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13件 - メーカー・取り扱い企業
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…
フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 ・非接触で下記が測定できます。 ☆不透明体の厚みマッピング...
メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社
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大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…
少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、 同時に大幅なコストダウンを実現しました。 また、従来小型では困難とされてきた5～100Pa での圧力コントロール機能を備え、 より多様な処理パターンに対応可能としました。 さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、 大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。 詳しくは、カタログをダウンロ...
メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社
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実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて設計、製造し…
当社では真空装置の設計、製造、納入までを一貫して行い、納入後の プロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応しております。 「こういう形の物に膜をつけられる装置」、「こういう事が出来る装置」など、 ご要望をお聞かせいただき、適切な装置をご提案させていただきます。 一から設計しますので、お手持ちのポンプをご支給いただいたり、 このメーカのバルブを使って欲しいなどのご要望にも柔軟に対...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC
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パルスレーザパルス蒸着システム
AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...
メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社
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再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応し…
ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2...
メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 開口サイズ: 50 ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ
-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性...サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: I...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…
ULVAC DIGEST 真空関連機器 総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数掲載しています。 今なら総合カタログ無料でプレゼント中です。 【掲載製品】...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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お客様のアイデアを具体化して、オリジナルの装置や改造などをご提案いたし…
アイゲート株式会社では、真空装置の『カスタムメイド装置／改造／ メンテナンス／DLCコーティング』を承っております。 設計、製造、納入までを一貫して行い、納入後のプロセスサポート、改造、 メンテナンスまで対応。 また、当社製以外の装置に関する改造、メンテナンス、移設などにも 幅広く対応しております。 【特長】 ■設計、製造、納入までを一貫して実施 ■納入後のプロセスサポ...
メーカー・取り扱い企業： アイゲート株式会社 本社
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真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。
メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。 メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電源、ロボット等の修理代替え品等を用意し、信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様...
メーカー・取り扱い企業： メンテナンス･リサーチ株式会社
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"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます
テクノウェーブ株式会社は、真空関連装置・部品及び その他産業関連装置・部品の設計から組立検査を得意としております。 真空技術はデジタル家電業界、半導体・電子工学業界、医療など 幅広い産業等で応用されています。 その中で当社はお客様のニーズを的確に把握し、迅速で確実に ご要望に応えられる提案型企業でありたいと考えております。 【事業内容】 ■真空応用関連装置の設計、製作並び...
メーカー・取り扱い企業： テクノウェーブ株式会社
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デモ機にてサンプル処理を実施！「研究開発用アニール装置」などの実績を保…
ジャパンクリエイト株式会社が行なった、『各種真空装置』の オーダーメイド製作実績をご紹介します。 「研究開発用アニール装置」をはじめ、「バッチ式プラズマ処理装置」や 「極低温成膜実験装置」「排ガス切替装置」などの実績を保有。 デモ機にてサンプル処理を実施しております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【製作実績（抜粋）】 ■研究開発用アニール装置 ■バッチ式...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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小型フロートスイッチ『FCシリーズ』
耐熱温度は80℃から120℃対応の製品を用意！通販サイトでの購…
株式会社木村製作所