高機能フィルムの生産に！マイクログルーブロールで傷・蛇行を抑制

PRスリップ・蛇行、歩留不良などのお悩みをロール交換のみで解決！加工・適用…

【展示会情報】 『高機能素材Week 第12回 FILMTECH JAPAN（2024/5/8～5/10）』に出展します。 ■会場：インテックス大阪4号館　■ブース番号：14-15 ★非接触式衝撃波クリーナー"ウェイビー"による、持込ワークのクリーニングデモも実施いたします。 ※デモ実施対象：厚さ～150μm、100x150mm程度までの寸法のフィルム ロール表面に一様かつ微細な溝加工を施した当...

メーカー・取り扱い企業： 若水技研株式会社

運搬機械向け制御製品の活用事例を配布中。選定ポイントがわかる

【販売開始から44年の実績】運搬機械やプラントで活躍する制御機器の事例…

制御機器の販売開始から44年、ベスタクト・ソリューションズは長年様々な産業分野からのご要望に応えてきました。 このたび、クレーン（アンローダ / スタッカ・リクレーマ）、ベルトコンベヤ、製鉄プラントやコークス炉、低圧制御盤内の電気品などの各設備でそれぞれの用途における好適な当社製品を資料としてまとめました。 【資料内容】 ■ 会社概要 ■ ご提案内容 ■ 当社製品用途のご紹介 （...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社べスタクト・ソリューションズ

ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置：フロートチャックSAC型

オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型…

ベルヌーイ効果・エゼクタ効果・コアンダー効果を持つベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」の新機構を採用したオーダメイドの「ベルヌーイチャック・非接触搬送装置」製作いたします。 新機構：非接触搬送装置「フロ－トチャックSAＣ型」には吸引力を生じるエゼクタ効果を高めるためにコアンダー効果を付加させました。 ベルヌーイ効果と併せて高効率、気体消費...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触真空パッド　SBS

プリント基板・シリコン型太陽電池・液晶基板・包装資材等の搬送に好適！

「非接触真空パッド　SBS」は、プリント基板、硝子基板、ベニヤ板、シリコン型太陽電池、液晶基板の搬送、紙袋・その他包装資材の2枚取り防止に適した新型搬送機器です。 保持力2.0N～104.0Nの6タイプをご用意しております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【製品の特長】 ・ベルヌーイの原理を利用したグリッパー。圧縮エアの供給のみで使用可能で真空発生器が不要。...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触式　異種雰囲気空間ウェブ連続搬送装置

大幅な生産性向上を実現！非接触での搬送で、ウェット搬送可能です。

囲気空間とウェブのシールに成功しました。 従来のバッチ式ロールＴＯロールに比べて異種雰囲気空間の工程間を連続搬送することが可能になるため大幅な生産性向上を実現することができます。 特徴として、非接触搬送、ウェット搬送可、クリーン、メンテナンスフリーであるため様々なウェブに適用することが可能です。 【仕様】 ■帯状ワークサイズ：幅37.5～75ｍｍ　厚さ0.02～0.3ｍｍ　最大巻径300ｍｍ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メイコー

無人搬送台車（AGV）『S-CART1000』：ニデック

“搬送をもっと自由に、簡単に。”ガイドレス走行を搭載したAGV『S-C…

S-CARTの特長であるガイドレス走行はそのままに、積載荷重1,000 kgと横行（カニ歩き）機能を搭載。 レーザーセンサは前後左右4m先の障害物を検知、バンパーの障害物センサは全周に配置し安全性に配慮。 パレット（T11型）自動積載用リフトアップ機構もオプションでご用意。（専用パレットラックについてはご照会下さい） 非接触充電機能を標準装備するなど使い易さを重視したAGVです。 ※２...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

オークラ輸送機『マグネット駆動コンベヤ』【静かでクリーンな搬送】

非接触の駆動メカニズム！低発塵・低騒音・省エネ・メンテナンスフリー！静…

『マグネット駆動コンベヤ』は、マグネットの磁力の反発原理を活用し、非接触でローラを駆動させました。これにより駆動箇所の摩耗を無くし、発塵を抑えたクリーンな搬送を実現しました。また磁気の安全性に配慮した構造をしており、搬送物は磁気の影響をほとんど受けません。 【特長】 ■低発塵 マグネットの磁力を利用して非接触でローラを駆動するため、発塵を抑えたクリーンな搬送が実現しました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

非接触マグネット駆動コンベヤ マグドライブ CLAM：三機工業

駆動部からの発塵を抑え、メンテナンスフリーを実現。しかも非接触マグネッ…

マグドライブCLAMは非接触マグネット駆動のクリーンコンベヤです。 ・非接触駆動とギア駆動の採用により、発塵を抑制するとともに、メンテナンスフリーを実現しました ・コンパクトなドライブとフレーム（厚さ60mm）、搬送面の最低高さ115mm ・低速でも高速でも確実な安全搬送を維持します ・自動機への投入・払出しに適したアキュムレート機能を装備しています（CLAM） ・ステンレスローラ駆動タ...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

非接触光学式形状測定機　Smart_Projector

大きな画角まで瞬時に測定 自動測定対応で、ロボット搬送対応済み

高精度に大きな面積を測定できるようにした製品から、時計のパーツを測定する小型高精度まで製品ラインナップをそろえて、簡単に製品寸法を測定することが可能です。...高精度なカメラと、平行光、拡散光と選択可能な照明を使用して輪郭形状を測定します。 大変簡単に操作ができるM3ソフトウェアを搭載して、自動認識機能も搭載しています。 自動化にも対応済みで、オプションの外部コントロールとのインターフェースで...

メーカー・取り扱い企業： 環境エネルギー株式会社

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

を提供しています。 基板を効率良く収納できる「アルポリケース」をはじめ、 クラス100以下の清浄度を保持する「クリーンケース」、 ガラス基板を非接触で搬送できる「第6世代からの大型基板非接触搬送ケース」など、 用途に合わせて多数のラインアップから選べるほか、オーダーメイドにも対応。 さらにケースの製作から点検・修理・保管・輸送まで トータルにサポートする「ケース管理システム」...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

雨・段差・傾斜など悪路に強い無人搬送車『KKS製AGV』

生産工場のライン間搬送、物流倉庫の製品・台車運搬だけでなく、屋外搬送な…

雨・段差・傾斜など悪路に強く、 用途に合わせて様々なカスタマイズが可能。 ◇代表機種 ・V1000-H（搬送可能質量1000kg） 　ニーズに合わせて安価な磁気誘導方式、誘導テープの要らないレーザー誘導方式、 　双方のメリットを活かしたハイブリッド制御方式から適した方式を選択可能。 　非接触充電装置を搭載し、安全・全自動の高速充電ができるだけでなく、 　リチウムイオンバッテリーを採用し、長寿命...

メーカー・取り扱い企業： 因幡電機産業株式会社 産機カンパニー

天井搬送、自動搬送、無人搬送、スペース有効活用をご検討の方！

【納入事例集を進呈中！】天井空間を有効活用し省スペースでレイアウト自由…

【オートランバンガード】 モノレール式の高速自動搬送システムです。 天井を走行し、人やコンベヤや加工機などの地上設備に囚われない最短ルートでの工程間搬送を実現します。 最高220m/分の高速走行で、高速な搬送を実現します。 ハンガ部分はお客様のご要望に沿って設計するため、様々な搬送物に対応することが可能です。 食品工場、クリーン工場、自動車工場など、多種多様な業界に幅広い納入実績がござい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社椿本マシナリー

最大運搬重量60kgと大容量な搬送ロボット Hola Bot

工場内の運搬作業の自動化に好適な自動搬送ロボット！IPX5防水内部キャ…

HolaBotは大容量タイプの自動搬送ロボットです。 工場内で人手を必要とする運搬作業を自動化することで、省人化・効率化を実現します。 障害物が発生した場合には0.5秒以内に停止できる3D障害物回避技術により高い安全性を確保します。 ■特長 ・60kgの積載重量、120Lの容量 ・いつでもロボットを呼び出して作業をロボットに割り当てることができる呼び出し機能 ・非接触で操作可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アフレル 東京支社

微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。 　　　　　 　　 搬送...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェハー搬送システム『プロトスキャリア』

半導体ウェハーをコンパクトに梱包。薄ウェハーも安全に搬送可能。ANSI…

ており、ANSI／ESD S541規格にも対応しています。 テストウェハーなどの小LOTからお客様のウェハー搬送をお手伝い致します。 3Ds-ICやレンズ実装などウェハーの表面に触れない非接触搬送や、 フィルムフレーム付ウェハーの搬送、GaN、化合物ウェハーの搬送など、 ウェハー搬送にお困りの際はぜひご相談下さい。 【特長】 ■薄ウェハーも安全に搬送可能 ■スペーサーは両面...

メーカー・取り扱い企業： アキレス株式会社 工業資材販売部

化合物半導体ウエハ用非接触搬送装置「ＳＡＧ（ＩｎＰ）型」

化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウ…

◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ ・Φ２～４ｉｎ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」の理論解析

気体垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」を理…

非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」理論計算式 本計算式は（有）ソーラーリサーチ研究所で開発した非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ-Ｃ型」（特許）の理論計算式である。 「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」の概要を以下に示します。また、仮定として（１）部材との隙間は「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」のパッド半径に比べ非常に小さいとする。従って、流れは一次元流れで近似できるとする。(２)ノズルOから...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウエハチップ非接触搬送装置

微小ウエハチップ、微小レンズを非接触にて搬送する。

非接触である。 微小なワークを非接触にて搬送可能。 傷、汚れの付着がない。 損傷がない。...微小ウエハチップ（１mm〜20mm角）、微小レンズを気体を噴出することにより非接触にて吸引保持し搬送するロボットハンド。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

次世代クリーン化技術！超音波 非接触 浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

50μm厚超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型

50μm厚の超薄型ガラス基板を非接触にて搬送する 非接触搬送装置「5…

「５０μm厚　超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」の非接触吸引機構は非接触搬送装置は空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。 　気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気流は直角方向に変流され、直接超薄型ガラスに衝...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果に...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

基板搬送ケース 　GHB-6755

LCD（＝液晶ディスプレイ）・OLED（＝有機EL）用　基板搬送ケース…

振動テスト・衝撃テスト・落下テスト・結露テスト・トラック輸送テストを 実施しお客様から信頼と、高い評価得ているアルポリケースGHB-6755 ■□■特徴■□■ ■修理可能なため、半永久的に使用できる ■環境に優しい（エコマーク取得が可能） ■結露しにくい ■大型基板搬送ケース対応（G8まで非接触対応） ■寸法精度・耐振動性・耐剛性に優れ自動化に対応 ■帯電しにくい ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

ガラス基板非接触搬送システム

ガラス基板を非接触にて搬送システム

半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特に第８世代大型ガラス基板（2200mmｘ2200mm）およびＰＤＰ大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用が検討されている。また排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能である。、保持安定性に優れ、衝撃に強く、ガラス基板にストレスをかけることがない。薄い半導体ウエハの非接触搬送にも多...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

基板搬送用　オールインワンケース（アルポリケース）

基板搬送用　オールインワンケース（アルポリケース）

生産状況に応じた各種基板を効率良く収納できる オールインワンケース ■□■特徴■□■ ■修理可能なため、半永久的に使用できる ■環境に優しい（エコマーク取得が可能） ■結露しにくい ■大型基板搬送ケース対応（G8まで非接触対応） ■寸法精度・耐振動性・耐剛性に優れ自動化に対応 ■帯電しにくい ■ガラスサイズ／Glass size(mm）　1100×1300×t0.7 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

【天井空間の有効活用】無人搬送、クリーン環境対応の高速天井搬送

食品工場、電子部品工場等の工程間搬送で実績多数。ワーク形状を問わない高…

「オートランバンガードMark2」は、モノレール式の高速自動搬送システムです。天井空間を有効活用することで、人や地上設備に囚われない最短ルートでの工程間搬送を実現します。最高220m/分の高速走行で、AGVより高速な搬送を実現します。ハンガ部分はお客様のご要望に沿って設計するため、様々な搬送物に対応することが可能です。食品工場、クリーン工場、自動車工場など、多種多様な業界に幅広い納入実績がございま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社椿本チエイン　マテハン事業部

１０Gガラス基板非接触搬送装置

１０Gガラス基板非接触搬送装置

気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は増加し、負荷発生...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触充電器

ワイヤレス充電ならすべて解決！繋いで置くだけの簡単設置が可能な非接触充…

“バッテリー交換が重労働で肉体的負担が大きい”や“コネクタ断線や ショートのリスクがあり危険を伴う”など、AGVのバッテリー充電で お困りごとはありませんか？ 『非接触充電器』は、「24時間バッテリー交換不要」のワイヤレス充電 システムです。 繋いで置くだけの簡単設置が可能で、AGV（自動搬送車）・搬送ロボットなどに 多数採用されています。 【特長】 ■バッテリー交換不...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トリコ 東京支店

非接触表面抵抗測定器

非接触、オンラインでシート抵抗測定が可能！最大20mmのギャップで測定…

NAGY社の非接触表面抵抗測定器は、非接触、オンラインにてシート抵抗測定が可能です。渦電流磁界を用いた非接触式シート抵抗測定器で、非接触、オンラインにて非導電性基板上の導電膜を測定可能です。ITO等の透明電極や金属膜成膜プロセスのオンラインモニタリングに最適。既存成膜装置、搬送ラインへの組込が可能です。また、多様なアプリケーションに対応可能で、最大23mmの開口部により様々な基板（ガラス、プラスチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

　ノズルより噴出する高速空気流が直接ソーラーセルに衝突しないようなノズルを装着し、高速の噴出空気流により薄い、脆いソーラーセルの破損、損傷を防いぐ機構になっております。 　また「太陽電池ウエハ非接触搬送装置」　 　は使用空気量が少なく、効率が良い。　　　　　　　　　また排気流を周囲に排出しない構造ですので環境を汚しません。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

重量物非接触搬送装置「フロートチャックSA-5C(SAN)型」

重たいワークでも効率よく非接触搬送可能なベルヌーイチャック

　重量物非接触搬送装置（フロートチャックSA-５C(SAN)型）は、新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

スルーホール基板搬送装置「フロートチャックＬＮＡーＳ型」

グリーンシート・スルーホール基板・通気性シート・不織布を非接触にて搬送…

非接触搬送装置である「フロートチャックＬＮＡ－Ｓ型」は、空気を噴出することにより、セラミックグリーンシート・スルーホール基板・不織布・通気性シートを非接触にて懸垂保持し、搬送します。 非接触搬送装置「フロートチャックＬＮＡ－Ｓ型」は、ノズルより噴出する高速空気流が直接ワークに衝突しない機構のノズルを装着し、高速の噴出空気流により120μm厚さの薄い、脆いグリーンシート、厚さ５０μm超薄ガラス基板の破損...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

レンズ・球を非接触にて搬送する「フロートチャックLE型」

レンズ・球を非接触にてチャックし搬送するベルヌーイチャック「フロートチ…

気を噴出することによりレンズ・球を空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持し搬送します。 　このためレンズ表面に傷を付けたり汚したりすることが無く、また発塵を防止いたします。 また「レンズ・球非接触搬送装置」には、アジャスタ−が装着されており、これを操作することにより１機種で曲率の異なるレンズを無接触状態にてチャッキングできます。 　このためレンズ曲率により機種を取り替える必要がなく、生産性...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触検査装置リールtoリール型検査システム　「TRV」

非接触検査に最適な非接触検査装置リールtoリール型検査システム

非接触検査装置リールtoリール型検査システム「TRV」は、TAB/COF/TCP/TBGA対応した非接触検査装置リールtoリール型検査システムです。検査ステージが上下して独立して、駆動可能。この機構によって、目標位置に対する正確な位置決めと安定した検査が可能です。2カメラCCDを搭載X・Y・φ軸のの補正が可能で高精度アライメントが可能。また、従来の検査速度を30%UP高速検査・高速搬送を実現しまし...

メーカー・取り扱い企業： オー・エイチ・ティー株式会社

【天井空間の有効活用】自動搬送、クリーン環境対応の天井走行台車

食品工場、電子部品工場等の工程間搬送で実績多数。ワーク形状を問わない高…

「オートランバンガードMark2」は、モノレール式の高速天井搬送システムです。天井を走行し、人や地上設備に囚われない最短ルートでの工程間搬送を実現します。最高220m/分の高速走行で、AGVより高速な搬送を実現します。ハンガ部分はお客様のご要望に沿って設計するため、様々な搬送物に対応することが可能です。食品工場、クリーン工場、自動車工場など、多種多様な業界に幅広い納入実績がございます。 ■天...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社椿本チエイン　マテハン事業部

非接触充電器

AGV(自動搬送車)・搬送ロボットなどに多数採用！ワイヤレス給電

当社では、「非接触充電器」を取り扱っています。 繋いで置くだけの簡単設置。24時間バッテリー交換不要の ワイヤレス充電システム。 バッテリー交換が重労働で負担が大きい、交換中はAGV停止で ロスタイムが発生するなど、AGVのバッテリー充電のお困りごとを ワイヤレス充電ですべて解決できます。 【特長】 ■バッテリー交換不要 ■作業不要、経費削減 ■ロスタイム削減 ■バ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トリコ 東京支店

