クリーンカップリングシリーズ『チェックバルブNCV型（SUS）』

PR逆圧や漏れに強いシンプル構造の流体継手！シール材質が選択可能で、配管の…

当社はカップリング・パイプクランプを幅広く製造している専門メーカーです。 ラインアップのひとつ『SUS製 チェックバルブ NCV型』は、 逆圧や漏れに強い、半導体・薬液・液晶・理化学用の製品です。 流体の流れを一定方向に保ち逆流を防止。用途に応じてネジ形状やシール材質が 選択可能で、両オネジタイプはネジ部が配管内に収まるため、省スペース化を図れます。 設計から製作まで対応でき、少...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニューマシン

ねじ込み配管/溶接神話の変

PRイハラは80年以上の歴史を持っている火無し工法の先駆的メーカーです。

配管は未だに『溶接施工』や『ねじ込み配管』が主流です。 それは、簡単・確実で安全・安心という 『神話』があるからだと思っております。 しかし、配管の『溶接』や『ねじ込み』はいろいろな課題があります。 ・高齢化による職人の減少 ・品質のバラツキ ・準備や後処理、寸法合わせのの手間ヒマ 上記のような課題に対して 「くい込み継手」は、ねじ切り、溶接、フレア加工やろう付などを 必要としな...

メーカー・取り扱い企業： イハラサイエンス株式会社

ハイブリッドフィルター

ガス配管コンポーネント保護用ガスケット付きメタルフィルター

■配管の面シール継手部のガスケットとして単体で装着出来ます。 ■既存の配管にも改造無しで取り付けることが出来ます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

高圧用リリーフバルブ（逃し弁）『H-900-HPシリーズ』

高圧用逃し圧力調整可能なリリーフバルブ（逃し弁）H-900-HPシリー…

-HPシリーズは、高圧用リリーフバルブ（逃し弁）です。このバルブは通常は閉じています。システム圧力が設定レベルまで上昇すると開く仕様です。システム圧力が設定レベルより低くなると再び閉じます。豊富なシール材をご用意しお客様のご要望に対応します。 ＜特長＞ ・ボディ材質： ステンレス316製 ・設定圧力範囲： 50～6000psi（0.344～41.3MPa） ・最高使用圧力： 6000...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

高純度ライン用ダイヤフラムバルブ　『UCVシリーズ』

半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルト…

本カタログには下記アイテムが記載されております。 ・3Lシリーズ（オールメタルシール） ・2Lシリーズ（ソフトシール） ・EVZSシリーズ（かしめシート） ・2LEシリーズ（コンパクト型） 用途、流体に合わせた仕様のバルブをお選びいただく事が可能です。 耐圧：1Mpa、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

半導体プロセスガス用　インラインフィルター

短納期対応可能！高純度ガス用インラインガスフィルター！

・100% パーティクル試験済（0.0025μｍ以上が未検出） ・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包 ・広い流量範囲（15～9,000SPLM）から選択可能 ・メタルフェイスシール（MFS）継手、ダブルフェルールチューブ継手 現在、他社製品をお使いのお客様は、用途または、他社品番をお知らせいただければ、相当品をご提案いたします！是非お問合せください。 ※PDFダ...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社

硫化水素対策向けフッ素樹脂塗料F-200SI、F-3000

温泉地や水処理場、畜産、再生紙工場等で発生している硫化水素への腐食対策…

品情報＞ 製品名：ジェットプロテクターF-200SI　 　荷姿：300ml　スプレー缶 　　色：透明色、グレー色の2種類 　性状：1液性フッ素樹脂塗料 　乾燥：常温 製品名：エイトシールF-3000 　荷姿：1.2kgセット（主剤1kg＋硬化剤0.2kg） 　　　　18kgセット（主剤15kg＋硬化剤3kg） 　　色：透明色 　性状：2液型フッ素樹脂塗料 　乾燥：常温硬...

メーカー・取り扱い企業： 太平化成株式会社

大容量・小型　ステンレス製電磁弁

安価で高品質の2・3・4WAY電磁弁

■本体材質はSUSが標準仕様で種々の流体に対応可能なシート、 　 シート材質をニーズに合せて提供できる 　 （材質：テフロン、バイトン、パーフロロエラストマー、シリコン等） ■耐腐食性、シール性に優れている ■スチーム等の高温仕様には、Hコイルを採用し、内部洗浄処理等で対応可能 ■詳細は最下部のアンケートからお問い合わせ下さい■...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

自動化・省力化、製造工程便利アイテムをご紹介！【資料一斉公開中】

新しい発想で自動化・省力化に貢献！特殊工法により、様々な製造現場で活躍…

い製品から過去にご紹介した製品を一挙に公開致します。 量産現場から試作・少量生産現場まで、幅広いご提案をさせて頂きますので是非ご検討下さい。 【例えば…微細なワークを使う現場では？】 ・シール等、微細なワークを手作業で貼付けしている… ・面貼りしているが、精度が出ない… ・量産で自動化を検討している… ・テープの種類が多くて、手貼りが面倒... 【例えば…材料交換、段取りの...

メーカー・取り扱い企業： 三井金属計測機工株式会社 FAソリューション関連事業

米国mott社製集積用ガスフィルターGSMMシリーズ

集積ガスボックス向けフィルター

1.125"、1.5"集積パネル規格向けのWシール、Cシール仕様を取り揃え。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

スピンドライヤー　SPD型

【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…

→クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ○クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が可能 ○異常振動が発生した場合、自動的に停止 ○特殊シール及びバキュームにより回転軸からのパーティクルの発生を防止 ○常に定位置に停止 【仕様】 ○型式：SPD400・500・600・800・1200 ○4キャリアタイプ：（2キャリアタイプも...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

→材質：SUS304 →サイズ：W700×H1030×D800　前面開閉扉 ○機材送り機構 →回転速度可変用サーボモーター →巻き取り用パウダークラッチ及びレバシブルモーター →真空シール回転導入部（磁気シール式） ○排気系 →ターボ分子ポンプ：2400L/sec（N2） →ロータリーポンプ：1200L/min ○ガス導入系：マスフローコントローラー　O₂、Ar、N₂ ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

ホース用継手「カンタッチ」

漏れない、抜けない、外れないホース用継手。２０年以上の信頼と実績があり…

離している為、ホースの付け替えや他のラインとの入れ替えもカンタン。 ・ホースバンドのように締め付け加減を調整する必要が無く、誰が作業しても安全な締め込みが可能。 ・インサートスリーブとOリングシール構造により、流路抵抗を最小限にし、効率の良い配管が可能。 ・ネジ部に予めシーロック加工を施した工数低減タイプもご用意しています。 ・低価格版としてナットやインサートスリーブに樹脂を用いたタイプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

耐蝕・耐熱ベローズバルブ

耐蝕・耐熱ベローズバルブ

ています。 ■バイアス圧力を加えると、高圧仕様で使用できます。流体圧力が０．２５Mpa以上の場合は、バイアス圧をかけてください。 ■ディスク部は、ネジ込み・キャップ構造で簡単に交換ができ、シールは安心・長寿命です。 ■ディスクはシート面であるためダストが発生しません。 ■常温タイプの駆動部は硬質PVCでカバーされている為、雰囲気の良くない場所に設置可能。 ■耐圧タイプの駆動部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

マイクロ波イオン源　EMIS-221C

マイクロ波イオン源　EMIS-221C

の有磁場型マイクロ波励起イオン源 【特徴】 ○超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られる ○プラズマ室は高純度アルミナ製で 　金属汚染の少ないイオンが得られる ○完全金属シール構造により、MBE装置など 　各種超高真空装置に使用可能 ○加速用高圧電源（オプション）の使用により、イオン加速が可能 　（ラジカル源、プラズマ源としての使用も可能） ○マイクロ波は同...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

高圧対応ニードルバルブ（グローブバルブ）　『H-99シリーズ』

ステンレス316製、高温・高圧対応ニードルバルブH-99シリーズ。耐圧…

境、高圧サンプリングシステム、高圧遮断システムやテストスタンドにご利用頂けます。また、3種類のステムをご用意しております。（レギュレーティングステム、Ｖステム、無回転ステム） ＜特長＞ ・シール部を分解する事なく簡単にパネル取り付けできるパッキンボルト仕様 ・オプションで酸素禁油、完全禁油に対応 ・メンテナンス用にシールキット、ハンドルキットをご用意 ・ステム表面の拡散硬化処理によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

【総合カタログ】表面活性化接合装置　SABシリーズ

サンプルの形状変更に柔軟に対応できるため、様々な種類の接合実験が可能な…

ト、解析装置を搭載した 接合装置までさまざまなご提案をいたします。 量産用は、超高真空下において、シリコン、化合物半導体等、基板の接合表面を 活性化処理した後、接合する量産向け装置です。 シール材を使用せず、常温で接合することができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： アユミ工業株式会社

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

特長 ・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定 ・エラストマー（ゴム）シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-7...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

4層ベローズ

高耐圧と低いバネ定数を兼ねそろえた4層ベローズ、強度を保って抜群のやわ…

で柔らかさ、超寿命が求められる、振動配管・ 真空振動乾燥機の振動吸収用ベローズです。 高い使用圧力にも拘らずベローズの長さに制限があり、バネ定数に 制約のある、バルブ・安全弁・メカニカルシール・ロータリージョイント等に 適しています。 板厚、層数、材質等色々な組み合わせで各種ご要望にお答えできます。 【特長】 ■振動配管・真空振動乾燥機の振動吸収用ベローズ ■高耐圧と...

メーカー・取り扱い企業： 三元ラセン管工業株式会社

ナイトライドエッチ用　石英ナイトライド・リフラックス・システム　ACCUBATH

ナイトライドエッチ用　石英ナイトライド・リフラックス・システム　ACC…

に富んだナイトライドエッチ用　 石英ナイトライド・リフラックス・システム 【特徴】 ○適切な純水供給量により、安定した沸点管理を実現 ○±0.2℃の温度管理を実現 ○アクシアシールTM（オプション）によるシール部の冷却機構により長寿命化、 　30ヶ月の保証を実施 ○Si3N4エッチ（ナイトライドエッチ）のもっとも有効で、信頼性と安定性に富んだ 　システム ●...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒロテック 東京営業所

高純度ライン用チェックバルブ（逆止弁）『CMWシリーズ』

半導体製造装置の要求するクリーン度で対応。ステンレス316L製、高純度…

く確実に保持する完全溶接設計 ・最大許容使用圧力： 20MPa ・最大許容背圧： 20MPa ・使用温度範囲： -10～80℃ ・クラッキング圧力： 0.014MPa (2psi) ・リシール圧力： 0.028（4psi） ・表面仕上げ： 5uインチ（電解研磨仕上げ） 　　　　　　　10uインチ（機械研磨仕上げ） ・サイズ： 1/4"、1/2" ・接続： おす面シール、めす面シ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

多層ベローズ

一層山当りのバネ定数の違いで、従来品と同じ板厚でも驚きの柔らかさを発揮…

ることで、板と板が中でスライドし合い、柔らかい 伸縮性のあるベローズが成り立ちます。 高圧下で、柔軟性や高寿命が求められる振動吸収や真空振動乾燥機に使用され、 安全弁・バルブ・メカニカルシールなどにも多く使用されています。 【特長】 ■柔らかく伸縮性がある ■薄板を重ねて製作 ■従来品と同じ板厚でも驚きの柔らかさ ■振動吸収や真空振動乾燥機に使用される ■安全弁・バルブ...

メーカー・取り扱い企業： 三元ラセン管工業株式会社

R＆D用スパッタ装置『QAMシリーズ』※ユーザーボイス進呈中

「サンプル作業時間が1/3になった！」。コンパクト設計で自動化も推進。…

Long Throw Sputter ・UHV対応（QAM-4のみ） ベーカブル対応の各機器を使用することで成膜室の到達圧力を1×10-6Pa（※2）以下に対応可能。 注）※2：Oリングシール構造を採用し、従来のメタルシールにより格段にメンテナンス性を向上 ※詳しくは資料をダウンロードしてご覧ください。製品に関するお問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

高温、高圧対応ボールバルブ　『H6800シリーズ』

ステンレス316製、高温・高圧対応ボールバルブ（ボール弁）『H6800…

に適した高性能計測用ボールバルブです。このバルブは、タイトなシャットオフ、長い耐用年数、低操作トルクを提供します。ご希望により空圧／電動アクチュエーターの取り付けが可能。 ＜特長＞ ・3種類のシール材をご用意：　PTFE系、PCTFE、PEEK ・耐圧(Max)：　20MPa （PTFE系パッキン使用） 　　　　　　　　41MPa （PCTFE又はPEEKパッキン使用） ・耐熱(Max...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

石英放電管タイプでチャンバー外付型の 有磁場型マイクロ波励起ラジカル源 【特徴】 ○プラズマ室は石英ガラス製で放電を目視確認可能 ○完全金属シール構造により、MBE装置など 　各種超高真空装置に使用可能 ○ラジカル源用途以外に加速用高圧電源（オプション）の 　使用によりイオン加速が可能 ○各種活性ガスの導入が可能 ○マイクロ波...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

サービス　『半導体工程を支援します』

お客様に活力を！半導体後工程及びIT関連装置設計、製作

活力を実現するために、何度も繰り返し行い、しかも低コストで徹底して目的達成までのお手伝いをさせて頂きます。過去導入/協力開発実績には、T/F（Trim　Former）M/C、クリーンベンチ、自動再シールM/C、レンジ塗布装置、高速未充填除去M/C、レーザーマークM/C、タブレット自動エアーブローM/C、タブレットマガジン自動挿入M/Cなどがあります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・シー

小型ECR原子ビーム源『ERS-35』

メタルコンタミフリーの誘電体ライニング！超高真空装置に対応できる小型E…

『ERS-35』は、MBE等の超高真空装置にも適応できるECR放電型の 小型原子ビーム源(ラジカル源)です。 完全メタルシールにより超高真空装置に対応。 取り扱いが容易な同軸ケーブル給電です。 MBE装置の窒素／酸素ラジカル源や表面クリーニングのための 原子状水素源に応用できます。 【特長】 ■完全メタ...

メーカー・取り扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社

ベローズ、フレキシブルチューブ

ベローズ、フレキシブルチューブ

大気汚染や温暖化など地球環境問題に対処することが急務とされており、エネルギー環境領域で活躍する新機能材料の開発や半導体設備、荷電粒子加速器、各種制御機器のシール等、ニーズは益々高度化しています。こうしたニーズに応えるため弊社では、チタン、ハステロイ、インコネル等、耐食性、耐熱性に富んだ特殊材料のベローズを開発、製作しております。...

メーカー・取り扱い企業： 三元ラセン管工業株式会社

外熱型真空光輝焼戻炉・焼鈍炉　TOUVAC

金属レトルト外熱方式により、シール性・炉内雰囲気の再現性等アップ！

【特徴】 1. シール性アップ 2. 炉内雰囲気のコントロール性アップ 3. 炉内雰囲気の再現性アップ 4. 炉内雰囲気の汚染防止 【主用途】 各種マテリアルの光輝焼戻し・焼鈍し 仕様・性能等、詳し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トウネツ 東海事業所

中低真空用LMガイド

大気圧〜真空の環境下で安定した転がり抵抗を実現

新開発の中低真空専用ラビリンスエンドシールや中低真空用グリースの採用により、安定した転がり抵抗を実現しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

表面活性化接合装置（常温接合）

表面活性化接合装置（常温接合）。シール材を使用せず低温で接合！

超高真空下において、シリコン・化合物半導体等、基板の接合表面を活性化処理した後、接合する装置です。シール材を使用せず低温で接合することが出来ます。...

メーカー・取り扱い企業： アユミ工業株式会社