【無償】液体テスト＆分析サービス！高精度フィルターFILSTAR

PR液中の粉体・固形物等の回収にお困りのお客様必見！高精度フィルターの性能…

フィルターのいらないフィルターのご紹介！消耗品フィルターは不要のため産業廃棄物をゼロにします。 ―5月末まで！無償液体テスト・分析サービス特別実施中― ■内容：お客様から液をお預かりし、2週間以内にフィルターのろ過結果をご報告！ ■対象：どのような液体も、弊社にご相談ください。迅速にご対応させていただきます。 ■特典：先着10社様には固液分離に関するコンサルティングをプレゼント (お客様がお持...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社industria

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄機（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄機！安全・簡単乾燥を…

「eco洗＋easy洗」を実現するe-クリーン「2液1槽式洗浄装置」 HC溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でHC溶剤をリンス。 HFE溶剤は速乾性がある為、簡単に乾燥し、回収可能。 【特徴】 ○加工油の汚れと加工時に発生した切粉をHC溶剤洗浄で...

メーカー・取り扱い企業： 大川興産株式会社

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

硫化水素対策向けフッ素樹脂塗料F-200SI、F-3000

温泉地や水処理場、畜産、再生紙工場等で発生している硫化水素への腐食対策…

フッ素樹脂塗料のジェットプロテクターF-200SI（1液型スプレータイプ）、F-3000（2液硬化型塗料タイプ）は、硫化水素ガスでお困りな温泉地や水処理場、畜産、再生紙工場等での様々な機器類の金属部の腐食対策で採用されている製品になります。 特に塗装時の密着が難しい非鉄金属（銅、真鍮、黄銅...

メーカー・取り扱い企業： 太平化成株式会社

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

多目的処理装置（スピンエッチャー）

温度管理、廃液選択機能が搭載！多目的処理装置

温度管理、廃液選択と様々な機能を付加可能(写真はテフロン+PVCボディー) =============================================== ＜仕　様＞ ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ エッチング液…酸、アルカリタイプ オプション…廃液選択２〜４液、薬液用ノズル等 電源…AC100v or 200v CDA…0.5MPA.以上 DIW.…0.2M...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

0.2ｔ薄板ガラス洗浄装置

0.2ｔ薄板ガラス洗浄装置

【工程】投入-液切-薬洗ブラシ-液切-純水シャワー×2-直純水-エアーナイフ-取出し 高精度クリーンエアーナイフシステムの採用により、水滴残りやしみの無い最適の液切り状態を実現します。...◆0.2tのガラスのロールブラシによる洗浄が可能 ◆独自のエアーナイフ機構により薄板の液切りが可能 ◆超大型基板、超薄型基板にも対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度の...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

SUSS MicroTec社製インクジェット塗布装置『LP50』

半導体、PCB、プリンテッドエレクトロニクス向け、卓上型インクジェット…

SUSS MicroTec社製の卓上型インクジェット塗布装置『LP50』は、目的に応じて 柔軟にプリントヘッドを選定できるよう設計された多機能で高精度な製品です。 （Fujifilm、KonicaMinolta、Xaar、Canon製ヘッドに対応しています） エポキシ樹脂、ポリイミド、アクリル樹脂やUV硬化樹脂等のダイレクト塗布、 ウェハへのレジストやパッシベーション膜の塗布、AgやC...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

計装、一般配管用プラグバルブ　『PLVシリーズ』

ステンレス316製、高性能コンパクトワンピースプラグバルブPLVシリー…

PLVシリーズは、計装用および一般用途に適した１ピースプラグバルブで、シンプル構造で低コストを実現した高信頼なバルブです。 ＜特長＞ ・低圧、高圧での使用が可能 ・高ライフサイクルで幅広い温度範囲で使用できる設計 ・接液部はPTFEコーティングされており高信頼性を実現 ・O リングはFKM（標準）、ブナN、EPDM、ポリクロロプレンから選択可能で様々な用途での使用が可能 ・スロット...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

積層薄膜作製装置

多層塗りによる厚膜の作製！スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置

『積層薄膜作製装置』は、化学溶液法による積層薄膜作製プロセスである、 スピンコーティング、乾燥、焼成、冷却の各工程の繰り返しをロボットを 用いて行い、多層塗りによる厚膜の作製を自動で行う装置です。 コンピュータコントロールによるプログラム設定により、スピンコーティング、 乾燥、焼成、冷却の各工程の詳細な条件設定並びに、工程の省略、 工程フローの変更、工程の保存が任意に出来るプログラム...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置

■最新型のUDSスピンプロセッサーをリコメンドします。 　◎弊社内では、「OLD」システムの位置付けです。 　◎《新型》UDSスピンプロセッサーや《新型》Spin Dipプロセッサーを参照下さい。 　◎ミキシング、周速制御等スピン系の各種要素技術の全ては、 　　《新型》のスピンプロセッサーに発展応用させて搭載済みです。 ■SPM、APM、HPM、DHFといったRCA処理に最適。 ■塩化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