【天井走行】高速自動搬送、クリーン環境対応の天井走行システム

食品工場、電子部品工場等の工程間搬送で実績多数。ワーク形状を問わない高…

「オートランバンガードMark2」は、モノレール式の高速自動搬送システムです。天井を走行し、人やコンベヤや加工機などの地上設備に囚われない最短ルートでの工程間搬送を実現します。最高220m/分の高速走行で、AGVより高速な搬送を実現します。ハンガ部分はお客様のご要望に沿って設計するため、様々な搬送物に対応することが可能です。食品工場、クリーン工場、自動車工場など、多種多様な業界に幅広い納入実績がご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社椿本チエイン　マテハン事業部

三機工業　小径駆動ローラコンベア クリーンコンベア

自動機への投入など、アキュムレーションが必要なときに！

クリーンコンベアは、非接触マグネット駆動のクリーン対応CLAMをはじめ、クリーンな環境に対応する小径駆動ローラコンベアです。アキュムレーションが必要な工程間のつなぎにも最適です。 運転しながら搬送物を停止・アキュムレート「アキュムレートタイプ（白色）　CLAA」、「アキュムレートタイプ（黒色）　CLAA-B/BE」、ステンレスローラでクリーンな搬送「駆動ローラタイプ　CLAD」、最小スペースで9...

メーカー・取り扱い企業： トークシステム株式会社

極薄ウエハ非接触搬送装置

厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 す…

TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。 反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。...TAIKOウエハ、極薄いウエハ（２０μm以下）化合物半導体ウエハを曲げ、反りを生じさせることなく、ストレスを生じさせることなく、キズ、汚れを付着させることなく非...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウエハー非接触搬送　ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ

2～12インチウエハー平置き搬送用　空気で包んで優しく運びます。

ベルヌーイチャックは、ベルヌーイの原理を利用し空気を噴出することで、より強力な吸引力を発生します。 搬送物はベルヌーイチャックの表面端の部分を点接触し、回転することも無く、ウエハー中心部分を非接触状態で安定した保持力により搬送できます。 本体部一つで各ウエハーサイズに対応するよう設計しております。 【特徴】 ○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択 ○対応インチの...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社

自動搬送車『AGS』

工場の自動化に貢献！小型でも1トンまでの重量物搬送に対応する自動搬送車

『AGS』は、複数の誘導方式に対応する自動搬送車です。 ニーズに合わせて安価な磁気誘導方式、誘導テープの要らない レーザー誘導方式、双方のメリットを活かしたハイブリッド制御方式から 好適な方式をご提案します。 また非接触充電装置、リフター、コンベア等のオプションにも対応します。 【特長】 ■複数の誘導方式に対応 ■小型でも重量搬送に対応 ■ニーズに合わせた柔軟性 ■2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京機械製作所／株式会社KKS

コンバム(株)（旧：妙徳）【非接触パッド/COPシリーズ】

【ベルヌーイの定理】により非接触搬送を可能に！！

〇ベルヌーイの定理により、ワークを非接触で搬送します。 　ワークに吸着痕、ダメージを与えず搬送できます。 〇凹凸のあるワークも吸着可能です。 　吸着パッドではエアリークにより吸着不可能なワークも吸着可能です。 〇穴の開いたワークの吸着ができます。 　吸着パッドではエアリークにより吸着不可能なワークも吸着可能です。 〇本体材質をステンレスにすることで、洗浄が可能となり常に清潔...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」

気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「…

ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。 ・ウエハ非接触搬送装置 ・ガラス基板非接触搬送装置 ・非接触ピンセット ・太陽電池ウエハ非接触搬送装置 ・ウエハチップ非接触...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触搬送洗浄装置『DNCC-320』

0.5t以下の薄板軽量基板の搬送も可能！皮脂の指紋やガラスカレット、油…

『DNCC-320』は、ガラス基板を流体で浮上移動させながら、 洗浄からリンス、乾燥処理まで行う洗浄装置です。 本来洗浄媒体である純水等で浮上させ且つ洗浄し、 垂直端面だけで駆動制御させ、川幅方面のサイズ変更も可能です。 従来のローラー搬送の様なスリップ等によるキズがガラス面に付かず ガラス全面に洗浄液が均一に接触流水しスプレー洗浄の様なムラがありません。 【特長】 ■ガ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学

半自動等倍露光装置（セミオートマスクアライナー）

簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。搬送ユニット搭載の半自…

当製品は、半自動一括等倍露光マスクアライメント装置です。 基板を1枚毎にセットし、 基板セット後，搬送～露光を自動で行う装置です。 フォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行います。 従来の手動でギャップ調整を行うという煩雑な作業が一切不要です． また，超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

アモルファス太陽電池搬送装置

アモルファス太陽電池搬送装置

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所