流量 | イプロスものづくり

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高性能・高圧多用途ポンプ【プラステコ】 L.TEXシリーズ

PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

用途によって選べるタイプ！！ ●ポンプ単体（装置組込式）　●制御部一体型標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ－ポンプです。当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。最大流量は 10mL/min ～ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...
メーカー・取り扱い企業：株式会社プラステコ本社
組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノメイト
ヒューズテクノネット　燃料電池イオン膜評価機

Windowsパソコンでの操作がわかりやすい

【特徴】 ○Windowsパソコン操作がグラフィカルで分かりやすくなっています。 ○温度・圧力・流量・電圧・電流などのデータをパソコン画面上に表示し、データを記録、テキスト形式で保存できますのでデータ加工が可能です。 ○各運転パターンを設定することが可能です。 ○ガス漏れ、地震、各種アラ－ム設...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューズテクノネット
エコフレンドリーな研磨

当社の研磨装置で酸洗は不要！酸洗をしないことで、地球環境への影響が軽減

します。高速で流れる水と砥粒子による優れた研磨力でドロス、酸化被膜の除去、鏡面仕上げ、寸法交差まで1工程で完了させることが可能。また、水＋研磨材のみを混ぜたスラリーを一方向に流し流量・圧力・時間を調節することによりワークを効率的に短時間で研磨する技術装置を使用しております。【特長】 ■研磨装置で酸洗は不要 ■水＋研磨材のみ ■研磨作用も物理を利用した単純で...

メーカー・取り扱い企業：アルゴヴィジョンテクノロジズ株式会社奈良工場
腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイC-22ハウジング製

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性…

【特徴】 ○濾過精度は0.003μｍです。 ○推奨流量は40〜200L/minです。 ○設計圧力は17MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
真空用オゾン除害器

真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。

に設置することで、真空ポンプの腐食を防ぎます。【仕様】型式　　　　　　　　　　OZ-1000 入口オゾン濃度　　　　　15%以下出口オゾン濃度　　　　　0.1ppm以下最大処理流量　　　　　　5sccm以下コンダクタンス　　　　　100L/min以上 ※詳細はお問い合わせ下さい。 ※上記以外にご希望される仕様がございましたらお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー
ヒューズテクノネット　透明導電膜加湿ユニット

H2Ｏを加温気化し、マスフローコントローラーで流量制御し、エッチング装…

加湿タンク内でＮ2ガスをバブリング、マスフローコントローラーで安定制御、温調器でプロセスラインベーキング制御、各炉へ安定供給します。...【特徴】 ○タンク制御温度・・・・・・・・60～65℃（センサーPT100Ω） ○配管制御温度・・・・・・・・・70～75℃（センサーPT100Ω） ○タンク・配管温度異常・・・・110℃（センサーサーモスイッチ） ○Ｈ2Ｏタンク水位検知用に、H・Mレベ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューズテクノネット
ミューコム　薄膜製造装置自動成長プログラム

自動成長プログラムによりバルブやマスフロー、温調計等を自動制御するシス…

真空制御、圧力制御、流量制御、温度制御やバルブ制御、各メカニカル駆動制御など、さまざまな制御装置に使われています。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ミューコム
米国mott社製ガスケットフィルターGSGシリーズ

不活性ガスをはじめ、特殊ガスも対応可能な高性能・簡易型フィルター

仕様流量：1～50L/min向け捕獲性能：0.003μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/4"VCR、1/2"VCR 製品材質：ステンレス製およびニッケル製...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクメイション
米国mott社製インラインガスフィルターFXPシリーズ

ファイバーエレメントを使用した低価格インラインフィルター

仕様流量：75L/min 捕獲性能：0.003μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/4"VCR、1/2"VCR...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクメイション
米国mott社製インラインガスフィルターPentaシリーズ

ニッケルエレメントを使用した低価格・低圧損インラインフィルター

仕様流量：15～600L/min向け捕獲性能：0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/4"VCR、1/2"VCR 他...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクメイション
米国mott社製集積用ガスフィルターGSMMシリーズ

集積ガスボックス向けフィルター

仕様流量：10～100L/min向け捕獲性能：0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1.125" Wシール/Cシールおよび1.5" Wシール/Cシール...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクメイション
米国mott社製インラインガスフィルターFLPシリーズ

リキッドソースの気化ラインに最適なフィルター

仕様流量：50L/min 捕獲性能：0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/2"VCR...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクメイション
マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｕ７０７／Ｕ７０８

薬液流量センサＵ７０７／７０８シリーズは低粘度の液体を7ｍＬ／ｍｉｎの…

Ｕ７０７／７０８シリーズは低粘度の液体を7ｍＬ／ｍｉｎの小さな流量から〜１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザ...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
マクミラン　テフロン製　液体用流量センサ　１０６Ｆ

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍ…

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザ...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
低圧力損失・高濾過精度セラミックガスフィルター

高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。従来のＰＧＦシリーズと全く同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
成膜コーター『SPM-300シリーズ』

塗布材料の塗着効率が高く、微少流量での成膜に適した成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
磁気浮上型ベアリングレスポンプ　BPS-600

Better pump for Better Yields !

れます。インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。このポンプには、２種類の基本システムがあります。単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPL...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社
ハステロイオールメタルガスフィルター

全ての材質にハステロイを使用

(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去します。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量まで幅広いラインナップをご用意しております。従来のメタルフィルターと比較...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
メッキ塗装に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

膜厚均一、自動車ボディカラーなど実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
燃料電池に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

燃料電池の電極など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
プリント基板の成膜に好適　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

銅膜形成、レジスト、埋め込み、平坦化など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
MEMSのレジスト膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

MEMSのレジスト膜など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
防曇膜など多数実績あり　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レンズ表面のハードコートや防曇膜に好適な成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
食品医療などの粉体化に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

特殊ノズルによる気化性が上がるため、有機・無機を問わず粉体化が可能な装…

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
有機ELの好適な　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

有機ELの高分子膜など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
液晶レジスト　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レジストやハードコートなど実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
化合物半導体の成膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

高輝度LEDや半導体レーザー用成膜など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
太陽電池のハードコート等　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

太陽電池のTiO2やハードコート等実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
自動車ランプの膜処理など　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

自動車ランプの着色や、フロントガラスの防曇膜に好適な成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研
Aera FC-R7800シリーズ　マスフローコントローラ

高精度・信頼性のメタルシールモデル

FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既...

メーカー・取り扱い企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社
アニール炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
高速フレーム溶射装置『Met-PCC（HVOF）』

インテルデュアルアトムプロセッサーを搭載！操作性・統合性・伝達性に優れ…

溶射装置です。インタフェースはインテルデュアルアトムプロセッサーを搭載したタッチスクリーンのウィンドウズのプラットフォームで機能。ガスと液体に関して、皮膜の好適な連続性の為に質量流量ですべて制御されており、すべての溶射パラメーターで装置のリアルタイムの動向を見ることができます。【特長】 ■質量流量制御＝高い繰り返し精度 ■使いやすい直感的な操作者インターフェ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社澤村溶射センター
磁気浮上型ベアリングレス　BPS-4000

Better pump for Better Yields !

れます。インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。このポンプには、２種類の基本システムがあります。単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPL...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社
1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…

1流体スプレー方式の現像装置です。現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。大型基板や厚膜の現像に最適です。スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載。マニュアル機～フルオート機まで生産量に合...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
簡易大気圧プラズマ装置A1000

【国産】低温・電荷ダメージなし！簡易型大気圧プラズマ装置洗浄・表面…

設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。お客様からの様々な要望に専任の担当者が親身に対応させていただいております。【オプション対応致します】 ◇窒素流量調整　　◇POWERコントロール ◇プラズマの照射幅の増幅 ◇1軸、2軸、3軸ロボット ◇ディップ　スプレー　ロールコーターとの組合せ ◇風防ボックス、無塵ボックス、局所排気などその他お...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体
スパッタリング装置多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Lチャンバー）基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート）基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整）寸法：1,120(W) x 800(D) ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着などの混在仕様も構成可能です。...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
ハンディ型大気圧プラズマ装置S5000-BM【国産製品】

【溶剤不要】ハンディータイプの大気圧プラズマ装置、低温・電荷ダメージな…

設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。お客様からの様々な要望に専任の担当者が親身に対応させていただいております。【オプション対応致します】 ◇窒素流量調整　　◇POWERコントロール ◇プラズマの照射幅の増幅 ◇1軸、2軸、3軸ロボット ◇ディップ　スプレー　ロールコーターとの組合せ ◇風防ボックス、無塵ボックス、局所排気などその他お...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体
大容量真空プラズマ装置：YHS-MS

大きなサンプル・大量のサンプルの表面改質・洗浄にお使い頂けます♪

や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力調整が設置されており様々な条件で照射が可能です♪ 電極（棚）サイズは400mmです。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体
磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i30

Compact & Resonable for Highend Pro…

回路により精密に制御されますので脈動がありません。脈動の無いバルブレス構造ですので、インラインの昇圧が可能です。制御システムはPI機能を有しており、各種センサー類を用いて、クローズドループの流量或は圧力一定制御をより簡単に構築できます。...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社
UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」

小型・軽量・小フットプリント装置

■主な特長・独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載・N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる・低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に大きく貢献するばかりで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社
高濾過精度低圧力損失ＰＴＦＥガスフィルター

安定した濾過性能

【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです。 ○推奨流量は４０〜３００Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用差圧は０.５ＭＰａ（７２.５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用温度は１２０℃...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
プラズマクリーナー（小型）

業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

研究機関向けの超コンパクト設計」 ■操作性　「可変RF出力搭載、どなたでも簡単に操作できます」 ■幅広い用途　「光学材料/プラスチック/金属/セラミックス/PDMSなど」 ■プラズマフロー　「流量計2系統と圧力計を搭載、2種類のプロセスガスを再現良く導入可能」【アプリケーション】 ■光学材料/プラスチック/金属/セラミックス/PDMSなど、あらゆる材料の表面汚染物質の除去、表面...

メーカー・取り扱い企業：三洋貿易株式会社科学機器事業部