フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

マトリックス冷間ダイス鋼『DCMX』

金型性能と金型の作り易さを兼ね備えた高性能鋼のご紹介です

『DCMX』は、合金組成の最適化と造りこみにより、粗大な炭化物を 極限まで低減したマトリックスタイプの冷間ダイス鋼です。 寸法重視の熱処理条件にて62HRCの高硬度が可能。 靭性が極めて高く、割れ・欠けなどの低減に大きな効果を発揮します。 さらに、熱処理変寸の異方性が極めて少なく、熱処理での寸法制御が 容易に行えます。 【特長】 ■高硬度 ■高靭性 ■低異方性 ■快...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社竹内ハガネ商行 本社