フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

UV/VIS使い捨てキュベット『CVDシリーズ』

透過測定、蛍光測定に適した使い捨て分光測定用キュベット。

『CVDシリーズ』は、2次汚染のリスクを防ぐ使い捨てキュベットです。 「CVD-UV」は、波長範囲220 - 900 nmに対応した紫外域測定用キュベット。 また「CVD-VIS」は、波長範囲350 - 900 nmに対応した 可視域測定用キュベットとなります。 どちらのキュベットとも1 cm角のキュベットとなっており、 オーシャンオプティクス社製の1 cm角用キュベットホルダと...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社

プラズマ成膜装置『KOBUS F.A.S.T.(R)』

パルス機能を利用！ALDと同等薄膜を従来のCVDと同じ処理時間で生成す…

『KOBUS F.A.S.T.(R)』は、産業向けALDレベル膜質のプラズマ成膜装置です。 パルス機能を利用することで、ALD(Atomic LayerDeposition：原子層堆積)と 同等薄膜を従来のCVDと同じ処理時間で生成する事が可能。 プロセス温度は80℃～500℃でウエハサイズは150mm、200mm、成膜速度は 0.1nm/min～500nm/minとなっております...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞

世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。プラズマ中の基底準位に存在する原子を吸収分光法により測定、測定対象及び目的により最適構造の選定が可能です。計測用ソフトウエアは名古屋大学堀研究室...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

CMPパッドコンディショナー

ダイアモンド砥粒と基板の分子レベルでの強固な化学的結合を達成！CMPプ…

米Morgan Advanced Ceramics社のCMPプロセスで使用する表面がダイアモンドで覆われた独特の構造のパッドコンディショナーを提案致します。ダイアモンド砥粒をシリコン基板、あるいはセラミック基板にCVDコーティングした構造です。ダイアモンド砥粒と基板の分子レベルでの強固な化学的結合を達成しました。耐スラリー性も強く、スラリーによる化学的な侵食もありません。また、ダイアモンドの欠落、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

中日本炉工業株式会社　会社案内

常に新しい技術を追求し、より高いレベルの製品づくりに努めています！

当社は、設立以来工業炉専門メーカーとして、オイルショック、バブル崩壊、 リーマンショックなど幾多の苦難を経て工業炉一筋に現在までに 成長してきました。 2015年には熱処理工場を新築し、「魅せる工場」をテーマに、IoT環境を取り入れ 生産性の向上、リアルタイム型の見える化工場へと生まれ変わりました。 熟成された真空炉製作技術と蓄積された加工ノウハウは数百社におよぶ ユーザーへ提...

メーカー・取り扱い企業： 中日本炉工業株式会社

小型 高性能 飛行時間型質量分析計

小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、…

◆飛行時間型残留ガス分析器 IonTamerシリーズ 小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、高分解能、高感度にモニター可能。半導体、ソーラーパネル製造、OLEDディスプレイ、光学、真空コーティング工程（CVD、PVD、ALD）の研究開発にご使用いただけます。 IonTamerの装置は、ネットワーク経由で完全に制御・操作。直感的なソフトウェアで、測定データ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー