重量物位置決め微調整紙『すべるんペーパー』（片面タイプ）

PRバナナの皮のように滑る紙で『あと数センチの微調整』ができます。 【摩…

『すべるんペーパー』は、 大型機械などの重量物を設置する際に重ねて敷くことで、 前後左右自在に、スーっと滑らせることができ、 細かい位置調整を簡単に行うことができる重量物位置決め微調整紙です。 ◇３種類 コンパクトな巻きタイプ「SB-A30R」 幅広巻きタイプ「SB-A50R」 カット不要のシートタイプ「SB-A20」 一般的に"滑る＝危険"ですが、工夫すれば"滑る＝便利"...

メーカー・取り扱い企業： あすまる本舗株式会社

防爆スポットクーラー　DGR-1A/3A-SP/SPS

PR産業安全技術協会（TIIS）検定合格品でゾーン１（第一類危険箇所）とゾ…

防爆スポットクーラーは、危険場所のうちゾーン１（第一類危険箇）とゾーン2（第二類危険箇所）で使えます。 電源は三相200V、単相100Vの2種類。 冷媒回路は内圧防爆構造、制御回路は耐圧防爆構造、ユニットの装置はすべて防爆構造。 装置下部にドレンタンクを装備。 オプションにて電源コードの長さの変更可能(標準3ｍ)本体の移動や固定に便利なキャスター・ストッパー付きです。 【特徴】 ○ゾーン１（第一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同工業所 楠根工場

300mm対応光学式アライナ　SAL30C1シリーズ

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ、コントローラ内臓 ○ユーティリティ：電源：DC24V 2A →使用流用量：60～120NL/min (クリーンエア) 正圧：0.5MPa以下 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL3261GRシリーズ

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

ンタリング:±0.2mm以内　オリフラロケート:±0.2度以内 ○位置決め時間：ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ：可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度：ISO Class2 (ISO14644) ○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ内蔵 ○ユーティリティ：電源:DC24V 3A 　真空:-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、も...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL4381シリーズ

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

光学式アライナ　SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズ

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

±0.3mm以内　ノッチロケート:±0.3度以内 ○位置決め時間：ノッチサーチ 4秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ：耐真空限定反射型ファイバセンサ ○耐真空度：1.33x10＾-6Pa ○駆動方式：エンコーダ付き２相パルスモータ ○ユーティリティ：電源：DC24V 7A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　ソーターシステム

アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にしました。

ソーターシステムは、SEMI Standardに準拠(E15.1-0600,E57-0600,E62-0999,E63-0600,E64-0600)しております。アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にし、高スループットを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL4484シリーズ

制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

通信 ○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時） ○駆動方式　2相ステッピングモータ4軸使用　モータドライバ・コントローラ内臓 ○電源/真空　DC24V±10％　3A/-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　ソーターシステム6インチ

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

リコンのセンタリングと 　オリフラロケートを高速、高精度に位置決め可能 【仕様】 ○対象キャリア：150mmウェーハ用カセット ○対象ウェーハ：150mmウェーハ（ガラス、サファイア、GaAs） ○スループット：140枚/h（装置側の処理時間は含まない） ○クリーン度：ISO　クラス2 ○外形寸法：W835×D940×H1815 ○重量：350kgf ○ユーティリティ →...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

50～100mm対応アライナ　SAL2241シリーズ

小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。

リーン度：ISOクラス2(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ2軸使用 →モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ：電源：DC24V 3A 正圧：0.15～0.5MPa 真空：-70kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

300mm対応エッジグリップアライナ　SAL20C1シリーズ

エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能

300mm対応エッジグリップアライナ　SAL20C1シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能です。ノッチサーチ後、指定位置へノッチを移動する為、持ち直し動作が入っています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○半導体製造装置内、検査装置等のウェ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL46C6シリーズ

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時） ○駆動方式 →2相ステッピングモータ4軸使用 →モータドライバ・コントローラ内臓 ○電源/真空　DC24V±10％　3A/-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル