蒸着装置 | イプロスものづくり

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

【開発者目線を徹底】各種装置のオーダーメイド製造承ります

相談だけでも歓迎！設計から製作、組立まで自社で一貫して対応！各種装置製…

【その他の製作実績】 ■研究開発用バッチ式3元スパッタリング装置 ■研究開発用IBS装置【取扱製品】プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空装置設計・製作致します！

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の…

装置完成後の現地搬入、立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。各種実験装置の設計・製作に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。...【真空装置設計・取り扱い産業一覧】 ◆真空装置設計（スペースチャンバー、チェンバー、エンクロージャー等）・各企業様の研究・開発部門や各種...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電…

『圧電膜形成スパッタリング装置』は、単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで連続成膜することが可能な製品です。プラズマエミッションモニターによるプラズマ分析とフィードバック制御により、高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜、圧電特性低下に寄与する元素検知も可能です。当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載しており、基板温度900℃を実現します。 ※詳しくはPDF資料をご覧...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

タングステン・モリブデンの加工品

タングステン・モリブデン・タンタル等の高温向けレアメタルの加工品

真空蒸着用ボート、フィラメント、EBガン、高温炉用ヒーター、反射板、リフレクター、試料皿、イオン注入装置用フィラメント...真空蒸着用ボート、フィラメント、EBガン、高温炉用ヒーター、反射板、リフレクター、試料皿、イオン注入装置用フィラメント...

メーカー・取り扱い企業：有限会社新栄特殊金属

真空蒸着装置　その他周辺部材

真空業界、半導体分野で必要とされる、あらゆる材料・部品、加工品を取り扱…

用途によりお客様の要望に改造等も致しております。...弊社は、真空業界、半導体分野で必要とされる、あらゆる材料・部品、加工品を取り扱い、中でも特殊金属の加工品、特殊品、消耗品には最も力を注いで取り組んでおります。また、品質・価格・納期・情報などの面におきましても、常にユーザー様と前向きに検討し、改善・提案してまいりました。今後も『真空の全てに役立つパートナー』として皆様とともに前進して...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クラフト

ＣＡＲＢＯＺＥＮハイブリッドＰＶＤシステム

製膜スピードＵＰ＆高い密着性！導入コストや維持費も低いＤＬＣコーティン…

『CARBOZEN　ハイブリッドPVDシステム』は、製膜スピードを飛躍的に向上させた新型DLCコーティング装置。優れた密着性が特長です。リニア・イオン・ソースとUBMスパッタ、FCVAソースの適切な組み合わせで、基材との密着性が高い、様々なDLC膜をコーティングすることができます。【特長】 ■装置とオペレーターのためのロック機能 ■MS Windows OSベースのソフトウェア...

メーカー・取り扱い企業：パーカー熱処理工業株式会社川崎事業所

【湿式、乾式(CVD、PVD、溶射、その他】　様々なご提案！

【膜種、方式にとらわれないコーティングの全方位提案！】

こんなお困りごとはありませんか？課題、用途に適した膜種、方式を提案【湿式、乾式(CVD、PVD、溶射、その他】 ●「装置部材の長寿命化」「生産消耗部材の長寿命化」のテーマがある　　　　　　　　　　　　　↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓ ●部材そのものの切替にはコストやリスクがありコーティングを検討したい　　　　　　　　　　　　　↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓ ●コーティングメーカーが...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課

プラティット　回転円筒カソード式PVDコーティング炉

合金ターゲット不要皮膜をソフトウェアで制御

最大4本の回転円筒カソードを搭載し、皮膜の組成比をソフトウェアで制御可能な唯一の装置。用途に適した皮膜のチューンナップや独自皮膜の確立に貢献します。...【主な特長】 1. 標準工具からホブ、タップ向け皮膜の最適化が可能 2. アークとスパッタリングの同時蒸着が可能 3. DLC、酸化物、スパッタリングに対応する最高の自由度 ※詳しくはカタログのダウンロードもしくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：ＹＫＴ株式会社

ウェブクリーナーの取り付けスペース問題に！コンパクトタイプ

CMXシリーズは取付スペースの問題でウエブクリーナーをあきらめていた皆…

装置横幅100ｍｍのスペースがあれば、転写式ウエブクリーナー装置の導入が可能になりました！アキュムレーター後、巻き取り前や乾燥機後のほんのわずかなスペースがあれば、転写式でしっかり除塵が可能です。ご興味がある方は、写真にはなりますが、実際の装置をお見せすることも可能です。ぜひお気軽にお問い合わせ下さい。＜コンバーティングの技術領域＞コーティング技術（ウェットコーティング、ドライ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤンゴージャパン

真空チャンバー制作技術紹介

真空容器製作等にお困りの方は是非弊社まで！！

必要な仕様に対応する適切な設計によるコスト低減【制作例】小型実験用チャンバー、実験用チャンバー、中性子加速器用チャンバー Ar雰囲気溶接用グローブボックス、液晶製造装置用チャンバー、蒸着装置用チャンバーなど、実績はございますのでご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

真空容器制作事例「実験用チャンバー」

真空容器制作事例のご紹介

必要な仕様に対応する適切な設計によるコスト低減【制作例】小型実験用チャンバー、実験用チャンバー、中性子加速器用チャンバー Ar雰囲気溶接用グローブボックス、液晶製造装置用チャンバー、蒸着装置用チャンバーなど、実績はございますのでご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

株式会社エイディーディー　事業紹介

私たちは半導体業界に新しい風を起こします。

半導体製造装置の延命化のため、他社では不可能な周辺機器の修理を致します。コスト低減はもとより省エネルギー化などの改造も行い、環境問題にも取り組んでいます。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【事業内容】 ○半導体製造における関連製品の開発・販売【サービス】 ○これまでに培った技術と経験を生かし、半導体製造装置のサポート、　延命化のご提案をいたします。 ○...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイディーディー

ロールtoロール生産ライン速度300m/minでも安定した除塵！

ULT roll to rollウェブクリーナー装置はコンバーティ…

インラインでもローラーメンテナンスの自動化を可能としたウェブクリーナー装置です。24時間稼動ライン、スマート工場化にも向けたシステムです。オペレーションのダウンタイム（稼動停止時間）の削減や作業員の効率アップに貢献します。＜コンバーティングの技術領域＞コーティング技術（ウェットコーティング、ドライコーティング〔蒸着、スパッタリング、その他〕）ラミネーティング技術、粘着加工技術、プリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤンゴージャパン

秩父電子株式会社　事業紹介

半導体研磨加工の匠集団

秩父電子株式会社は、半導体フォトマスク基板用合成石英ガラス、 GaP・GaAs等の化合物半導体、MEMS、SiC（シリコンカーバイド）サファイア、GaN(窒化ガリウム）、Siウェハーの研磨加工を軸にエピ成長、金属膜蒸着等半導体材料の加工を幅広く行っている技術集団です。屈指の研磨技術で高硬度素材・高精度加工などの高い技術を必要とする研磨加工を承ります。【製品ラインアップ...

メーカー・取り扱い企業：秩父電子株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。グローブ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『nanoPVD-T15A』

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

ター、ログ保存、オンライン/オフラインレシピ作成保存、故障解析などが可能です。限られた開発現場・ラボスペースを最大限有効活用ができる省スペース設計・メンテナンス性にも優れたコンパクトサイズ真空蒸着装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-080』

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。高さ570…

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/P...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Φ2inchカソード x 4基搭載同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリングプラズマエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab】蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、…

【装置構成事例】 *Chamber-1. MiniLab-E080A（蒸着装置）・EB蒸着:7ccるつぼ x 6 ・抵抗加熱蒸着 x 2 ・有機蒸着限 x 2 *Chamber-2. MiniLab-S060A（スパッタリング装置）・Φ2"マグネトロンカソード...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【オーダーメイド製作実績】蒸着装置

「2段階複合Pt成膜装置」などの実績を保有！ご用命の際はお問い合わせく…

ジャパンクリエイト株式会社が行なった、『蒸着装置』のオーダーメイド製作実績をご紹介します。「2段階複合Pt成膜装置」や「HDDメディア研究開発用ルブ蒸着装置」、「ロードロック式高真空超高温EB蒸着装置」の実績を保有。デモ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

グローブボックス連結型有機・金属蒸着装置

基板回転・基板加熱対応のホルダーを搭載！大気解放することなく連続成膜可…

当製品は、100×100基板に対応した有機･金属蒸着装置です。マスク交換用にグローブボックスを連結しており、大気解放することなく連続成膜することが可能。蒸着源は、抵抗加熱蒸着源、有機専用蒸着源、コニカル蒸着源Kセルを複数備えた大...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。グローブ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置下記蒸着源から組合せが可能・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4 ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能【スモールフットプリント・省スペース】・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

グローブボックス連結型有機蒸着・スパッタ装置

トランスファーロッドにより、各室間を搬送！大気解放することなく連続成膜…

当製品は、50×50基板対応で、有機トランジスタ、EL素子用抵抗加熱蒸着装置、酸化物用RFスパッタ装置をグローブボックスに連結した装置です。トランスファーロッドにより、各室間を搬送。大気解放することなく連続成膜することができます。ご用命の際はお気軽...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

