【無料贈呈】物流デジタルサービス事例集173P（経済産業省発表）

PR経済産業省が発表した物流効率化に資するデジタルサービスの事例集（Ｐ１４…

経済産業省が、物流の2024年問題に係る改善効果が期待されるIT情報・技術領域におけるサービスを発表しました。 22企業の物流デジタルサービスが173ページに渡り紹介されたPDF資料をダウンロードできます。 ※下にある『※PDF参照はこちら：物流デジタルサービス 全サービス紹介（経済産業省）』をクリックして参照ください。 ※もしくは下にある『関連カタログ』をクリックいただくと、電子カタログに...

メーカー・取り扱い企業： ネットロックシステム株式会社 物流IT事業部

【総合カタログプレゼント】工場の環境問題を解決！改善事例をご紹介

PR吸引（入口）～排気（出口）までトータルにご提案！デュコルの環境改善設備

デュコルでは、発生する汚染物質の種類や発生状況に応じた設備をご提案します。粉じんやガスの発生源から吸引と適切な処理をして屋外換気まで、低コストでトータル設計させていただくとともに、アフターサービスまでを一貫して行います。 【こんなお困り事ありませんか】 ■吸い込み口の吸引力が弱くなっている ■メンテナンスをしたことがない ■作業環境が悪く改善したい ★デュコルの『環境改善設備 総...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デュコル　　　

PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(前工程向け)

ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…

2.45GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。 ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離、MEMSなどのSU-8レジスト...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(後工程向け)

世界中のOSATのお客様向けに多くの実績があり、信頼性のあるパフォーマ…

セス形態をご選択いただくことができます。 ダイアタッチ、ワイヤーボンディング、フリップチップ、アンダーフィル、 樹脂封止を含むチップパッケージングにおいて、基板のクリーニング、表面活性化の為に設計されています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付…

実績豊富なプラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ」をＤＬＣ除膜用にグレードアップ＆カスタマイズ。 従来型より処理時のイオンのエネルギーを向上させ緻密なＤＬＣ膜の除去に対応。通常のＯ２クリーニングプロセスだけでなくマルチガスプロセスでＳｉ含有ＤＬＣなどカスタマイズされた各種ＤＬＣ膜の除去に実績。 当然ＤＬＣ除膜だけでなく成型残差や型表面の...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…

V-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

ッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…

● ワンタッチ操作のみで特別な操作が不要です。 ● 設置スペースが小さく場所を選びません。 ● 試料はφ4インチまで対応可能。 ● 専用機であるため低価格。 ...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜTSPなのか

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

「UPS」と「TSP」は競合する製品ではなく基本的には“何を保護するのか” “必要な保護時間”により使い分けされます。 大容量の保護の場合は圧倒的にTSPの方が費用対効果が大きいため、 近年電気二重層キャパシター方式のTPSが選定されています。 【選定例】 ■保護時間（分単位で必要） 　瞬...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマ装置 プラズマクリーナー プラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

しています。 【掲載内容】 ■市場・用途 ■プラズマモードの説明 ■デモ機ラインアップ ■プラズマ装置ラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

プラズマクリーナー(大型)

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　…

ラボ・研究開発向けに設計。光学材料のクリーニングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

プション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜ保護が必要なのか？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

す。 シリコンメーカ様では研磨、エッチング、洗浄工程等で影響を受ける 可能性があり、デバイスメーカ様ではCVD、スパッタ、フォトリソ、 エッチング、イオン注入、拡散、洗浄工程での影響が想定されます。 このため半導体の製造設備に対し「SEMI-F47」の規格では 電圧低下50％継続時間0.2秒以下、または電圧低下30％継続時間0.5秒以下の 瞬時電圧低下に対して耐性を持つよう要...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

プラズマクリーナー（小型）

業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

。ラボ・研究開発向けに設計。光学材料のクリーニングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部

【瞬時電圧低下補償装置TSP】UPSとTSPで何が違うの？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

「UPS」とは商用電力をバッテリーに充電し、そのエネルギーをインバーターで 交流に変換して負荷側に供給する設備で、瞬時電圧低下発生時は商用電源が 消失してもバッテリーに充電されたエネルギーで通常15～30分程交流出力を 負荷側へ供給します。 【UPSとTSPの違い】 ■電力をバッテリーに充電するか 　電気二重層キャパシター（EDLC）に充電するかの違い ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】瞬時電圧低下の年間発生数

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

電圧低下率20％以上で合計20回発生しており、瞬時電圧低下継続時間は 41.6m秒～115.23m秒です。 1需要家あたりに発生する瞬低は電圧低下度20％以上の瞬低で 年平均5回と報告されています。 落雷の多発地域では年間10～20回以上発生することもあります。 瞬時電圧低下の継続時間はほとんどが0.1秒前後で最大でも 理論上電力会社の切替時間上2秒を超えることはあり...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】TSPとは

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

電力をSCRを介し負荷側へ供給する時に電気二重層キャパシター （EDLC）に充電しましが、瞬時電圧低下発生時は検出回路により2msec以内に 切替を行い、電気二重層キャパシター（EDLC）に充電されたエネルギーを インバーターで交流に変換した交流出力を負荷側へ供給します。 ※詳しくはお気軽にお問い合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー