特長】 ■スモールフットプ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ハイテクノサービス

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

◉ 対応基板：2"（1〜3源）、もしくは4"（1源） ◉ 2"カソード x 最大3源 ◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動プロセスコントロール ◉ MFC搭載高精度プロセス制御 ◉ Arガス1系統（標準） + N2, O2 最大3系統まで増設 ◉ USB端子付 Windows PCに接続し、最大1000layer, 50filmのレシピを作成・保存。PCでデータロギング。 ◉ 他、...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社