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PR2つのテーブルが待機時間の短縮を実現!生産性向上に貢献します。
2つのXテーブルにワークピースを配置できる為、ロボットと作業者の待ち時間が減少し、生産性の向上が図れる、ねじ締め用の卓上型ロボットツインテーブル仕様です。 ●設備投資費用 削減: ロボットだけでなく、取り付けるツールも通常だと2台必要なところ、1台で済むため、トルクドライバーなどの購入費用を節約することができます。 ●省スペース化: テーブル2つ分がロボット1台で済むため、設置スペース...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャノメ
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ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…
イズに対応) ・処理ステーション数:1チャンバー(増設可) ・スクラブ機能:高圧ジェット ・処理液:有機系剥離液・純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過 ・処理能力:60枚/時 ・搬送ロボット:搬送ユニット ・スピンチャック:メカニカルチャック ・搬送ロボット:センタリング機能付スカラーロボット ・装置寸法(WxDxH):1,000x1,500x2,000mm ※詳しくはP...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
ジェット/ 2 流体ジェット/超音波シャワー等 ・処理チャンバー数:2, 4チャンバー ・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム ・搬送ロボット:搬送ユニット ・スピンチャック:バキュームチャック ※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法(WxDxH):1,200x1,500x2,000mm ・自動消火...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』
クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…
■装置構成 ・薬液 APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水 ・搬送状態 カセット/ドラムならびにキャリアレス(※搬送ロボットは上部/下部の2種類があります。) ・乾燥 スピンドライヤー/リンサードライヤー/IPAドライヤー(※IPAは内製品です。) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
ト/超音波シャワー等 ・処理チャンバー数:2, 4チャンバー ・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム ・ワーク搬送:ダブルアームスカラロボット ・スピンチャック:バキュームチャック ※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法(WxDxH):1,900x2,700x2,200mm(2チャンバー) ...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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