エッチング | イプロスものづくり

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム（オプション）超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCのグ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

エッチングマシン

塩化第２鉄溶液などを用いたウエットエッチングマシンです。汎用コンベ…

ローラコンベア型の汎用エッチングマシンからシールラベル用抜刃を製作する特殊エッチングマシン、グラビア印刷用シリンダロールのエッチング製版装置、透明導電体のエッチングなど様々な処理方式・基材に対応したエッチングマ...

メーカー・取り扱い企業：進和工業株式会社本社工場

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の表面処理などの特殊プロセスに...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

ローカソード放電）型電極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメタルエッチングに対応。 ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

ICP エッチング装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！

8"工程用Pishowシリーズ：・Pishow：シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能；幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能・Pishow A： HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能； pGaNの...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社

アルミエッチング液『混酸Alエッチング液』

微細加工が可能なAl用エッチング液！

『混酸Alエッチング液』は、ガラスやSi 基板を侵すことなく、微細加工が可能なAl用エッチング液です。 Mo、Mo合金エッチング液としてもご使用いただけます。【特徴】 ■希釈、調合不要であり、そのまま使...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

実績豊富なバッチタイププラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」をベースとし最大Φ６００ｍｍもしくは５００ｍｍ□までステージを拡大。大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改質・クリーニングなど幅広いプロセス...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

積層膜エッチング液『KSMFシリーズ』

Ti/Al/Ti積層膜のウェットエッチングが可能なAl積層膜エッチング…

Al積層膜を一液で処理可能なエッチング液です。これまでウェットエッチングが困難だったTi/Al/Ti積層膜にも適用が可能です。【特徴】 ■Ti/Al/Ti積層膜やMo/Al/Mo積層膜を一括でエッチング可能 ■KSM...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

【メタルマスク特殊加工】ハーフエッチング処理

スキージ面に任意の深さで、段掘りをする事により自由自在に調整できます！

当社の特殊加工『ハーフエッチング処理』のご紹介です。ハーフエッチング処理とは、同一版の中で部品によってクリーム半田量を減らしたい時にスキージ面に任意の深さで、段掘りをする事により自由自在に調整できます。 ...

メーカー・取り扱い企業：大伸産業株式会社

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。また小型のため、スペースの限られた研...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課

銅エッチング液『GHP-3』『BTF-3』

表面粗さの小さい仕上がりが得られるCuエッチング液

Cuめっき後のCu/Tiシード層エッチングに適しており、CuとTiを一括でエッチングすることも可能です。また、Cu表面の平滑性を損なわないため、伝送損失への影響が小さいです。【特徴】 ■エッチング前の平滑さが損なわれない ■...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

チタンエッチング液『TIシリーズ』

各種金属材料との選択エッチングが可能なチタンエッチング液

CuやAu電極のバリア層や密着層の除去において、Tiの選択的なエッチングが可能です。【特徴】 ■TI-8Aは各種金属との選択エッチングが可能であり、TiNやTiWのエッチング液としても使用可能 ■TI-101は過酸化水素水を使用せず、CuやAgとの選択エ...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

クロムエッチング液『Crシリーズ』

サイドエッチングの少ないパターニングが可能なクロムエッチング液

水晶振動子やMEMSセンサーなどの電極材料、フォトマスクに使われるCr薄膜に対応したエッチング液です。【特徴】 ■サイドエッチングの少ないパターニングが可能 ■Cr-301はエッチングレートが極めて低いため、Cr膜の膜厚調整などに適しています。 ※詳しくは、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

透明導電膜エッチング液(ポリ向け)『ITOシリーズ』

型番によりCuダメージの抑制が可能な低抵抗ポリITO膜エッチング液！

『混酸ITO-02』は、FPD 製造プロセスにおける低抵抗ポリITO 電極等の高精細パターニングが可能なエッチング液です。また、『ITO-301』は、Cuダメージを抑制し、低抵抗ポリITO電極等の構成パターニングが可能なエッチング液です。【特徴】 ■低抵抗ポリITO 膜のエッチング加工に使用...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

透明導電膜エッチング液(アモルファス向け)『ITO-07N』

SiO2、SiNxなど様々な下地膜に対しエッチング残渣無く加工可能なI…

『ITO-07N』は､FPD製造プロセスにおけるアモルファスITO､IZO 等の高精細パターニングが可能な透明導電薄膜エッチング液です。【特徴】 ■アモルファス ITO､IZO 等のパターニングに最適 ■サイドエッチングが少なく､高精細なパターンニングが可能 ■低発泡性で、破泡性に優れる ※詳細は弊社...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

フォトエッチング＋黒処理・・光学部品の反射防止や車載カメラに

SUS等をエッチング+黒処理加工で、反射防止機能をプラス。エッチン…

ステンレスなどの各種金属のフォトエッチング・エッチング加工後に、黒処理などの表面処理を施し、「防眩」「反射防止」「防錆」などの機能性をプラス。金属加工を熟知したエッチングメーカーとして、寸法精度の安定性を追求し、 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メルテック本社工場

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッチング装置部品の保護膜は、溶射やエアロゾルデポジションによる酸化イットリウム膜が使われていましたが、エッチング装置...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

クロムフリーエッチングプロセス

環境負荷を低減！クロム酸を使わず、過マンガン酸水溶液でエッチングする技…

過マンガン酸水溶液によるプロセス開発を進めてきた柿原工業では、複雑な形状の樹脂でも安定してめっき性能が得られる技術の確立に成功しました。実証実験ラインでは、既に電気めっき工程も3価クロムに移行しており、めっきの全工程で完全6価クロムフリーを実現。量産に向けて取り組んでいます。【特長】 ■ヒーリング強度　1kgf/cm ■従来の設備を転用できるので、コストUPを最...

メーカー・取り扱い企業：柿原工業株式会社

小型超高精度エッチング装置　ＭＰＥ４０

【工程】投入→エッチング→液切→酸洗→液切→循環水洗→直水洗→絞り→取出し【基板サイズ】Max.W400×L500ｍｍ　厚み0.4〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】首振揺動【装置サイズ】W1530×L2830×H1860ｍｍ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

ルテニウムエッチング液『RECシリーズ』

半導体デバイスやフォトマスクの材料として使用されるルテニウム用エッチン…

DRAMのキャパシタ電極やフォトマスクに使われるRu膜に対応したエッチング液です。【特徴】 ■REC-01はRu膜を短時間でエッチングでき、RuO2もエッチング可能 ■REC-11はRuO4ガスの発生を抑制でき、ウェーハの金属汚染が少ない ■REC-11...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

金属エッチング装置【チタン】枚葉式｜NSCエンジニアリング

薄板から厚板まで幅広い製品の高精度エッチングが可能です！最適スプレー条…

パターニングされたチタン板を寝かせた状態で水平搬送し、スプレーでエッチング液を吹き付ける方式により、薄板から厚板のチタンシートのエッチング処理を可能とします。【当社装置の特徴】 ■表裏のエッチング形状が同等 ■液管理、液再生システムにより低コスト ■最新...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NSC エンジニアリング本部

研究開発用エッチング装置　ＳＰＥ４０

【工程】投入→エッチング→液切→循環水洗→直水洗→絞り→取出し【基板サイズ】Max.W400×L500ｍｍ厚み0.4〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】水平揺動【装置サイズ】W1300×L1590×H1215ｍｍ・省ス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

タングステン、ステンレス、白金パラジウム等極細線材電解エッチング

特殊電解研磨の技術を応用！針形状・砲弾状に加工することが可能

各種研磨・処理技術「タングステン極細線材の電解エッチング処理」は、LSIの製造時、正常に機能するかの完成品通電検査が行われます。その際に電極として使用されるのが主に極細のタングステン針です。東陽理化学株式会社独自の特殊電解研磨の技術を応用して...

メーカー・取り扱い企業：東陽理化学株式会社

小型薄板用エッチング装置　ＦＢＥ４０

【工程】投入→エアーナイフ→エッチング→エアーナイフ→循環水洗→直水洗→エアーナイフ→取出し【基板サイズ】Min.W50×L50ｍｍ　厚み0.03〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】水平揺動【装置サイズ】W1445×L2010×H1230ｍｍ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

【総合カタログ】110年分の歴史・技術が詰まった高機能性薬品

電機・電子デバイス製造に欠かせない各種機能性薬品。創業110年の経験と…

林純薬工業は創業から110年の歴史を誇る、高機能性薬品を提供する機能性工業用薬品メーカーです。このたび、その経験と技術を凝縮した機能性薬品の総合カタログを発行することとなりました。各金属膜エッチング液、現像液/剥離液、テクスチャーエッチング液、粗面化エッチング液など、電気・電子デバイス製造プロセスに欠かせない、各種高機能性薬液を掲載しております。この高機能性薬品総合カタログを抽選で...

メーカー・取り扱い企業：林純薬工業株式会社電子材料部

エッチング実験装置『ミニミニエッチャー』

少量の薬液でのエッチングが可能！容易な薬液の交換で実験・開発に好適です

適した装置です。左右の薬液噴射ノズルが首振り動作する「縦型・左右スプレー」をはじめ、「横型・上下スプレー」や「水平揺動型・上下スプレー」などをラインアップ。少量の薬液でのエッチングが可能で、数枚単位の基板製作に対応出来、また、薬液の交換も容易で、省スペースにて設計されています。【特長】 ■小型基板の製作および薬液の実験・開発に好適 ■少量の薬液でのエッチン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シマテック