広帯域振動計測・判定システム

PR超音波領域の振動に対応し、多彩な判定機能を標準装備した振動計測システム

VIT-200Rは、200KHzまでの広帯域振動を解析判定可能な、計測ユニットです。 2chのピエゾ振動センサ入力のほか、アナログ信号入力2chを有し、 複合的判断をすることにも対応可能です。（ソフトカスタイマイズ） 設備の異常や予兆検出、構造物の状況測定、製造作業結果判定など、 多くの分野への応用が可能です。 標準機能の使用手順は次のようになります。 １．PCと接続し、複数パターンの振動デー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アローセブン

EMI（エミッション）トータル試験システム　MR2300

PR手近なところでノイズ対策！EMIは事前試験で効率アップ。

MR2300は当社のスペクトラムアナライザ技術、電波暗箱技術およびアンテナ技術を結集した統合システムです。 EMIトータル試験システム ＭR2300の特長 ■追加設備のいらないEMIトータル試験システム アンテナ、EMI用スペクトラムアナライザ、LISN、EMI用PCソフトウェアのみならず、電波暗箱まで全てが揃ったトータル試験システム ■自社開発の小型・広帯域アンテナ 30M...

メーカー・取り扱い企業： マイクロニクス株式会社

コントロールゲートバルブ　Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） ...サイズ: DN63-400mm アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS シール技術: VATLOCK リーク量:...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用)...サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、JI...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

バタフライコントロールシステム　Series 61.2

CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性...サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: I...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

均等なガスフローで高度なプロセスに最適

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA)とソフトウェアの接続用）...サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用） ...サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式コントロールバルブ　SERIES 65.5

過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適

-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用）...サイズ: DN 250mm アクチュエータ: サーボドライブ付き圧力コントローラ搭載 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 標準フランジ: ISO-F、JIS...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社