エッチング | イプロスものづくり

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCのグ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ロータリーダイシリンダー、ロータリーダイユニット＜テスト受付中＞

PR安定した切れ味と長寿命化を実現。高剛性ダイユニットは刃先のクリアランス…

当社は、紙からチタンまで様々な素材を加工する技術と製品を有し、多岐にわたる事業を展開しています。主力製品の1つとして製造を手掛ける「ロータリーダイシリンダー」は、高精度マシニング加工と独自製法により、安定した切れ味と長寿命化を実現。印刷、食品包装、医薬品包装、電池、半導体製造など幅広い分野で採用されており、お客様の生産性向上に貢献しています。また、本製品を搭載した「...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三條機械製作所

ボンディング性評価のためのシリコンエッチング技術

ワイヤーボンディング部の接合面を平面から観察！数値による評価が可能とな…

一般的な断面観察では、金属間化合物の生成状態をある1点でしか確認できず、評価の裏付けとしては弱さの残るものでした。クオルテックでは、ボンディングされた箇所の裏面からシリコンをエッチング する事で、金属間化合物の生成状態を、より明確に観察する技術を開発。金属間化合物の面積を算出し、数値による評価が可能となりました。【特長】 ■ワイヤーボンディング部の接合面を断面...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クオルテック

プロセス用濃度計、液体濃度センサー　自動化、生産性向上、DX

プロセスコントロール用。音速、密度、屈折率センサー等を用いた連続式濃度…

ては、下記用途/実績例欄を参照その他、Brix（糖、アルコールなど）、正極/負極材、ガソリン/軽油/ジェット燃料、潤滑/研磨/切削/圧延油、めっき/酸洗槽、CMPスラリー、レジスト/エッチング液、活性炭、モノマー/ポリマー、固形分濃度/ノンボラ値（NV値）　などの測定、管理・制御、モニター、終点検出、製品判別用として ■□■アプリケーション■□■ ■化学工業 ■電子工学 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アントンパール・ジャパン

Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ

半導体の欠陥、ムラ、シミの検査を同一の検査工程で一度に行うことが可能。…

半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。しかし、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生します。その各工程に自動化した検...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

メタログラフィー・エッチング

金属組織のエッチングは、後続の顕微鏡検査のために機械的な試料を準備する…

メタログラフィでは、「エッチング」は、メタログラフィ研磨後に試料の微細構造が見えなくなるような光学的コントラストを発生させる技術の同義語として確立されています。 ...

メーカー・取り扱い企業：ヴァーダー・サイエンティフィック株式会社

エッチング処理による金属間化合物の観察例

奥方向と表面から化合物の状態を観察！加⼯、前処理、観察⼿法や組み合わせ…

疑問に思われたことはありませんか。当資料では、Cuパッドとはんだの接合部の観察例をご紹介。「断面観察」と「平面観察」を掲載しております。【掲載内容】 ■断面観察　・エッチング処理前　・エッチング処理後 ■平面観察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

【設備紹介】浸透探傷検査前エッチング

試料表面をエッチングしキズや空隙を露出！より正確な浸透探傷検査を実施で…

当社には、航空エンジン部品のエッチング規格に対応した設備がございます。試料表面をエッチングしキズや空隙を露出させることで、より正確な浸透探傷検査を実施することが可能。対象試料はアルミ合金/マグネ合金です。浸透探傷...

メーカー・取り扱い企業： TANIDA株式会社かほく本社工場

技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。【目次】１. はじめに２. エリプソメトリーについて３. PVA膜スピンコート直後の経時変化４. シリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価５. お...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター

プリント基板の各種評価

プリント基板の品質の確認、検証に。

を駆使し信頼度の高い評価を行い、基板品質の確認／検証を行います。【表面処理の品質検査】 ■はんだ付けパッド評価　・はんだ濡れ性　・はんだ付け性　・めっき厚測定　・ソフトエッチング耐食性　・粒界腐食観察【基板の仕上がり品質検査】 ■スルーホール評価、信頼性評価　・スルーホール初期評価　・スルーホール導通信頼性評価　・絶縁信頼性評価 ※詳細に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クオルテック

【分析事例】ウエットエッチングによる有機付着物除去

表面汚染を除去してXPSによる評価を行います

。通常、有機付着物の除去にはArイオンスパッタを用いますが、スパッタによるダメージにより膜本来の組成,結合状態が評価できない場合があります。Arイオンスパッタを使用せず、表面酸化層をウェットエッチングを用いて除去することで、有機付着物由来のCの影響を低減させた例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

マイクロプレート

アンカー効果で狙った位置に適した形状で検体を保持出来ます。

・プラズマ製法親水/撥水のコントラストが得やすく、アンカー効果が見込めます。・ブラスト製法プラズマエッチングが不要です。粗面化によりアンカー効果が見込めます。・蒸着製法プラズマエッチングが不要です。 エッチングマスクも不要です。粗面化によりアンカー効果が見込めます。 ...

メーカー・取り扱い企業：シチズンファインデバイス株式会社

A-23　塩化銅エッチング液分析器

塩化銅エッチング液中の塩化第二銅及び塩酸濃度の測定

株式会社　山本鍍金試験器より、「A-23　塩化銅エッチング液分析器」のご案内です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社山本鍍金試験器

枚葉式プラズマ処理装置　WLP-611S、WLP-600S

価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行…

ＷＬＰは多様化したアプリケーションに対応する為、ＲＦパワーを下部電極に印加（ＲＩＥ方式）又は、上部電極に印加（ＤＰ方式）を実現しております。６～８インチのＳｉ、Ｐｏｌｙ-Ｓｉなどのエッチングやポリミド系樹脂のエッチング及びフォトレジストのアッシングなど多種多様なプロセスに御利用頂けます。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エスクラフト

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞

世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。プラズマ中の基...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング

F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』

真空紫外吸収分光法でフッ素ラジカルの絶対密度計測！計測応用もさまざま

【ラジカル計測応用】 ■プラズマ発生ラジカル計測・エッチング装置：低誘電率層間絶縁膜エッチング、シリコン酸化膜エッチング、シリコンエッチング ・表面処理装置：撥水膜堆積、誘電体膜、絶縁膜堆積・チャンバークリーニング：シリコン、タングステン ■ダウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング

イオンミリング装置による受託サービス｜JTL

機械研磨では潰れて観察できない構造をきれいに面仕上げします。

イオンミリング装置とは試料の表面に非常に弱いアルゴンイオンビームを照射することで、観察・分析用の研磨・エッチングを行う断面研磨装置です。従来の機械研磨では、銅やアルミ材などの軟質材では研磨面が潰れたり、ダレが発生し、セラミックやシリコンなどの硬質材では割れやクラックが発生しましたが、イオンミリング装置...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社

銅端子の断面観察とSEM/EDXによる元素分析

圧着端子の接合部状態や接合方法、部材の種類を調査！断面観察及びSEM/…

『銅端子の断面観察とSEM/EDXによる元素分析』についてご紹介いたします。抵抗測定用銅圧着端子治具の接合部について断面作製を実施し、作製した断面にケミカルエッチングを施し、エッチング前後で金属組織を観察。その結果、検出元素が、P(リン), Ag(銀), Cu(銅)であることから、銀入りのりん銅ロウ付け材であると推察します。 ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

実装部品接合部の解析

機械研磨法に化学エッチング、イオンミリング、FIB加工を施すことにより…

■基板接合部機械研磨　＋化学エッチング 　＋イオンミリング　光学顕微鏡、SEMによる観察 ■FIBによる断面作成　SEMによる観察...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

光学式エンドポイントモニター【Verity社製】

超高性能エンドポイント検出システム検出困難だったイオンミリングプロ…

ドスルーオプションでイオンミリングプロセスにも対応します。 Verity社製光学式エンドポイントモニターは真空中のサンプル近傍にフレキシブルチューブによる測定受光部を設置。 エッチング/ミリングプロセス中の材料発光を計測することで、膜厚と膜種の経時変化を取得します。【特徴】 ◼ 強力な終点決定能力 ◼ 専用高機能 SpectraViewTM ソフトウェアを使用...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社

［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

）・プラチナ（Pt）等を成膜することが可能です。また、イオンビームを試料に照射して発生した二次電子を検出するSIM像により、試料の加工形状を認識できます。・微小領域（数nm～数十μm）のエッチングによる任意形状加工が可能（通常加工サイズ：～20μm程度）・SEM・SEM-STEM・TEM像観察用試料作製（特定箇所の断面出しが可能）・微細パターン（数μm～数十μm）のデポジショ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

受託成膜・受託分析

各種成膜・表面処理・塗布加工や、受託測定のことなら当社へお任せください

アイゲート株式会社は『受託成膜・受託分析』を承っております。「受託成膜」では、Si、ガラス、フィルムなどの真空成膜加工が可能なほか、 エッチングや表面処理、塗布加工にも対応。また「受託分析」では、高性能水蒸気・ガス透過率測定装置を使用した受託測定を致します。【受託分析詳細】 <水蒸気・ガス透過率測定> ■測定装置...

メーカー・取り扱い企業：アイゲート株式会社本社

セル測定装置 Check Master II

シリンダー表面セル測定用高機能マイクロスコープ

グラビア印刷用シリンダー表面の彫刻及び腐蝕（エッチング）をはじめとし、レーザー直接彫刻、エンボスその他のセルを測定する装置です。自動及び手動測定が選択可能で、高精度ビデオ顕微鏡と画像処理システムにより、面積、深度、体積、対角線、スクリーン線数等...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オリオン商事

ＰＶ（太陽電池）各種評価事例集

太陽電池（ＰＶ）の組成評価や同定・膜圧評価・形状評価・結晶構造評価など…

キャリアの分布評価 →測定法：SIMS・SCM・研磨・解体 ○CIGS薄膜の組成分布分析 →薄膜の組成定量、面内分布、深さ方向分布の評価が可能 →測定法：SIMS・ICP-MS・XRF・エッチング ○CIGS薄膜太陽電池へテロ接合界面の観察 →超高分解能STEMによるCdS/CIGS接合界面高抵抗層の結晶構造評価 →測定法：TEM ○Ｘ線によるＺｎ系バッファ層の複合評価 →組成...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

フラットミリングとSEM観察

とはんだの境界面の状況がより緻密に観察できます。【特徴】 ○アルゴンイオンの均一な照射によってSEM観察にも耐える完璧な覆面仕上が可能です。 ○5mm径の広い範囲を均一にスパッタエッチングでき、50nm/min(Cu)の高いミリングレートで処理します。 ○安定した放電電流（2～6kV）によって再現性のよい試料を提供できます。 ○光学顕微鏡に比べ分離機・焦点深度に優れ、微小領域...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クオルテック

【分析事例】XPSにおける吸着酸素の影響

XPS： X線光電子分光法

XPSは試料表面(数nm程度の深さ)の組成・結合状態に関する知見を得る手法ですが、イオン照射によるスパッタエッチングを組み合わせることで、試料内部や深さ方向分布の評価も可能です。但し、スパッタエッチングを伴う評価ではXPSの原理及び測定機構から、吸着酸素の影響を受けて酸素量が本来の組成より過大評価される場...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例

IC（イオンクロマトグラフ）法でアミン類の測定が可能です

水酸化テトラメチルアンモニウム（TMAH）は、半導体の現像液やエッチング液として用いられています。 Siのエッチング液に用いたTMAH溶液の濃度を測定する場合、溶液中に多量に溶解したSiが夾雑物となり、測定結果に影響を与える場合がありますが、IC（イオンクロマトグ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

燃料アンモニア計プロセス用濃度計、濃度センサー

プロセスコントロール用。アントンパールの長年の密度測定技術を用い、アン…

ては、下記用途/実績例欄を参照その他、Brix（糖、アルコールなど）、正極/負極材、ガソリン/軽油/ジェット燃料、潤滑/研磨/切削/圧延油、めっき/酸洗槽、CMPスラリー、レジスト/エッチング液、活性炭、モノマー/ポリマー、固形分濃度/ノンボラ値（NV値）　などの測定、管理・制御、モニター、終点検出、製品判別用として ■□■アプリケーション■□■ ■化学　■電子・半導体　■食...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アントンパール・ジャパン

アプリケーション例『エッチング,コーティング,洗浄工程』

太陽電池製造プロセス向けの耐薬品バルブ

太陽電池の製造にもウェットプロセスが組み込まれており,ここでは流体の純度が保たれること以上に,コンポーネントの耐薬品性が重視されます。 GEMÜ社はPFA,PVDF,PPコンポーネントを幅広く提供しております。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ゲミュージャパン株式会社

リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/302

エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付プロセスモニ…

Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。【仕...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

端子断面カットモニタ『CS07』

あらゆる圧着端子サンプルの解析が可能なカットモニタ「CS07」がCSシ…

ックします。この度、あらゆる圧着端子サンプルの解析が可能なカットモニタ「CS07」がCSシリーズに加わりました。また、「CS07」と併せての使用も可能な「断面解析ソフトウェア」「電解エッチングユニット」も新たに発売となります。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、弊社HPよりお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：トルーソルテック株式会社

光学式プロセスモニタOptius

さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます…

光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。【仕様】 ○質量　本体ユニット（TSC）： 4.9kg 　　　　拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電源　AC100～240V（5...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.