高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高粘度スラリーでも目詰まりしない『W-CELL フィルター装置』

PR独自のろ過方式で高粘度液も精密にろ過。100ミクロン以下のスリット幅で…

『W-CELL フィルター装置』は、インク・塗料・顔料・ラテックス・合成樹脂、 製紙、果実・野菜ジュース、液卵、にごり酒などの分級ろ過や異物除去に適したフィルター装置です。 高粘度・高濃度スラリーでも安定した連続ろ過が可能。 ステンレス製のため耐圧・耐熱性に優れ、長寿命で低ランニングコストを実現します。 スクレーパや逆洗による残渣の除去が容易で、装置の自動化が可能。 大型から小型...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社荒井鉄工所

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。 トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより、多種多様な排気ガスに対応できます。...【幅広い対応範囲】 　各種処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに 　最も適した処理剤の選定ができます。 　また...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

RIBER社 分子線エピタキシー（MBE）装置

パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…

パッシベーション用MBE装置は、表面パッシベーションまたはレーザーファセットパッシベーションのために特別に設計された各種チャンバーで構成されております。表面やファセット面を保護するために、さまざまなコーティングを使用することが可能です。代表的な材料としてZnSe、SiN、酸化物等がある。 構成例として、クリーニングとパッシベーションを行うレーザーの両端でデバイスホルダーを反転させる機能が含むチャ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応 　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他 　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン 　集合表示灯及びタッチパネル（オプション）、シグナルタワーによりスピーディーに警報を識別可能。 ● 希釈対応が必要なH2、C2H2も処理可能 　乾式除害では処理できない可燃性ガス（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

■小型・大流量 一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。 ※半導体製造装置からＰＶ用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。...濾過精度 0.003μm ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

超高純度ガス小型精製器

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大１ＰＰＢ以下まで除去します。内蔵の粗取り用フィルターメディアには全てＳＵＳ３１６Ｌを標準として使用しております。面間８４ｍｍ、１２０ｇの小型・軽量タイプもございます。ガス種により３５０℃から４００℃のベーキングによって再活性処理をすれば、完...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

活性炭ガス精製器

高清浄度活性炭を内蔵

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。...【特徴】 ○設計圧力は０.９８ＭＰａです。（１４２ＰＳＩＧ） ○最高使用差圧は０.６８ＭＰａです。（９８.６ＰＳＩＧ） ○内蔵フィルターエレメント濾過精度は０.００３μｍ以...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

精密洗浄

超純水（18MΩ・cm）での精密洗浄により、お客様の製品の品質向上及び…

難分解性の有機物や、カルシウム・カリウム・ナトリウム・塩素など、分子レベルの汚れを除去致します。 【用途】 ・半導体関連部品 ・有機EL装置関連部品 ・医薬品関連部品　など...【精密洗浄工程】 脱脂洗浄（60℃） →市水洗浄→純水洗浄→超純水洗浄→超純水超音波洗浄（60℃） ※『電解研磨』『不動態化』などの処理を追加することも勿論可能です 電気抵抗率（比抵抗）：18MΩ・c...

メーカー・取り扱い企業： 東陽理化学株式会社