スクリューメータ 高精度 容積式流量計「OMGシリーズ」

PR精度はなんと±0.1％Ｒ.Ｓ.で最大流量7500Ｌ／分！２次標準器とし…

スクリューメータ 容積式流量計「ＯＭＧシリーズ」は、流体が直線的に流れる構造ですので一般的なギアー式に比べると格段に圧力損失が低く、流量計内部の負荷も軽減されます。 測定精度は±0.1RS と非常に高く、流量基準器としてもご使用いただけます。 対応流体は、接着剤，シーラー，PVC，ポリオール等の高粘度液体の計測はもちろんのこと、ガソリン，軽油，灯油等の燃料の低粘度液体の計測も可能です。また、豊...

メーカー・取り扱い企業： 日本テスコン株式会社

JPCA Show　実装プロセステクノロジー展 出展のご案内

PR実装関連製品を中心に「CAMソフトウェアを活用した省力化とミスらない作…

実装関連製品を中心に「CAMソフトウェアを活用した省力化とミスらない作業」を テーマに展示いたします。 実装関連製品、基板関連製品をデモを交え展示いたします。 是非当社ブースにお立ち寄りください。 会　場：東京ビッグサイト　東4ホール　4C-15/4C-17 会　期：2024年6月12日(水)～14日(金)　10：00～17：00 来場事前登録： https://jp...

メーカー・取り扱い企業： ダイナトロン株式会社

曲面スリットコーター

平面だけでなく曲面にも対応したスリットコーター

平面はもちろん、凹/凸面、凸凹面、フレキシブルな塗布が可能 ワークはステージにより搬送され、スリットダイはワーク形状に合わせた角度に旋回可能...

メーカー・取り扱い企業： プレマテック株式会社

薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

【プロセスフローと対応装置】 ■洗浄 ・スクラブ式 ・スプレー式 ・UV洗浄 ■レジスト塗布 ・スピンコータ ・ロールコータ ・DIPコータ ■プリベーク ・ホットプレート ・クリーンオーブン ・IR炉 ■露光 ■現像 ・スプレー式 ・パドル式 ■ポスト・ベーク ...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

ディスペンス電動ポンプ

薬液使用量削減の最適ツール

半導体生産ラインで感光材塗布／現像装置で使用されるディスペンスシステム（電動ポンプ）の既存標準ポンプとの置き換えに有効です。元々装置に搭載されている同等ポンプに比べ、高い再現性と材料削減効果が期待されます。海外では主流のブラン...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター

430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、…

角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。 また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます（高粘度で実績多数！） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：1組 ■スピン現像ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：1組 ■バック・エッジリンス：1組/塗布CUP ■現像ノズル：1組 ■リンスノズル：1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【コーター】小型、低価格、短納期、試作に好適、豊富な塗布方式

ダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短…

作、制御システムの構築を得意とする電気部門があり、様々な装置の制御お任せください。 当社の『コーター』は、小規模な研究施設に適した小型のものから、 生産機まで幅広く対応しています。 塗布方式もお客様のニーズに適した提案をいたします。 また、お客様独自のシステムは可能な限り搭載できる設計をいたします。 【特長】 ■いつでもテスト塗工可能です。 ■低価格・短納期対応 ■塗...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアボックスジャパン

角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

P（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板や角基板の搬送実績も多数あります！ 【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■回転カップ塗布方式による均一な成膜分布 ■2～12インチまで対応可能 ■複数種類ウエハ処理可能（3・4・5インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

低～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの半自動機（セミオート）も作製…

彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 【特長】 ■半自動レジスト塗布機（セミオート）で低価格を実現 ■2～12インチまで対応可能 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

R&Dや少量生産に最適！手動レジスト塗布装置(スピンコーター)

研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置！卓上タイプとは違う自動機と同…

ました♪ 自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために最適な手動機（マニュアル）装置です。 卓上タイプとは違い、自動機と同等のレジスト塗布が可能なので、自動機へ移行した際もプロセスの条件出しが必要なく、同じレシピが使用できます！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高粘度フォトレジスト対応！密閉式自動レジスト塗布装置（コーター）

高粘度フォトレジスト塗布に自信があります！10000cPのポリイミドで…

高粘度フォトレジストやポリイミド塗布の実績が多数あります！ 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 ベローズポンプやシリンジの対応も可能です！ マニュアル機～フルオート機までお客様...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

10000cP！高粘度対応自動レジスト塗布装置（スピンコーター）

10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス…

高粘度レジストの塗布に強みを持っています！ 例えば、400cP以上のレジストでも面内均一±5％以内に納めます（φ300mmウェハ） ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)特許の回転カップ方式によって厚膜を均一良...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ナノインコーター(離型剤塗布装置)　NIC-1106

4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)

本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したデ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

成膜コーター『SPM-300シリーズ』

塗布材料の塗着効率が高く、微少流量での成膜に適した成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

メッキ塗装に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

膜厚均一、自動車ボディカラーなど実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

燃料電池に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

燃料電池の電極など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研