フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

株式会社システムリンケージ　事業紹介

実験装置・自動制御装置のことなら当社にお任せください！

株式会社システムリンケージでは、理化学実験装置や真空装置、 生産管理用測定装置の設計・製造を行っております。 研究機関における実験装置は、特殊性が高いために、入念な打合せ、 満足のゆく仕様検討、現場におけるフレキシブルなご対応を心がけ、 製作いたします。 また、当社の真空技術は2乗Pa近辺の低真空から-5乗Pa以下の高真空まで 幅広く対応できます。研究開発機関やクリーンルーム、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社システムリンケージ