2020版 薄膜作製応用ハンドブック

｢21世紀版薄膜作製応用ハンドブック｣から17年、基礎を押さえつつ、新…

■目次 第1編 薄膜材料の特性と特徴 　1章 薄膜の特徴と特性 　2章 薄膜材料の電気特性 　3章 薄膜材料の誘電特性 　4章 薄膜材料の固液界面特性 　5章 薄膜材料の磁気特性 　6章 薄膜材料の光学特性 　7章 薄膜材料の力学特性 　8章 薄膜材料の化学特性 第2編 薄膜の作製と加工 　1章 基板と表面処理 　2章 PVD法 　3章 CVD法 　4章 液相薄膜堆積法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス

石英ガラス管インラインヒーター（ケミカルヒーター）

石英ガラス製のジャケットとハロゲンランプ熱源のインラインヒーター（ケミ…

お客様のご要望・仕様に合わせて設計・製作致しますので、一度お問い合わせ下さい。 ...1.クリーン：接液、外管を石英ガラスで構成 2.安全性：テフロン（耐酸、耐熱）設計 3.有効性：省スペース化、液量の少量化 4.熱源：ハロゲンランプヒーターによる赤外線光エネルギー 5.筐体：メンテナンスが容易なコンパクトサイズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大興製作所 事業統括本部

基板制作装置　スプレー式小型エッチング装置

まだ手動ですか？卓上サイズで試験・実験に適した『スプレー式小型エッチン…

『スプレー型小型エッチング装置』は、プリント基板などのエッチング処理や、現像処理をする卓上サイズの基板制作装置です。 エッチング液（塩化第二鉄）の化学反応を使って、銅箔を回路パターン通りにエッチング（化学腐食、蝕刻）加工をします。 手動でやっている作業をスプレー型小型エッチング装置に置き換えれば、 再現性も高まり、作業効率も向上！ フィルムへのプリント時のエッチングにも使用されたこ...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

シリコンウェハ用めっき実験装置セット

2～12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。

電流密度分布とめっき液の循環を考慮した特殊な水槽と治具で構成されています。専用の治具を使用することで、半導体・MEMSの精密なめっきが行なえます。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造で、1面オーバーフロータイプと、高速撹拌が可能になった2面オーバーフロータイプがあります。直接の撹拌にはパドル撹拌を利用します。 ウェハ用めっき装置として20年の実績があ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山本鍍金試験器

枚葉自動スピン剥離装置

本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能

カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。...【特徴】 ■装置寸法 　 2000W×1200D×2000H　(200WCBT) 　 2000W×1500D×2000H　(300WCBT) ■ワークサイズ 　ウェハー　φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

水性帯電防止塗料『エレアース アクア EAQ』

圧倒的な透明性で帯電防止性能を発揮、しかも水性！

水のように透明。水のように地球にやさしい。 「エレアース アクア EAQ」は抜群に高い全光線透過率と低いヘイズ値をもつ水性の帯電防止塗料です。素材の美しさをそのままに、持続性の高い帯電防止効果を発揮します。 最終製品に「ESD対策」という付加価値を付与し「環境サステナビリティ」の高いクリーンで安全な未来を開拓することに貢献します。 【特長】 1. 帯電防止機能と優れた透明性 帯電防止...

メーカー・取り扱い企業： 江戸川合成株式会社

e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄装置（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄装置で、安全で、簡単…

「eco洗＋easy洗」を実現するe-クリーン「2液1槽式洗浄装置」 HC溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でHC溶剤をリンス。 HFE溶剤は速乾性がある為、簡単に乾燥し、回収可能。 【特徴】 ○加工油の汚れと加工時に発生した切粉をHC溶剤洗浄で...

メーカー・取り扱い企業： 大川興産株式会社

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・1チャンバー完結　完全枚葉処理 ・パドル処理、低速回...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

Alダメージレス絶縁膜エッチング液

Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。 …

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ Al、Al合金を腐食しません。 ・ 良好な順テーパーを形成します。 ・ ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。 ・Pure Etch 160（ AlダメージレスSiエッチング液）の前処理液としても使用可能です。 キーワード：ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜...　...

メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部

リチウムイオン　電解液　注液実験機　大型電池用

リチウムイオン　電解液　注液実験機　大型電池用

i-ion（リチウムイオン）、Ni-MH（ニッケル水素）電池用の各種生産設備および実験装置の設計製作いたします。 円筒型、角型、ラミネートタイプ各種対応します。 工程によっては、デモ機・実験機がありますのでお気軽にお問い合わせください。...定置用や動力用などの大型リチウムイオン電池等へ電解液を注液する実験機 真空注液により注液時間短縮可能です プランジャーポンプ方式で正確な注液ができ...

メーカー・取り扱い企業： 長野オートメーション株式会社

高精度・高速回転スピンコーター『ACT-300A II-HS』

MAX12000rpm！高精度な高速回転スピンコート機ACT-300A…

『ACT-300A II-HS』は、MAX12,000±2rpmの高精度・高速回転が可能な卓上スピンコーターです。 粘性が高いスピンコート液や揮発しやすいスピンコート液で高速回転で速やかに液を塗り拡げたいなど、標準機の回転数では足りない場合には、是非高速回転をご検討ください。 こちらをベースにした特注（オプション追加）も承れますので、お気軽にお問い合わせください。 1ステップの動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？ ・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離 ・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離 また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。 この他にレジスト、ポリマー、 マスクの洗浄装置としても使用で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置 ○チャンバー内の雰囲気をコントロー...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社