【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

小型ロボット KUKA KR AGILUS

最大リーチ1,100mm、6軸、超高速で、床・壁・天井にも取り付け可能…

KUKA高速・高精度の小型ロボットKR6 Agilusで生産工程に革新を！ 新しいスピードのマイスター　可搬重量6kg及び10kgのKUKA小型ロボットです。 KUKAのお家芸である高精度を小型ロボットにも注入、新発表。 更なる高速化を目指すハンドリング・組立工程、まだまだ自動化の進んでいない検査工程、バラ積みからのピッキング、穴あけ・バリ取り・研磨工程にも適応可能です。オフラインティー...

メーカー・取り扱い企業： KUKA Japan株式会社