有機材料（有機EL）成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...【特徴】・有機材料と金属材料とのコンタ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

真空蒸着装置の世界市場レポート2022-2028

真空蒸着装置の世界市場規模、売上、価格、収益、動向分析レポート2022…

YHResearchは「グローバル真空蒸着装置のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2022」の調査資料を発表しました。本レポートでは、真空蒸着装置の世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、地域（国）別に分類されます。販売量...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

有機EL用成膜装置

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有…

チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。また、グローブボックスへ接続可能なシステムです。本システムは、有機材料と金属材料が同じ部屋にて成膜可能なハイブリット型蒸着装置となります。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置高さ570m…

80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバー、メンテナンス性を考慮した背面開閉ドアを採用。プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグローブボックス内の管理された環境内で一貫した処理ができます。GB, ガス精製機はGBモデルの仕様を参照下さい。・最...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。高さ570…

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/P...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

エキシマレーザパルス蒸着システム

と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替）高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着技術

製品の美しさはもちろんのこと、機能面もご満足いただける仕上がりにいたし…

奈良原産業の『真空蒸着技術』を紹介します。当社では、発熱体の両端に電圧をかけ、流れる電流によるジュール熱で加熱する抵抗加熱式の真空蒸着装置を採用。金属を蒸発させて、プラスチック製品などの非金属の表面を金属化するメタライジングにより、製品により洗練された光沢で高級感を付加いたします。また、小ロット多種品の生産にも対...

メーカー・取り扱い企業：株式会社奈良原産業

3源抵抗加熱蒸着装置

EB源増設ポート付！4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備…

当製品は、金属材料を対象とした3源切り替え式抵抗加熱蒸着装置です。角型チャンバーにより、メンテナンス性が向上。 4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備えています。【特長】 ■基板寸法：100×100 ■基板加熱温度：常...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

大型高真空蒸着装置

精密品から海上輸送の大型構造物まで、非鉄金属加工のスペシャリスト！

今日、あらゆる産業の分野で、急速なイノベーションが進んでいます。より「軽く」、より「強く」、そして、より「ロングライフ」に…企業のニーズは、ますます多様化し、個性化しています。赤星工業は、創業以来、常に「顧客志向」、「品質本位」をモットーに価値ある非鉄金属加工品を提供し、多くの皆様のご要望とご期待に応えてまいりました。そして、今、急激に変化する時代の中で、いかなる企業のニーズにも迅速に対応できるハ...

メーカー・取り扱い企業：赤星工業株式会社

フリーマウント式金属蒸着源『KFOD-1』

取り扱いが簡単！小型で簡易設計のフリーマウント式金属蒸着源

『KFOD-1』は、るつぼに材料を充填し、フィラメントヒーターにより加熱をする低温蒸発材料用の簡易蒸着源です。るつぼ(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選びません。既存装置でも試料に向けて取付でき、ねじ1本で蒸着方向を固定/解除できます。短時間での加熱、温度安定性にすぐれ、お手持ちの直流安定化電源で簡単に動作できます。小型で簡易設計の為、研究開発用途におす...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

PLAD-271PE PLDシステム

と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-150Y PLDシステム

と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-250R PLDシステム

と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-261PG PLDシステム

と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-250E PLDシステム

と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-161 PLDシステム

と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

真空配管、粗引配管設計及び制作

、出荷前の外観検査にて除去し、リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を　行っております。 ◆装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが　可能な体制となっております。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

コンパクトコーター　SVC-700TMSG/Adexcel

小型成膜装置！ターゲットは3種類同時に装着可能です。

○真空中にターゲットを選択でき、多層膜を作製可能 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付可能 ○排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続 →抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

RAM クラスター型スパッタリング成膜装置

拡張スロットが5つあり、スパッタチャンバーや蒸着装置、グローブボックス…

）が搭載されたクラスター型スパッタリング装置です。下地層にダメージを与えないよう、初期層はRAMカソードで低ダメージスパッタ成膜を行います。拡張スロットが5つあり、スパッタチャンバーや蒸着装置、グローブボックス等、追加搭載可能。また、25段多段ラック式のロードロックを搭載し、多種多様な成膜レシピをスロットごとに自動で成膜することができ、あらゆる研究開発に対応できます。 ...

メーカー・取り扱い企業：京浜ラムテック株式会社

立体形状への成膜加工

平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます！ご希望の成膜箇所をお聞…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。例えば、ガラス板やフ...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社