フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

デジタル膜厚計 SM1500D　レンタル

電磁式デジタル膜厚計 SM1500Dは、鉄素地上のライニング膜、溶射膜…

・2点調整式膜厚計 ・厚膜測定レンジ（Thick Range） 電磁式デジタル膜厚計SM1500Dは、15mmまでの厚膜測定レンジを、分解能切り替えにより0.1mm/0.01mmでデジタル表示し、高精度の測定が可能です。 ・リミットアラーム機能（Alarm） 電磁式デジタル膜厚計 SM1500Dは、測定対象物の膜厚を上限値、下限値で設定可能。目標値よりも不足、またはオーバーしている場合には...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メジャー

リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/302

エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付プロセスモニ…

Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。 アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。 【仕様】 ○質量　排気系：57 kg ／制御系：38 kg ○電源電圧　AC100V 15A ○圧縮空気　Dry N2 : 0...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

アーク検知器

　１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。　パルス…

・1usの高分解能で電流、電圧の振れ幅をモニタリングし、異常検知いたします。 ・RF電源、マッチングボックス間に容易にインストールすることが可能。 ・Ethernet Net(CAT)等で通信が可能です。 ...・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

ULVAC DIGEST 真空関連機器 総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数掲載しています。 今なら総合カタログ無料でプレゼント中です。 【掲載製品】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

温度計測器『NX-3100/NX-1200シリーズ』

センサーが求めたスピード＆高精度のコンビネーション！新たな温度計測器の…

『NX-3100/NX-1200シリーズ』は、自社の「白金抵抗温度計」の性能を 引き出すことを目的に開発し、高速・高精度・多点同時計測を実現した 高性能な温度計測器です。 「NX-3100」は、“今まで見えなかった温度変動”が見えると評価の高かった 8チャンネル仕様の「NX-2100」に替わる新機種で、「NX-1200」は、 2チャンネル仕様の小型新機種となります。 USB接続...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ネツシン

硬度計『FISCHERSCOPE(R)　HM2000シリーズ』

【ISO14577準拠】新型測定ヘッド搭載したマイクロレンジの硬さ試験…

『FISCHERSCOPE(R)　HM2000シリーズ』 は、応用範囲が広く 高い精度で硬さや貴重な物性データが得られる画期的な硬さ試験機です。 バルクの弾性や塑性などの機械特性を迅速かつ高い精度で評価。 ISO14577に準拠したインデンテーション試験を誰でも実施可能。 また、研究や産業用途の要求の厳しい測定にも対応でき、 測定手順は完全に自動化されており連続試験に好適。 ...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・テック株式会社

【用途別一覧表】ジルコニア式酸素濃度計『TBシリーズ』

デザインにより、非常に幅広い用途でご使用頂いています。

当資料では『TBシリーズ』の用途別一覧表です。 当社のジルコニア式酸素濃度計は、シリーズ毎にそれぞれ特長を持って いますが、特に当シリーズはそのデザインにより、高純度ガス中の微量酸素 から真空雰囲気、燃焼排ガス中の酸素測定まで非常に幅広い用途でご使用 頂いています。 【掲載用途(抜粋)】 ■高純度ガス、N2 PSA ■拡散炉、CVD 等 ■N2 リフロー炉、ディップ炉 ■...

メーカー・取り扱い企業： 第一熱研株式会社