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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…
フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約11万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 ・非接触で下記が測定できます。 ☆不透明体の厚みマッピング...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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ワーク材質や膜種、膜厚から、弊社がご提案する技術や加工例をご紹介!
ディスプレイなど『モバイル端末』『ウェアラブル機器』『オートモーティブ』など多様な分野で活用されています。 また、多様なプロセス・膜厚・膜種で1nm~1000nmの成膜を実現。 蒸着方式やCVD方式、ALD方式、スパッタ方式でコーティングしています。 【特長】 ■ALDロボットCVA series ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能 ■バレル型ALDロ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブコーティングス
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熱・冷間鍛造、焼結鍛造、精密プレス成形用金型なら当社にお任せください
選定まで対応。 また、加工技術では、高スキル保有のオペレーターが先進の設備を 駆使し、複雑・高精度金型を超高速で製作いたします。 【特長】 ■超硬合金製ピニオン成形金型を直彫 ■CVDコーティング金型を高精度化 ■超短納期金型対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アスデックス
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液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカ…
『連続プロセス』で工法の違うプロセスもワンストップで対応可能。 生産工程を飛躍的に向上させます! 多様なプロセス・膜種・膜厚が可能 ■ドライ ・スパッタ ・蒸着 ・CVD ・ALD ・DLC ■ウェット ・ディップ ・スプレー ・印刷、転写 ・ダイコーター ・ディスペンサー 装置開発だけでなく、プロセス開発・装置調整、最適な冶具...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブコーティングス
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低コスト化と生産性向上の最適なソリューションをご提案!
【金型向けコーティングラインアップ】 ■PVD ・膜種:Ionbond 90 Concept ■PVD ・膜種:Ionbond 35 CrWN ■PACVD ・膜種:Ionbond 42 Cr+CrN+a-C:H ■CVD ・膜種:Bernex 29 AI2O3 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社IHI Ionbond JAPAN 横浜エンジニアリングセンター(1・2号館)
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新鋭の測定技術と実績ある加工技術で高度な要望に応える半導体製品をご提供…
当社では、高耐熱、高純度、パーティクル対策などの要求にこたえる CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等の サーマルプロセス用製品を取り扱っております。 大型化要求に対しては、φ1000mmを超えるチューブやフランジ等の 大口径石英ガラス部材...
メーカー・取り扱い企業: 東ソー・クォーツ株式会社
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細くて深い溝にも綺麗に成膜できる!新しいMEMS受託加工サービスのご紹…
従来のCVD法で生じた成膜のムラをALD法を使って解消しませんか。 ALD(Atomic Layer Deposition)では原子レベルで一層ずつ成膜するため、細く深い溝にも緻密に成膜することが可能です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン
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短納期対応でご希望の真空装置を設計製作いたします!
《低コスト》 ①必要な仕様に対応する適切な設計によるコスト低減 ※真空装置でご希望、または構想図面などございましたら 下記までお問い合わせください。 【製作事例】 プラズマCVD実験装置 MOCVD装置 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コスモ・サイエンス
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平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます!ご希望の成膜箇所をお聞…
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工(コーティングサービス)を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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小型フロートスイッチ『FCシリーズ』
耐熱温度は80℃から120℃対応の製品を用意!通販サイトでの購…
株式会社木村製作所