真空機器 | イプロスものづくり

PR各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できるフッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた処理方法の選定が求められます。フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧ください。【掲載内容】・フッ素薄膜処理とは・真空蒸着法、スプレー法とは・真空蒸着法...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

基板修理サービス『ヨミガエル』＜現物さえあればOK＞

PR原則成功報酬＆見積もり無料で安心。機械・装置の更新コストを削減！復刻や…

設備はまだ使用できるのに、故障してしまった基板等が手に入らず、泣く泣く設備更新をした経験はございませんか？当社では、故障した基板を解析・診断して修理を行い、故障したICを交換、基板上の腐食、焼損、劣化、断線などを修復する、基板修理サービス『ヨミガエル』を提供しています。メーカーサポート終了品、海外メーカー製品、回路図や仕様書がない製品にも対応。設備の故障や部品の生産...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

サンユー電子　真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ

スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子

1976年の創業以来一貫して、“使いやすい、簡単、便利”にこだわったものづくりを通じ、多くの方々に、スパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器をお使いいただいております。 SEM用前処理用としてのスパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、各種デバイスの電極付け用途としてのスパッタ装置、真空蒸着装置は、大学や公的研究機関の各研究室、民間企業の開発担当の方々...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

当社は30年以上真空技術に携わり、ユーザー様の仕様に合わせた製品を主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など真空成膜装置を多数ラインアップ。その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの各種研究用装置もご用意しております。ご用命の際はお気軽にご相談...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング装置を納入した事例を紹介させていただきます。今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロードロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

APIEZON アピエゾン真空グリース

Apiezon(アピエゾン)製品の正規代理店です。高性能真空グリースの…

分子蒸留技術によって特別に作られたApiezonグリースは、熱伝導率が高く、高温環境下でも安定して動作します。また、非常に高い真空下でも優れた潤滑性能を発揮します。このグリースは、真空ポンプ、半導体製造装置、航空宇宙機器、およびその他の高真空環境下で使用される様々な機器で広く使用されています。使用温度によって対応する各種のグリースがあり、いずれも科学的に安定しています。蒸気圧が非常に低く純...

メーカー・取り扱い企業：エドワーズ株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やＣＶＤ装置、樹脂成型などの一般工業用途など、幅広い用途の真空排気の問題を解決！...信頼性と目的にあわせた個別設計が特徴...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

各企業様の研究・開発部門や各種研究開発機構様とのお取引をさせて頂いており、最先端技術を取り入れた技術の提供が可能です。御客様の御要望に沿った装置設計が弊社の最も得意とするところです。その他、ユニット、部品単体の設計や改造案件なども承っておりますので、お気軽にご相談下さい。【取り扱い産業一覧】半導体製造／有機EL・液晶パネル製造／太陽電池パネル製造／医薬品製造／食品加工／他 ...近年...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

真空対応位置決めテーブル＜VT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の汎用型ＸＹ位置決めステージです。【特長】　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製）　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製）　◇真空グリースの銘柄指定可、ノ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

【低ガス放出　セラミックス】電気絶縁部品　「ブッシング」

【RoHS　環境対応品】絶縁性や耐熱性に優れたセラミックブッシングです…

■□■特長■□■ ●優れた電気的特性 ●高耐熱性 ●低吸水性 ●優れた機械的特性 ●長寿命 ●低ガス放出 ■□■製品例の他にも貴社の技術仕様に合わせて多様な形状を承りますので、お気軽にお問い合わせください。■□■ □■□ご注意ください。□■□ ●最小ご注文数量は「10個」となります。 ●ご注文数量単位は「10個単位」となります。 ●2019/11現在 CS-3,C...

メーカー・取り扱い企業：株式会社友玉園セラミックス

瞬間真空高温ヒータープレス

ハイテク・ナノテク・新素材の研究試験機として高精度・手頃な価格で

■研究・実験・開発用向け瞬時高温真空プレスコンパクトサイズで場所をとらない為研究室などに容易に設置できます。 ■最大400℃ 常用温度350℃（最大400℃） ■瞬時真空 1kPaを10〜30秒の短時間で真空引きできます。 ■省スペース省電力、軽量、小型で操作がしやすく、工場内をキャスターにて移動することができます。 ■保守点検空気圧作動のため保守点検が簡単です。 ■特注...

メーカー・取り扱い企業：ミカド機器販売株式会社

真空対応マイクロリニアアクチュエータ＜MLA＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...真空度（：到達 5×10-4Pa）対応の超小型アクチュエータです。【特長】　◇ステッピングモータ駆動でパルスによる簡単な位置決め　◇超小型！ボールペンや単４電池よりも小さい [仕様]　　外形サ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

前工程の歩留まり改善が期待できる真空・耐熱用グリース

LOGENEST LAMBDA AEP-4は真空かつ150℃以上の高温…

「LOGENEST LAMBDA AEP-4」は下記のような特徴があり、コンタミ改善に取り組まれている方や大切な機械をメンテナンスしている方へ推奨しております ■ 特殊フィルム製造の前工程（成膜、エッチング等）の搬送部（ベアリング等）やシール部（Oリング等）に最適なグリースです ■ 特徴は、従来のフッ素グリースより劣化を抑え、ロングライフが期待されます【用途】各種下記前...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッペコ本社

半導体部品の欠陥検出　「遠心定加速度試験装置」

高加速度試験（最大34,000rpm、100,000G）。槽内温度コン…

「遠心定加速度試験装置」は、半導体部品の構造上・機械的欠陥の検出をします。【特徴】ローター室保護のために鋼鉄製の二重リング銅やスライドドアを採用回転体のアンバランス検地に非接触の渦流センサーを採用モーターの回転数が設定値より20%を超えると停止する過回転保護機構を採用本体の異常振動検知に振動スイッチを採用真空度のチェックに真空監視機構を採用その他詳細は、カタログをダ...

メーカー・取り扱い企業：エア・ブラウン株式会社電子機器部

吸着テーブル　ポーラスカーボンチャック

ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンターなどの用途に最適

「ポーラスカーボンチャック」は、テーブル表面にカーボンポーラスを使用した吸着テーブルです。多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能で、フィルム等薄い材質でも吸着可能です。また、耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着も可能です。さらに、導電性がある為、帯電を嫌う装置での真空吸着が可能です。各種サイズ、形状に対応可能です。ワークは200mm/300mm/450mmウエハー、ガラス基板、フィルムになります。...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

真空蒸着加工サービス

ふだんの暮らしに生きている蒸着製品

当社では、真空蒸着(ドライコーティング)、コーティング技術(ウェットコーティング)を行っております。この2つの加工技術により、金銀糸から食品や生活雑貨、そして電子機器分野まで、多彩な高機能フィルムを生み出します。【製品例】 ■食品包装 ■生活一般雑貨 ■金銀糸 ■電子機器部品 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【設備】...

メーカー・取り扱い企業：サイチ工業株式会社

基板接合（直接接合・陽極接合・真空封止）

オーダーメイド品を製造・販売しているケニックス社の『真空封止・接合装置』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■陽極接合・直接接合・熱圧着接合に任意対応 ■ウェハーレベルからチップレベル接合に任意対応 ■加熱エリア・温度：φ6cm・Max1,000℃ ■加圧：Max1,000kg/cm2 ■雰囲気圧力：真空〜加圧雰囲気 ■各種MEMSセンサー・マイクロチップ・次世代デバイス ...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

イオンビーム描画装置OMFシリーズ

ビューラー・ライボルトオプティクス（旧OPTEG社）のイオンビーム描画…

世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供しています。研究開発用途から大量生産の大型設備まで様々な真空チャンバーサイズを取り揃え、お客様の多様なニーズにお応えいたします。 2018年より新たに真空中で超精密光学レンズの表面研磨を...

メーカー・取り扱い企業：ビューラー株式会社

LED製造関連機器　撹拌・脱泡機シリーズ

シリンジのままでも、カップ式でも撹拌・脱泡はおまかせください！

株式会社マルコムの『撹拌・脱泡機シリーズ』は、2つの撹拌方式とシリンジ・カップ対応で、あらゆる材料の撹拌・脱泡が可能です。「シリンジ専用撹拌機シリーズ」は、20年前にソルダペースト用に開発した独自の自転角可変方式を採用、自転公転を組み合わせた歳差運動により、他方式では不可能な強い撹拌効果が得られます。シリンジのまま蛍光体・分散剤・封止剤を均一に撹拌・脱泡可能で、工程の短縮実現と材料の無駄を排除する...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マルコム

明昌機工株式会社　事業紹介

大学や研究機関、電機メーカーに多数納入実績！研究開発機器の製造販売を行…

明昌機工は、レーザー機器やナノインプリンターなどの製品の製造販売を行っている兵庫県の会社です。他にも、放射線測定機器や各種超高真空機器、ナノテク機器、半導体・液晶パネル製造機器、各種電子応用機器などを取り扱っています。大学の研究所や研究機関、電機メーカーなどに納入実績が多数あります。【事業内容】 ■中性子・...

メーカー・取り扱い企業：明昌機工株式会社

株式会社メイコー　事業紹介

「創造力」「開発力」「技術力」と「スピード」で新技術・新製品の価値を創…

株式会社メイコーは、「創造力」「開発力」「技術力」と「スピード」で新技術・新製品の価値を創造し、地域社会に貢献するもの作りナンバーワン企業です。弊社は各種リソースのバランスを図り、主力ビジネスであるFPD（液晶、プラズマディスプレイ、有機EL）関連事業、半導体関連事業、計測機器事業、自動化・省力化機器関連事業、クリーンエネルギー（太陽電池、燃料電池、etc.）関連事業、超大型・精密機械加工...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコー

テクノウェーブ株式会社　会社案内

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

テクノウェーブ株式会社は、真空関連装置・部品及びその他産業関連装置・部品の設計から組立検査を得意としております。真空技術はデジタル家電業界、半導体・電子工学業界、医療など幅広い産業等で応用されています。その中で当社はお客様のニーズを的確に把握し、迅速で確実にご要望に応えられる提案型企業でありたいと考えております。【事業内容】 ■真空応用関連装置の設計、製作並び...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社

精密光学用イオンビームスパッター装置　IBS1400／1600

ビューラー・ライボルトオプティクスの真空IBS装置

世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供しています。研究開発用途から大量生産の大型設備まで様々な真空チャンバーサイズを取り揃え、お客様の多様なニーズにお応えいたします。... ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッタ...

