３K改善！手投入廃止！安全かつ省スペースで行える粉体空気輸送機！

PR作業現場の省人化に貢献！粉体の外部飛散も無くなり、人と設備を守ります。

『VOLKMANNバキュームコンベア』は業界を問わずお使いいただける完全エアー駆動の粉体吸引搬送装置です。 組み合わせ自由なモジュール構造で搬送条件に合わせた搬送レイアウトが設計となっており、工具なしで分解組立もできますので、メンテナンス性にも優れております。 また、1台で搬送⇒排出⇒フィルタークリーニングまで全て完結するため、 省スペースでも設置可能です。 完全エアー駆動により防爆エリア...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

【幅広い試料に対応×タイマー機能付き】ロータップ式ふるい振とう機

PR確実なふるい分け

楕円運動により水平往復運動、上部ハンマーによるタッピング運動により、試料の目づまりを減少させ、ふるい分け効率を高めています。 耐久性があり、安定した再現性が得られるため、広く実用されております。 ■ふるい分け能力が大 ■コンパクトで設置面積が小さい ■外部への油漏れ防止 ■ウォームギヤ採用で騒音が少ない ■タイマー装備 ◎詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シー・エム・ティ

横型水素アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のＳｉウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温（１０００℃）均一加熱 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

高いプラズマを密度を実現。 独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。 新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。 ３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメタルエッチングに対応。 近年ニーズが高まっている半導体周辺部材（フォトマスク、高密度実装基板）をカバーする従...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大気非暴露型多元スパッタ装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜…

薄膜固体二次電池の研究用の専用スパッタ装置 後処理が可能。多元カソードによる負極・電解質・正極の一括形成と成膜後の大気非暴露による基板の封止が可能。 Ｌｉの専用ターゲットによる事前成膜テストも対応可能（有償） 材料（ターゲット）ソフト（成膜テスト）ハード（専用装置）一貫対応 硫化物ターゲット及び専用グローブ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く低コスト・高い信頼、稼働率の実現に寄与。 ウェハレベルの基板だけでなく大型基板のエッチングにも対応可能 基板の大型化にスムースに対応可能な新型高密度プラズマエッチング装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型蒸着装置（ＡＡＨ型　自動車部品用）

樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置　長尺樹脂成形品の成膜に最適　…

電子銃２～３台を使用。最大１８００ｍｍＬの基板の成膜が可能。基板の自公転回転機構により基板の全面成膜を実現。大口径拡散ポンプ＋ポリコールドチラーの高速排気で短タクトと高速水分除去。高品質な蒸着膜を形成。各種成膜プロセスも専用...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店