FS | イプロスものづくり

PR驚異の縦振幅を実現し、解砕・分散分級！超音波発生装置が不要で、微粉・油…

「粉体が目詰まりしてしまう...」「振動で解砕も同時にできれば目詰まりしないのに...」「超音波発生装置は高いし...」こんなお困りごとはございませんか？『FSハイシフター』は波動運動によりスクリーン上の材料が激しく跳ね上げられスクリーンに衝突、材料の凝集は解砕・分散され分級効果が増大しますナイロン網による分級の為、ランニングコストが低減！網たたきも不要な事からコンタミのリスクを低...

メーカー・取り扱い企業：日東機器ファインテック株式会社

呼び出しベルのIot 【SMA-Tera スマテラ】ログ収集可能

PR【必見】4/10~名古屋ものづくりワールド出展！アンドンの呼出し状況…

呼び出しベル『スマジオ』に専用接続機器を繋ぎ、呼出し状況や回数をクラウド管理し、確認・分析することが可能になりました。面倒なLAN接続や、細かい設定などは一切不要。専用機器からの現場Wi-fi接続をすることで、全ての送信機の送信状況を閲覧できるようになります。＊＊＊呼び出しベルを導入していてこんなご要望ありませんか？＊＊＊ ■日に何回呼び出しがあったか確認したい。 ■どの呼び出しベルが多く...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイコール

1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時）ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：ク...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

ロングスケールステージ FS-3000/2000シリーズ

【精密位置決め装置】ロングストロークで高分解能・高い位置決め再現性・位…

光学式リニアスケールを搭載して検出誤差を少なくした高分解能ロングストローク位置決めステージです。『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 200mm 』『 300mm 』『 400mm』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

Z軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z

【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現…

光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバー内で使用可能です。リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-3200X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。スローダウンセンサを搭載しており、ストローク...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

微小回転用フィードバックステージ FS-1120θ

【精密位置決め装置】『0.00005°』又は『0.0001°』のフィー…

光学式エンコーダを内蔵したストローク『±4°』の微少回転用位置決めステージです。最小ステップ送り『0.00005°』(*1)又は『0.0001°』(*2)でフィードバック制御が可能となっております。自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-401との組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-111

100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで…

型式：FC-111 接続対象ステージ：FS-10□0Xシリーズ、FS-1100X、FS-3150X、FS-1005Z、FS-1010Z、FS-10□0X(V)シリーズ、FS-1100X(V)、FS-1005Z(V)、FS-1010Z(V) ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージコントローラ　FC-511

10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！

型式：FC-511 接続対象ステージ：FS-10□0PXシリーズ、FS-1100PX、FS-3150PX、FS-1005PZ、FS-1010PZ、FS-10□0PX(V)シリーズ、FS-1100PX(V)、FS-1005PZ(V)、FS-1...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージコントローラ　FC-911

1nm分解能で位置決めステージを制御！

型式：FC-911 接続対象ステージ：FS-10□０UPX シリーズ、FS-10□0SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ、ステージ制御軸数：2 最小指令単位：1nm インポジション範囲：±1nm（±3nm、±...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

長ストロークに対応！精密位置決め装置

長距離（150mm）を細かく位置決め可能！『精密位置決め装置（分解能：…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。長ストローク（150mm）を細かく（10nm単位※）位置決め可能。ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性を位置決め後の位置保持性を備えております。 ※フィードバック...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

スリム型100nm分解能ステージ（50mm）

エンコーダ内蔵！高分解能位置決めステージ

型式：FS-1050X(S) ストローク：50 mm 専用コントローラ使用時分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値）再現性：±200nmまたは±100nm（内蔵スケール読み値） ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

特注例 X軸・XY軸ステージ（透過穴追加）

ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ

ねじ、リニアスケール内蔵 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○分解能：5nm / 10nm / 50nm / 100nm ○ストローク：30mm（※画像のステージ「FS-1030X」の場合） ※その他の仕様はお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージ昇降タイプ

真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能のZ軸用位置…

光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィー...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージ 100mm動作

真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めス…

内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって「50nm」または「100nm」になります。 ...最小分解能：50nm（FC-411使用時）　　　　　：100nm（FC-...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　50mm動作

【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…

真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　微小回転タイプ

【真空対応】最小分解能0.00001°で±4°動作できるエンコーダ内蔵…

光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能微小回転ステージです。 0.00001°分解能でストロークは±4° アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。回転方向の調整用に適しています。 ...○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：±4° ○繰返し位置決め精度：±0.00002...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージ微小回転タイプ

真空中で使用可能！回転方向調整用ステージ　

光学式リニアエンコーダを内蔵しており、ステージの可動部分の位置を検出することができるため、その位置情報をもとにコントローラが降るクローズドループ制御を行うため位置の再現性に優れています。分解能はコントローラによって「0.00005」または「0.0001」分解能で動作させることができます。アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。...最小分解能：0.00005°（...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

40mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。高トルクタイプはFS-1040SPX(MD) 高速度タイプはFS-1040UPX となっております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラF...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

20mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。高トルクタイプはFS-1020SPX(MD) 高速度タイプはFS-1020UPX となっております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。高トルクタイプはFS-1050SPX(MD) 高速度タイプはFS-1050UPX となっております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY

【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています。フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。 FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。ストロ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ.....

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY

【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております。動作範囲が長いため移動と位置決めがこのステージ1台で行えます。 (*1)フィードバックステージコントローラF...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY

【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)

[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等の特徴を備えています。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ

【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置…

光学式リニアエンコーダを内蔵した高分解能Z軸用位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えて...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1020X/XY

【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラF...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1100X/XY

【100mmストローク】ロングストロークかつ高分解能な位置決めステージ

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。エンコーダで位置を検出してフィードバック制御を行っているため分解能・位置再現性・位置保持性に優れています。フィードバックステージコントローラFC-411と組み合わせた場合は『50nm』、FC-111と組み合わせた場合には『100nm』分解能で動作し、ストローク範囲は『100mm』となって...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...最...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-3150X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...最小分解能：10nm 最大移...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が１台でできます。自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等な特徴を備えています。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボール...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-411

50nm分解能で位置決め！フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…

型式：FC-411 接続対象ステージ：FS-10□0Xシリーズ、FS-1100X、FS-3150X、FS-1005Z、FS-1010Z、FS-1120θ、真空対応品：FS-10□0X(V)シリーズ、FS-1100X(V)、FS-1005Z(...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-3200X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-414

50nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ

型式：FC-414 接続対象ステージ：FS-3200X、FS-3300X、FS-3400X、FS-2200X、FS-2300X、FS-2400XとFC-411と同様のステージ制御軸数：2 最小指令単位：50nm インポジション範囲：...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-114

100nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ

型式：FC-114 接続対象ステージ：FS-3200X、FS-3300X、FS-3400X、FS-2200X、FS-2300X、FS-2400XとFC-111と同様のステージ制御軸数：2 最小指令単位：100nm インポジション範囲...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージコントローラ　FC-611

検査や研究を効率化！5nm分解能で位置決め制御ができます。

型式：FC-611 接続対象ステージ：FS-10□0SPXシリーズ、FS-10□0SPX(V)シリーズ制御軸数：2 最小指令単位：5nm インポジション範囲：±5nm（±15nm、±35nm 選択可）最大動作速度設定：30mm/...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

スリム型100nm分解能ステージ（40mm）

エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ

型式：FS-1040X(S) 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値）再現性：±200nmまたは±100nm（内蔵スケール読み値）ストローク：40 mm 最高移動速度：10 mm...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ昇降タイプ

【真空対応】リニアエンコーダ内蔵で10nm分解能のZ軸用位置決めステー…

光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 10nm分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を用意。アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。テーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えており...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社