メーカー・取り扱い企業：ビューラー株式会社

ダイレクトドライブモータ［Zシリーズ］（DDモータ）

様々なバリエーションを揃え、半導体製造機器や液晶パネル製造機器、一般F…

ダイレクトドライブモータ Zシリーズは、様々なレイアウトに対応する薄型の15Nmタイプから大型設備を支える2,000Nmタイプまで、幅広いバリエーションを揃えあらゆるニーズに対応します。【特長】 ○大きい中空径 ○耐環境性、メンテンス性向上 ○1,000倍以上の高イナーシャ比対応 ○様々なネットワークにも対応可能 ○短納期対応可能 ○自由度の高いカスタマイズ対応も可能 ○様々...

メーカー・取り扱い企業：シンフォニアテクノロジー株式会社 (旧)神鋼電機

切削加工部品

新しい情報及び必要とされる加工技術で、お客様の抱える問題を早期に解決し…

■工作機械　・研削盤 ■電子計測器　・オシロスコープ、電源装置、電圧・電流・電力装置、無線観点測定器 ■液体機器　・ポンプ、管継手、油圧機器、ディスペンサー、空圧機器、バルブ、真空機器　他 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社久保村製作所

インライン式周波数調整装置「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

インライン式周波数調整装置「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもＨ／Ｌを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。ＳＦＥ‐Ｂ０３に搭載したＩＧＦ－２０１型１００ｍｍビームのイオンソースを２基搭載しています。イオンソース１台あたり最大２４個、計４８個同時処理が可能です。ＳＦＥ－Ｂ０３で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

株式会社片桐エンジニアリング　技術紹介

開発、設計から加工・溶接・組立・検査までを一貫して手がけております。

株式会社片桐エンジニアリングでは、超真空から大気圧領域の真空装置・機器においてお客様の要望に応えたカスタマイズ装置づくりを行っており、開発、設計から加工・溶接・組立・検査までを一貫して手がけております。大学との共同研究による最先端プラズマ技術を元に装置開発を続けています。電子ビーム励起プラズマ（EBEP）を社内設備として設置し、企業ニーズに応えた開発、試作を行っており、EBEPによる高速チッ化処理...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング

真空バルブオーバーホール、アクチュエーター修理

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！　　メーカーメンテ…

各種メーカー真空バルブ修理　振り子式バルブ修理・ゲートバルブ修理・バタフライバルブ修理・アングルバルブ修理等...【　納　期　短　縮　】標準交換部品等を事前購入保管（購入に伴うタイムロスの軽減実施）　　標準交換部品例・各種Oリング・ソレノイドバルブ・ベアリング・ワッシャー・ステッピングモーター・モーター（ACT）ケーブル等・海外製部品の各種国産化置換え　（モータ...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社近畿支店

【真空蒸着・塗装・印刷技術掲載中】株式会社奈良原産業会社案内

弊社では真空蒸着・塗装・印刷をワンストップサービスを行っています。自動…

株式会社奈良原産業は、真空蒸着・塗装・印刷を工場内でワンストップサービスで行うことができる会社です。化粧品容器、自動車部品、医療機器・医療備品、家電部品など多くの業界・業種の方々に真空蒸着・塗装・印刷技術で期待に応えてきました。これからもこれから50年、100年と続く企業であるために更なる技術と品質の向上を目指します。【特長】 ■品質管理に高い信頼性 ■リードタイムの短縮 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社奈良原産業

アルカリ対応スピン洗浄装置

有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置

本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。...洗浄ワーク　 ●PETフィルム及びガラス基板　50～300角　ｔ＝0.7、1.1mm　　　　　　　　　　　　　 ●8,12インチウエハ各種ワーク対応（オプション）洗浄水 ●アルカリ　●純水　●水素溶解水　●オゾン水対応回転数　　　MAX　3000rpm...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

ウェハー表面改質・精密接合装置

ウェハーレベルのシリコン、金属、石英、ガラス等を、真空〜任意雰囲気で表面改質処理後精密接合する装置 ■□■特徴■□■ ■4〜6インチのウェハーレベル各種ポンディングに対応 ■任意材料に適した表面改質処理による前処理機能 ■均一な加熱、加圧機能を備えた接合システム ■残留応力低減のための加熱冷却システム ■超高真空〜加圧雰囲気に任意対応 ■任意ポジション加圧・電圧印加制御機...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社