ブルーレーザー搭載最新金属3Dプリンター、Meltio M600

PR先行機種と比較し造形面積が約4倍になり、またブルーレーザーを用いること…

Meltio M600は、先行機種のMeltio M450と比較し造形面積が約4倍になり、鍛造品相当の強度をもつ、より大きな金属部品を造形できます。またホットワイヤー対応に加え新たにブルーレーザーが搭載されたことで、使用できる材料が増えるだけでなく、造形速度がより速くなりました。 さらに、Meltio M600はMeltio M450と比較し造形開始に必要な準備時間が3分の1に短縮されています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社3D Printing Corporation

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ダイソータ・テストハンドラ『LT-evo』

テスト、6面外観検査、レーザーマーキング、テーピングの一貫機

『LT-evo』は、世界最高クラスの速さを誇るダイソータ・テストハンドラです。 70,000UPH（1時間に7万個）の生産性と、超小型製品（0.4mm×0.2mm）の ダメージレス搬送（特許技術）...

メーカー・取り扱い企業： 上野精機株式会社

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ4”　厚みについては応相...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

真空対応ピエゾステージ

高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ

）および、ECCI / EBSD / トモグラフィーのようにサンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーション向けの5軸ステージ（E5AT）の2種類のラインナップがあります。 LTシリーズは、最小33mm角と非常に小型で、電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置、低温装置など狭スペースへの設置が可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムースな動作で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、InP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績も多数あります！ 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【特長】 ■スピンプロセスによる膜厚分布の高均一性 ■2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。 ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

『ファイバー素線 研磨機』

各種ファイバに対応可能！自由な角度制御によるベアファイバ研磨！

『ファイバー素線 研磨機』は、自由な角度制御による ベアファイバ研磨を実現した研磨機です。 リアルタイムでのビデオモニタリング(Trig LT)対応。 生産ライン用途、R&D用途にも対応可能です。 インライン検査による加工時間の短縮も実現。 そのほか、当製品のアップグレードオプションや、 ファイバー素線形状加工ワークステーショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティー・イー・エム

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

布後に高温ベーク可能！ その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド（PI）、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます！ シリコン（Si）、サファイア、セラミック、LT、GaAs、InP、GaN、SiC、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板もご安心くださ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

イオンビームトリミング装置『scia Trim 200』

メカニカルクランプ又は静電チャック対応！サブナノメーターエッチング機構

【アプリケーション】 ■SAW、BAWフィルター向け周波数又は膜厚制御 ■SOI、クオーツ、LT/LTや貼り合せ基板の厚さ制御 ■TFH向け段差及び膜厚制御 ■MEMS用形状補正 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

レーザー加工機　『カスタマイズ可』『サンプル加工無償実施』

お客様の要望に合わせたレーザー発振器を選択し、さまざまなレーザー加工用…

IR、SHG、THG、FHG　パルス幅：ナノ秒・ピコ秒・フェムト秒(超短パルスレーザ)　 ◎対象材料　Al2O3(アルミナセラミックス、窒化アルミ)、Si(シリコン)、SiC(炭化珪素)、 LT(リチウムタンタレイト)/LN(リチウムナイオベイト)、GaN(窒化ガリウム)、各種ガラス、ポリイミド、ペットなど ◎加工事例　スクライブ(溝堀)、切断、穴あけ、トリミング、リフトオフ ...

メーカー・取り扱い企業： 西進商事株式会社

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…

Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績も多数あります！ 【特長】 ■段取り替え不要で、2サイズウエハ処理可能。 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ICPプラズマエッチング装置『SERIO』

平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！

　※量産用　マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板：～φ8インチウェハ形状品（矩形基板対応可能） ■対応基板：Si、石英、セラミックス（アルミナ、AlTiC等）ガラス、 　　　　　　圧電体（LT，LN）等 ■エッチング対象：基板Si、石英、 　　　　　　　　　各膜種 Si系(SiO2、SiN)・有機膜　等 ■対象プロセス：Si深掘り、SiN犠牲層形成、各種薄膜エッチング等 ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置

PM処理時は基板直上で新液の硫酸と過水の混合ミキシング⇒ヒーター不要 　◎APM処理時はDIWを直水過熱後、NH4OHとH2O2を其処にミキシング ■Si、SiC、GaN、サファイア、GaAs、LT等の処理に最適 ■丸形状基板は勿論、Crマスク等の角形状にも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ※詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ターゲットバルブ　製品カタログ

メイドイン台湾！ドリル研磨機やコントロールバルブなどを豊富に掲載！

【掲載製品（一部）】 ■ドリル研磨機 ・R-213 ・R-320 ■バルブ ・H6SCシリーズ ・BFV-LTシリーズ ・BFV-WAFERシリーズ ・GT-200シリーズ ・YS-800シリーズ ・ND-6000シリーズ ・ND-10000シリーズ ・GB-200シリーズ ・YGB-800シ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YTK

高純度ライン用ダイヤフラムバルブ　『UCVシリーズ』

半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルト…

かしめシート） ・2LEシリーズ（コンパクト型） 用途、流体に合わせた仕様のバルブをお選びいただく事が可能です。 耐圧：1Mpa、16MPa、21MPa 温度：250℃（オールメタルシール3LT） 2L、3Lシリーズではダブルメルト材ボディを使用しバルブからのパーティクル発生を極力抑えます。 半導体装置に要求されるクリーン度を高いレベルで実現し、製造ラインでの歩留まりを改善します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン