フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

CVD-SiC（化学蒸着法）「SiC製品」

SiC成膜技術で未来をひらく！独自の化学蒸着法で製作されたSiC製品

独自の CVD - SiC（ 化学蒸着法）で製作されたアドマップの SiC 製品は、 超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えています。 半導体をはじめ、産業機械、原子力、航空宇...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

CVD-SiC（化学蒸着法）「SiC各種物性値」

SiC製品の代表特性値、不純物濃度など各種物性値を紹介！

三井造船で培った独自のCVD-SiCで製作されたアドマップのSiC製品は、 超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、 あらゆるフィールドで使用されております。 【不純物拡散係数（cm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

CVD-SiC（化学蒸着法）「膜単体製造技術」

厳しい環境下で多数の実績！適応可能が幅広い膜単体製造技術

はじめ、複雑形状まで幅広く適応可能です。 半導体製造装置を中心に、超高温やプラズマの厳しい環境下での数多くの実績があります。 【製造工程(例)】 １．黒鉛基材を円板状に加工 ２．全面にCVD-SiCコーティング ３．外周加工により基材を露出 ４．高温酸化雰囲気中で基材除去 ５．2枚の膜単体円板となる ６．研削/研磨・面取り・洗浄・検査 詳しくはお問い合わせ、またはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

CVD-SiC（化学蒸着法）「ソリューション」

ベストソリューションを提供！独自技術を中心としたソリューション

独自のCVD-SiC技術を中心に、 分析力・解析力・設計力を掛け合わせ、構想の初期段階から参画し、 ベストソリューションを提供いたします。 【提案例】 ○超高温アニール装置用大型部材開発（ボート、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

高純度　シリカガラス製品

半導体製造プロセスに不可欠な高純度シリカガラス製品

半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に強く 活性ガスとの化学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品 【特徴】 ○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適 ○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ 　・オーバーフロー槽 　 　薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、 　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

「SiCとは？」

半導体、産業機械、原子力、航空宇宙分野に最適！高性能な化合物“SiC”

【アドマップのSiC】 ○アドマップではCVD法でSiCを製造している ○CVD法によるSiCは緻密で高純度であるという特徴がある ○アドマップが提供するのはβ-SiCと呼ばれる3C構造のSiC →3C以外はすべてα-SiCに分類される...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

CVD-SiC（化学蒸着法）「SiC製品」

SiC成膜技術で未来をひらく！独自の化学蒸着法で製作されたSiC製品

独自の CVD - SiC（ 化学蒸着法）で製作されたアドマップの SiC 製品は、 超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えています。 半導体をはじめ、産業機械、原子力、航空宇...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

CVD-SiC（化学蒸着法）「SiC技術」

優れた純度！耐食性・耐酸化性・耐熱性・耐摩耗性が高いSiC

三井造船で培った独自のCVD-SiCで製作されたアドマップのSiC製品は、 超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、 あらゆるフィールドで使用されております。 【特徴】 ○超高純度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

CVD-SiC（化学蒸着法）「コーティング技術」

緻密な製品を提供！適応可能が幅広いコーティング技術

等方性高純度黒鉛および各種焼結SiC基材に、高純度で均質性に優れたコーティングを提供いたします。 半導体をはじめ、産業機械、原子力、航空宇宙分野での高い評価を得ております。 【特徴】 ○超高純度 ○高耐食性 ○高耐酸化性 ○高耐熱性 ○高耐摩耗性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【技術と製品】 ○SiC技術 ○コーティング技術 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス