中量機用二流体ノズル 　※2024年3月導入済！

PR300種類超の製造実績！1987(昭和62)年運転開始以来コンタミクレ…

ラボ機での反響を踏まえ、平均粒子径5～20μmの微粒子造粒粉をつくる 中量機用二流体ノズルを2024年3月に導入致しました。 2022年12月に、微粒子生産試験用として二流体ノズル噴霧機構を 導入してから約一年、お客様からのフィードバックが良好であること、 またその結果を踏まえスケールアップをご希望の声があることなどをかんがみ、 中量機(大川原・OC-16型)向けにも二流体ノズル噴霧...

メーカー・取り扱い企業： 日華化成有限会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

触媒塗布用 中型スプレー装置（スプレーコーター）

触媒塗布の生産対応型。 広面積のMEA向け塗布装置。　　　　　　　　…

触媒コーティングなどの固体分散液を塗布・成膜するために最適化された生産対応型のスプレーコーターです。固形物の沈降や分離により塗布が不可能なプロセスに対して、安定成膜を可能にしました。塗工技術やノウハウを装置に凝縮し、研究開発から生産に即応したスプレー装置を実現しています。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

薄膜コーティング用特殊ガンバルブ（薄膜スプレーコータ装置用）

長年の試作技術とデータベースと、用途開発の様々なノウハウで、お客様のニ…

スプレーコータによるコーティングは、まずは試作サンプリングから実施させて頂きます。 お客様の研究開発のテーマがスプレーヘッドやスプレーコーターに適合するのかどうかご確認をさせて頂きます。 材料の選定や難しい条件設定など、お客様の研究開発の支援を試作を中心に実施させて頂きます。 開発が進み、生産・量産の為に装置が必要になった場合に、初めて弊社の装置をご提案します。 つまり、研究、開発の状態で装置を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

薄膜コーティング装置（スプレーコーター）IS型

長年の試作コーティング技術＆データベースで、お客様のニーズにお応えでき…

スプレーコータによるコーティングは、まずは試作サンプリングから実施させて頂きます。 お客様の研究開発のテーマがスプレーコーターに適合するのかどうかの確認をさせて頂きます。 材料の選定や難しい条件設定など、お客様の研究開発の支援を試作を中心に実施させて頂きます。 開発が進み、生産・量産の為に装置が必要になった場合に、初めて弊社のスプレーコータをご提案します。 つまり、研究、開発の段階では装置を購入...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

スプレーコーター　ACingTec　IS-8型

立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター

MEMS、SAWデバイス、バワーデバイス、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。 ※下記、弊社Ho...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

大型薄膜コーティング装置（スプレーコーター）SP600型

長年の薄膜コーティング技術＆膜形成のノウハウ＆データベースで、お客様の…

スプレーコーターによる薄膜コーティングは、まずは試作サンプリングから実施し、お客様の研究開発のテーマがスプレーコーターに適合するかどうかご確認をさせて頂き、材料の選定や難しい条件設定などお客様の研究開発の支援も、試作を中心に実施します。 開発が進み、生産、量産への装置が必要になった時には、弊社のスプレー装置をご提案します。 つまり、研究・開発の段階では、高価な装置を購入することなくコーティング確認を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所