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194件
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電動グリッパ「ESG1シリーズ」《日本機械学会優秀製品賞受賞》
ステッピングモータとロータリエンコーダによるクローズドループ制御で高精…
電動グリッパ「ESG1シリーズ」は、ステッピングモータとロータリエンコーダによるクローズドループ制御で高精度の位置、速度制御を達成しました。カムタイプは独特な構造(特許:PAT)の採用により、高把持力ながら、軽量、コンパクト化を実現。ねじタイプ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社TAIYO
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リンク式シングルアームクリーンロボット『PR2000シリーズ』
板金比率を高めて構造を単純化!製造コスト削減を実現するクリーンロボット…
『PR2000シリーズ』は、当社の従来品に比べ、板金比率を高め、構造を 単純化することにより、製造コスト削減を実現するリンク式シングルアーム クリーンロボットです。 全軸2相ステッピングモータ仕様。 各種センサを装備しています。 リンク式シングルアームクリーンロボットのことでしたら、 当社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■各種...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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樹脂とアルミの軽量設計、無給油&メンテナンスフリー
- ステッピングモータ、dryve D1モータ制御システム接続可能 - ご要望に応じ、輸送用フレームに組込んだ半完成品も納入可能 - エンコーダ付きモータで正確な位置決め - T型スロットへの取付用のアダプ...
メーカー・取り扱い企業: イグス株式会社
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ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能
の場合) ノッチロケート:±0.1度 (300mmシリコンウェーハの場合) ○センサ:可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度:0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式:2相ステッピングモータ3軸使用 モータドライバ、コントローラ内臓 ○ユーティリティ:電源:DC24V 2A →使用流用量:60~120NL/min (クリーンエア) 正圧:0.5MPa以下 ●詳しくは...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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2インチ,3インチ,100~150mmウェーハのアライメントが可能です
以内 ○位置決め時間:ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ:可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度:ISO Class2 (ISO14644) ○駆動方式:2相ステッピングモータ3軸使用 モータドライバ内蔵 ○ユーティリティ:電源:DC24V 3A 真空:-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応
オリフラロケート:±0.3度以内 ○センサ:透過式LEDセンサ ○サイズ切替:コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度:0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式:2相ステッピングモータ4軸使用 モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ:電源:DC24V 2A 真空:-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
ンクアーム仕様、Zレス仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.2kgf以下(ワークのみ) ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着 ○チャックの材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。
ート:±0.1°以内 ○センサ 可視光半導体レーザーセンサ ○サイズ切替 コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度 0.1μm/cf クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式 2相ステッピングモータ4軸使用 モータドライバ・コントローラ内臓 ○電源/真空 DC24V±10% 3A/-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。
型クリーンロボット「GCR4000-PM」はスーパークリーンルーム用の多軸タイプです。300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送に適しており、全軸アブソリュートエンコーダ付2相ステッピングモータを使用しています。S字加減速制御および動作軌跡最適化により、ウエハを高速・高精度で搬送します。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1111-200』
ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能!リンク式クリーンロボ…
『PR1111-200』は、全軸2Pステッピングモータ仕様の リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンドはステッピングモータ駆動によって180度反転可能。 回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1000シリーズ』
180度反転可能!全軸2Pステッピングモータ仕様のクリーンロボットをご…
『PR1000シリーズ』は、ハンドがステッピングモータ駆動によって 180度反転可能なリンク式シングルアームクリーンロボットです。 全軸2Pステッピングモータ仕様。 アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャックです。 ...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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リンク式シングルアームクリーンロボット『SR1160-310』
全軸2Pステッピングモータ仕様!リンク式シングルアームクリーンロボット
属します。 【特長】 ■ハンド:KUMADE FORK KMWF-12SF ■ハンド部にはロータリーユニット付属 ■各種センサ付属(位置決め、圧空確認)※オプション ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■ハンドが180°回転可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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直動式ダブルアームクリーンロボット『HR71000-1500』
第3世代ガラス基板搬送対応!各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット
00-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。 基板裏面を真空吸着します。 アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。 【特長】 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■各種センサ装備 ■基板保持:基板裏面を真空吸着 ■アーム:ステッピングモータ仕様旋回...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。
ンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.1kgf以下(ワークのみ) ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。
オリフラロケート:±0.3度以内 ○センサ:限定反射型ファイバセンサ ○サイズ切替:コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度:ISOクラス2(駆動部排気時) ○駆動方式:2相ステッピングモータ2軸使用 →モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ:電源:DC24V 3A 正圧:0.15~0.5MPa 真空:-70kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル