コンビネーション　ネジゲージ 【Leitech社】

PRネジの検査と深さ測定を同時に！　ネジの公差を検査すると同時にネジの長さ…

●コンビネーションネジゲージは、ワンタッチでネジの検査と 　深さ測定を同時に行えます。 ●深さが一目でわかります。 ●個人誤差を防止します。 ●優れた精度を保証します。 ●ゲージの数を少なくします。 ●保全が容易です。 ●段取り時間の減少 ●検査の合理化が可能...●コンビネーションネジゲージは、ワンタッチでネジの検査と 　深さ測定を同時に行えます。 ●深さが一目でわか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パル

加工事例『銅の旋盤加工Φ110』

PR難易度の高い【銅】の旋盤加工事例のご紹介。5軸加工・旋盤加工・大型NC…

外山精機工業の加工製品『銅の旋盤加工』を紹介致します。 【加工製品】 ■素材：銅 ■サイズ：Φ110 ■加工方法：旋盤加工 ⇒短納期のご依頼かつ、難しいとされる銅材の加工を承りました。 【当社について】 当社は、普通旋盤加工、NC旋盤加工を中心に3軸マシニング、5軸マシニングを行っております。 幅広い加工可能サイズと様々な対応材質で、業種を問わず実績がございますので、 こ...

メーカー・取り扱い企業： 外山精機工業株式会社

【分析事例】垂直入射法による深さ方向分解能の向上

SIMS：二次イオン質量分析法

■極浅深さ方向分布の測定法 （1）斜入射法における深さ方向分解能の限界 斜入射法における深さ方向分解能の一次イオンエネルギー依存性をδドープ試料を用いて調査しました（図1）。斜入射法においては、クレータ底...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)やグラフェンの深さ方向分析が可能

TOF-SIMSは深さ方向に質量スペクトルの取得が可能であるため、各層の定性を行うことで非常に薄い層の成分の解析が可能です。 本事例では、ハードディスクを深さ方向に分析を行いました。その結果、表面に形成されるダイヤモン...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】有機EL素子中不純物の深さ方向分析

有機EL素子を深さ方向分解能よく評価

、エレクトロマイグレーションによる劣化の評価が必要なため、電極金属成分の有機層への拡散の状態を調べることが重要です。しかしながら、陰極側から直接分析しても、陽極側からSSDP法*により分析しても、深さ方向分解能が低下し、界面から有機層への拡散を評価することは困難でした。（*SSDP法：裏面側からの分析。分析手法詳細編B0013参照。） そこで、特殊加工によって、陰極/有機層界面および有機層/陽...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】GCIBを用いた有機材料劣化成分の深さ方向分析

雰囲気制御下でのGCIBを用いた有機EL層構造および劣化層の成分評価

大気暴露することで劣化が生じる有機材料について、GCIB（Arクラスター）を用いて劣化成分を深さ方向に分析した事例を紹介します。実験には有機EL原料のルブレンを用いました。大気暴露したサンプルをTOF-SIMSで測定をした結果、ルブレンペルオキシドと推定される質量（m/z 564）や、低分子の...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】界面および深さ方向分解能について

SIMS：二次イオン質量分析法

異種材料間の界面のSIMS分析プロファイルは、深さ方向にある幅をもって変化します。これはSIMS分析の特性上、イオンビームミキシングとスパッタ表面の凹凸（ラフネス）の影響を受けるためです。検出している不純 物は、混ぜ合わされた深さまでの平均化した...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

ステンレス(SUS)は耐食性に優れ、様々な工業製品・部品として使用されています。腐食に強い材料ですが、経年劣化や加工処理によって表面不動態皮膜の組成に変化が生じると不具合の原因につながります。今回、TOF-SIMSを用いてステンレス表面の金属酸化膜の状態について分析...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【事例】GCIBを用いたSiO2中アルカリ金属の深さ方向濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。 今回、スパッタイオン源にGCIB(Arクラスター)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行うことにより、常温下の測定でもアルカリ金属の移動を酸素スパッタガンに比べ抑えられることが...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

有機物の分子構造を、もっとはっきりさせてみませんか？

NMR分析で類似分子構造の化合物を区別し、側鎖、置換基の結合位置や枝分…

有機合成、高分子合成において、狙った分子構造物を得られたのかの確認には 必須の分析で、 医薬品、サプリメント、食品、繊維など、その特性効果・効能は 分子団の置換基の場所や分子構造により左右されます。 もう一歩踏み込んだ有機分子構造解析を当社技能集団がご対応いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】SiO2中のアルカリ金属の深さ方向分布評価

試料冷却による高精度なアルカリ金属の分布評価

SiO2中のアルカリ金属の分布を一般的な分析条件で測定すると、測定に起因する電界などの影響により、深さ方向濃度分布に変化が生じることが知られています。 MSTではSIMS測定時に試料を冷却することでアルカリ金属の濃度分布変化を抑制し、より高精度に濃度分布を評価いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】GaN系LED構造中不純物の深さ方向濃度分析

目的に応じた分析条件で測定します

GaN系LED構造のドーパント元素であるMgやSiの深さ方向濃度分布を複数の分析モードで評価した事例をご紹介します。 SIMS分析では目的に合わせて最適な分析モードを選択することで、より厳密な評価が可能になりますのでお気軽にご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

密着性・傷つきやすさの評価 - スクラッチ試験

　測定レンジの異なる3種類のスクラッチ試験機により、密着性や傷つきやす…

【評価項目】 ・薄膜の密着性の評価 ・ペイント、塗膜などの傷つきやすさの評価 【関連規格】 ・ISO20502:Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) -- Determin...

メーカー・取り扱い企業： ナノテック株式会社

【事例紹介】水電池へ使用されるV2O5電極表面への水吸着

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

■「マテリアルズインフォマティクス(MI)」にも最適 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト ■より効率よく、より簡単に、新規材料開発に役立ちます ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【分析事例】深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析

様々なAl組成のAlGaN中不純物の定量が可能です

紹介いたします。 測定法：SIMS 製品分野：照明・パワーデバイス・光デバイス 分析目的：微量濃度評価・不純物評価・分布評価・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【STEM/EDS】Auめっきされたコネクタ端子接点不良解析

STEMでめっきされたコネクタ端子表面の付着物層(20nm程度)の”表…

電子線の入射角度を変えることで、回折コントラストの変化を観察 ・観察対象が結晶質であるかの判断 ・結晶内にある結晶欠陥（転位、双晶等）の情報の獲得 本事例では 「STEMによるAuめっきされたコネクタ端子接点不良解析」 を紹介します。 ぜひPDF資料をご一読ください。 また、弊社では本STEMに加えTEM、SEM各種断面解析を行っております。 お気軽にご相談いただ...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

【分析事例】TFT配線交差部の深さ方向分析

微小領域・ガラス基板についてもSSDPによる分析が可能

詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

膜厚評価のための深さ方向分析

弊社では表面処理層や表面酸化層について、目的に応じて最適な方法を提案す…

薄膜は多様な分野で応用されており、膜の厚さが製品の性能を決定する一要因であるため高精度な膜厚評価を行う必要があります。弊社では目的に応じて最適な方法を提案することによりお客様のご要望にお応えします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

【分析事例】ポリイミド成分の深さ方向分析

TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の深さ方向の評…

られている材料です。表面改質を行うことで他の材料との密着性を高めることができることから、改質層の状態を把握することが重要です。今回、有機成分が壊れにくいスパッタ条件にてTOF-SIMS測定を行い、深さ方向にポリイミド成分を評価しました。GCIB（Arクラスター）をスパッタに用いると着目する有機成分を深さ方向に測定することが可能です。※GCIB：Gas Cluster Ion Beam...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPSによるμmオーダーの深さ方向分析

数μmの深さまで深さ方向分析を行います

XPSは表面敏感な手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能です。 XPSでは深さ方向の組成分布に加えて結合状態の評価も可能なため、装置部材表面の変色の原因調査などに適しています。 本資料ではターボ分子ポンプの羽の変色部について、XPS...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【課題解決事例】今後法令規制される物質の作業環境における測定

リスクアセスメントの一環として、規制対象外の物質の測定にも臨機応変に対…

当社では、ベンジルアルコールなど今後法令規制される物質の作業環境における測定を行っております。 「平成24年3月、大阪府内の印刷事業場で印刷業務に従事していた労働者が胆管がんを発症したニュース」を見られた、印刷工場の安全責任者の方から工場...

メーカー・取り扱い企業： 日本水処理工業株式会社 本社

【分析事例】XPS・AESによる深さ方向分析の比較

XPS：X線光電子分光法　AES：オージェ電子分光法

XPSとAESは表面敏感な分析手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能となります。 深さ方向分析を行うにあたり、測定したい領域やサンプルの材質に応じてXPSとAESを適切に使い分けることが、目的に沿った分析を行う上で重要です。 XPSとAESの深さ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。 今回、スパッタイオン源にC60（フラーレン）とGCIB(Arクラスター)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行うことにより、常温下の測定でもアルカリ金属の移動が抑えられることが...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【事例】リニアホールICを用いた磁場の強さ（Oe）検出精度向上

静磁場環境の前提下において、磁気シールドプレートのシールド効果検証に活…

磁場（磁界）の強さ（Oe）に対するシールドプレートの効果検証過程で、リニアホールICを使った検討を実施。 　1（Oe）以下での変動状況を捉える必要がありましたが、市場にあるセンサでは単体性能が出ないため、計測側のソ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Wave Technology

【技術資料】-異物分析-無機材料に内包された異物の分析

無機材料の微小異物を露出し、EPMAで分析した事例などをわかりやすくご…

当資料では、『-異物分析-無機材料に内包された異物の分析』について 掲載しています。 異物分析の中でも、材料内部に内包された異物の分析には高度な試料前処理 技術が必要です。 無機材料の微小異物を露出し、EPMA（電子線マイク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東ソー分析センター

【分析事例】LASのアルキル鎖長分布調査

粉洗剤・液体洗剤、家庭用排水等のLAS分析が可能です

直鎖アルキルベンゼンスルホン酸およびその塩（LAS）は、生物への影響が懸念される物質とされることから、水質汚濁に係る生活環境の保全に関する環境基準のうち、水生生物の保全に係る環境基準の項目に追加され、基準値が制定されました（平成25年3月27日）。LASの使用用途の約9割が...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

トリビュート5Gドングル・無線ネットワークの評価解析サポート

お客様のローカル5G環境の構築および検証、導入に貢献致します。

どとの接続も容易に可能です。 また、5G/LTEの無線ネットワークをご利用になるお客様へ、最適化の提供と、更にコンサルティングによる解決策を提案致します。 無線ネットワークサービスを提供されるお客様には知識や技術のトレーニングの提供も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

破損調査

組織観察、母材成分調査等を追加することも可能！実績豊富な専門家が調査内…

等を行う ■詳細コース（基本コースに、必要に応じて5～8を追加） 　・起点部欠陥、組織観察、母材成分調査等を追加することも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 川重テクノロジー株式会社

EVモーター材質調査~ローターとステーターコアの分析調査~

大同分析リサーチは長年培った材料分析技術、磁性材料評価技術でお客様のモ…

EV化が加速的に進行する中で高効率モーターの開発はカーボンニュートラルに必要不可欠な要素になっており、モーター開発には効率向上と信頼性向上が要求されます。また、変化の速い世情に対し開発期間の短縮や費用抑制の実現にはリバースエンジニアリング(分解調査)は欠かせない要素です。弊社は長年培った構造材料分析技術、磁性材料評価技術で御支援と材料提案を行...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

ドローン　建物診断　漏水調査　赤外線診断　空撮　足場不要！

ドローンによる工場、施設建屋の診断調査サービス コスト・時間削減 …

最新のドローンとサーモグラフィーカメラを用いたドローン診断調査サービス ・市販ドローンを自社で購入したが上手く運用できていない ⇒プロにお任せ下さい。熟練した技術と最新機器を用いて解決いたします。 ・水漏れを起こしているが修復できない ⇒目視では確認できない箇所をサーモグラフィーで見える化して調査報告書を提出させて頂きます。 ・修理業者...

メーカー・取り扱い企業： 昌弘貿易株式会社 関西営業本部

調査・分析業務　作業環境測定

コンサルタントによる作業環境診断、改善計画作成も可能です。

日新環境調査センターは、東京労働局に登録された作業環境測定機関です。私どもにご用命いただければ、すぐに作業環境測定士が伺い、作業環境測定法に沿った方法でデザイン、サンプリングを実施し、作業場の環境を精度良く分析します。 また、私どもは東京...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日新環境調査センター

［SEM］走査電子顕微鏡法

高倍率観察(30万倍程度まで)が可能

試料に電子を当て、試料表面から放出される二次電子・反射電子・試料を透過した透過電子（要薄片化）の像を得ることができます。 加速電圧や材料により入射電子の拡がり方が異なり、それに伴い、観察している深さ(電子が出てくる深さ)も変わり...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】部品表面のシミ・水はじきの原因調査

切断できない大きな部品でも表面汚染を適切にサンプリングして測定

Al材表面に水はじきのよいシミがあることがわかりました。そのシミ部をテープに付着（転写）させ、TOFSIMSで分析を行いました。 「シミ部を転写させたテープ表面」からは、「Al材表面のシミ部」と同じフラグメントが検出されており、シミの原因物質がテープに転写されているものと考えられます。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

インフラ検査・維持管理展に出展します（7/26～28）

【ブースにてプレゼン資料進呈】7/26に出展者セミナー講演！ドローンを…

7月26日（水）～7月28日（金）に掛けて東京ビッグサイト東展示棟で開催される 「メンテナンス・レジリエンスTOKYO2023～インフラ検査・維持管理展～」に出展いたします。 当展示会では、「点検支援技術性能カタログ」「NETIS」掲載技術である「非GNSS環境対...

メーカー・取り扱い企業： 三信建材工業株式会社 本社、豊橋支社、岡崎支社、浜松支店

【分析事例】GaN基板の表面形状分析

AFMによるステップ-テラス構造の可視化

ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム(GaN)は、パワーデバイスや通信・光デバイスなどの幅広い分野で用いられています。デバイスを作製するうえで、ウエハ表面の形状と粗さはデバイス性能に大きく影響します。GaNウエハを成長させる際、支持基板との格子不整合などによる応力の影響で、表面にステップ-テラス構造が形成されます。本資料ではAFMを用いて、GaN基板表面のステッ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

SSRMは、バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。 シリコン半導体素子を計測した場合、空間分解能に依存しますが、キャリア濃度101...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

金属部品の破損事故調査

金属部品の破損事故の原因調査が可能です。

よって、破壊形態が変化します。破面を電子顕微鏡を使って詳細に観察すると、その破壊形態から破壊の原因をある程度特定することができます。破壊様式は、延性破壊、脆性破壊、疲労破壊、環境破壊の4つに大別されます。延性破壊は、破壊に到るまでに伸び等の大きな変形を伴う破壊です。脆性破壊は、 塑性変形せず速い速度でき裂が伝播する破壊です。疲労破壊は、繰り返し応力により徐々にき裂が進展する破壊です。環境破壊...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

【分析事例】汚染原因となる工程の調査

手袋由来の汚染の評価

半導体デバイス製造において汚染工程を調べるため、不良の原因となる薄い付着物が何に起因するかを調べる必要があります。EDXでCが検出され、XPSで定量を行った付着物について、TOF-SIMSで分析を行いました。各工程で使用している標準試料の手袋と比較をしたところ、手袋A, Bと似た傾向が見られました。更に、標準試料の手袋をSiウエ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

調査・分析業務　水質・大気環境測定

地域の環境保全や企業活動に役立つデータをタイムリーにお届けいたします

水質汚濁は私たち人間の生活を脅かすだけでなく、魚類や微生物などを死滅させ、生態系そのものを破壊する要因になりかねません。この水質汚濁を防止するためには、まず環境水や排水などの定期的な調査が必要です。また、自動車やボイラーなどから排出される窒素酸化物やダスト、焼却時に排...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日新環境調査センター

技術情報誌 201904-01 セルロースナノファイバー技術調査

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 新素材を用いた開発においては、素材の機能を十分に活用し、様々な用途で利用される事が期待される。この際、新規材料の基本的な機能の把握と同時に、応用先の情報収集や課題の抽出など多角的な検討を行うことで、新素材の実用化と広範囲な展開につなげる事ができる。ここではCNFを例にとり...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

建材中のアスベスト調査

近年、建物外壁仕上塗材に含まれるアスベスト事前調査が特に注目されていま…

株式会社では、建物解体時のアスベストの事前調査を 承っております。 解体費用および工期に大きな影響を与えるため、解体工事前の調査の 重要性が高まっています。 是非、当社までご相談ください。 【建築物等のアスベスト事前調査】 1．発注者からの情報提供 2．書面調査（設計図書等調査） 3．現地調査（目視等調査） 　・アスベストあり 　・アスベストなし 　・不明→採取...

メーカー・取り扱い企業： 芝浦セムテック株式会社

生理計測・解析サポート/感性評価サポートサービス

当社技術者や計測スペシャリストがサポート！測定したい感性に合わせて、実…

化できるソフトを用いたサービスで、アンケートの 自動化だけではなく、回答中の各種生理データの取得が可能です。 ご不明点、デモンストレーションのご依頼など、 お気軽に当社までお問い合わせください。 【特長】 ■測定したい感性に合わせて、実験プロトコルのご提案 ■測定は当社技術者や計測スペシャリスト(看護資格保有者) がサポート ■ご要望に合わせた解析を行い、データや簡易評価レ...

メーカー・取り扱い企業： インタークロス株式会社 本店

【分析事例】めっき・塗装等の剥離原因調査

TOFーSIMSによる剥離面の汚染源の特定

剥離不良が起こった際、界面の密着性を悪化させた成分を同定することが重要です。 ピーリング加工により、着目の界面で物理的に剥離させ、その表面に存在する成分をTOF-SIMSによって測定することで、剥離原因を調査することが可能です。 TOF...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

データ復旧サービス

大切なデータを再びお手元に。お客様のストレージ製品を調査・復旧します …

復旧サービスの特長】 ■初期調査 ・最大限の復旧が可能となる作業方法を決定 ■HDDのリワーク技術 ・HDDの物理障害の場合、専用クリーンルームにて、データ復旧可能な 　レベルまで回復させ、データを読み出す ■フラッシュメモリのリワーク技術 ・メモリ素子単体でのデータ回収にも対応 ・各種メモリ媒体や携帯電話から記憶素子のみを取り出し、データを 　直接読み取れる状態まで補修 ...

メーカー・取り扱い企業： ユーロフィンFQL株式会社

【分析事例】エポキシ樹脂の硬化温度･ガラス転移温度調査

DSC（示差走査熱量）測定による熱物性評価

ついて、DSC（示差走査熱量測定法）を用いて硬化温度及び耐熱性の指標となるガラス転移温度（Tg）を調査しました。硬化前の樹脂をDSC測定したところ、約103℃付近から急激な発熱反応が開始するのが確認されました（図1）。これは昇温加熱により樹脂の重合（硬化）が起きたためです。更に、硬化後の樹脂を室温まで空冷した後、再度DSC測定したところ、樹脂のガラス転移に起因するベースラインの吸熱側へのシフトが...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】NPT-IGBT中ドーパント調査

イメージングSIMSによって局在する元素の評価が可能

NPT-IGBTエミッタ側の50μm角の領域についてイメージングSIMS測定を行いました。図1に分析によって得られた11B,Asのイオンイメージを示します。11BとAsは同じ領域に注入されていることがわかります。 また、通常の分析では検出領域全体の各元素の平均濃度が算出されてしまいますが、イメージングSIMS測定においては、部分的にデプスプロファイルを抽出することができるため、面...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化物ReRAM動作領域の元素分布評価

酸化物デバイスにおける局所元素分布を酸素同位体を用いて高感度に評価

酸化物ReRAMでは、電場印加に伴う酸素拡散がメモリ動作（抵抗変化）と関連しているとされていました。 SIMS分析では同位体を測定可能であるため、同位体18Oイオン注入技術を利用すれば、酸素拡散の追跡が可能となります。18Oを局所的に注入した素子に対し、電場印加により動作領域となる...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST