インパルスノイズ試験器 INS-S100

PR電源ラインからの侵入や通信線などへの誘導ノイズによる電子機器の性能評価…

インパルスノイズ試験器はスイッチングデバイスの接点間の放電、電子モーターから発生するアーク放電などによる立ち上がりの早い高周波ノイズを模擬的に発生させ、電子機器の耐性を評価する試験器です。 インパルスノイズ試験器INS-S100は、50Vからのパルス出力が可能で、製品開発時の回路基板や弱電部品などのノイズ耐性評価が手軽に行えるほか、市場での不具合発生時の解析などにも活用できます。 ○ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノイズ研究所（NoiseKen）

【組立工程自動化】クリップ挿入機　～プラスチック部品挿入に対応～

PR自動車内装部品の組立工程のクリップ挿入時に使用！一定の速度でクリップを…

当社が設計製作を行う『クリップ挿入機』をご紹介いたします。 クリップ（プラスチック部品）を挿入する際に使用する省人機械/自動機械です。 一定の速度でクリップを挿入することが可能です。 主に自動車内装部品の組立工程に採用されています。（ページ下部にて事例動画を公開中） 当社では、この他にも表皮巻機や溶着機などの設備を保有しております。 パトライト、安全カバー、タッチパネルなど各種オプションもござ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケーエスジー（春日井加工）

【蓄電デバイス用試作設備】コーター　＜製品テストが可能＞

オプションを豊富にご用意。ニーズに応じた塗布装置をご提供いたします

『コーター』は、銅箔・アルミ箔やフィルムに合材を一定の厚さで 精度良く塗布する装置です。 当社の製品は、塗布方式によって、コンマヘッド式・ダイヘッド式・ グラビアヘッド式の3種類の塗布方式が有ります。 オプションも豊富で、要望する内容によって、必要なオプションを 選択し、適した塗布装置をご提供致します。 【特長】 ■製品テストが可能 ■コーティング方式は3種類 ■オプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンクメタル 東京営業所

小型実験機で高精度を実現　スリット式塗布装置　リサーチコータ

様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパク…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

ラボ用、高精度スリットコータ『リサーチコータ』LC-R300G

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。 設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。 対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。 ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

両面プロセスに最適！両面自動フォトレジスト塗布装置　コーター

ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

一度ウェハをセットするだけで、ウェハの両面プロセスが自動で行える装置です。 塗布は片面ずつ行いますが、反転ユニットを使い、自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。 ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。 ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度～高粘度まで対応可能です。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

反りウェハも搬送！ベルト搬送式自動レジスト塗布装置（コーター）

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…

【特長】 ■ベルト搬送で高スループット（処理能力が高い） ■反りウェハの搬送も可能！ ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ロボットを使わず、高スループットを実現！ベルト搬送でのスピンコーターです。 トラックシステム（ベルト搬送）のため反りウェハの搬...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー（ガリ砒素、ガラス、セラミック）等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンコーター『APOGEE』

リアルタイムに情報をフィードバック！高い再現性＆回転誤差極小のスピンコ…

米国ブリューワーサイエンス社製のスピンコーター『APOGEE』は、 回転精度の再現性、回転誤差ともに＜0.2rpmの高精度を備えた製品です。 独自のデータストリーム技術を採用し、 測定情報のリアルタイムなフィードバックが可能。 ステップ時間は0.1秒単位で設定でき、レシピの作成数に制限がありません。 測定環境の監視機能を搭載し、測定データの変換・読み込みも可能です。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク（MAX400℃）、低温ベーク（MAX200℃）、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能！ その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド（PI）、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます！ シリコン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コンパクト！装置幅300mm自動レジスト塗布装置（コーター）

装置「幅」が300mm！ウェハサイズではなくて装置の幅が300mmの装…

装置幅が300mmのミニマルな装置を作製できます！ 幅は300mmですが、その分高さと奥行きはそれなりの長さになります。 300mm幅での装置作製実績があるので、後はメンテナンス性やトラブル時の部品交換などのランニングコストを考慮して装置の大きさを決定していただけます。 設置スペースの制限や建物の出入り口の大きさの制限、エレベーターなどの設置位置までの搬送ツールの大きさの制限などに対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

超精密液体噴霧システム

最大100,000CPSの液体に対応！シリンジ、カテーテル等、様々な製…

『超精密液体噴霧システム』は、エアーを使用し、細かく均一に 液体の噴霧が可能です。 高精度＆高耐久性で、最大100,000CPSの液体に対応。高粘度液体には オプションで、ノズルへのヒーター取付けが可能です。 また、SUS316製標準ビームスプレー(円錐形パターン)ノズル又は ロングノズルをご用意しており、液体の液質や噴霧量に適した ノズル径をご提案します。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アキュレックス 本社、大阪営業所

小型で高精度！スリットコータ『リサーチコータ』LC-R400G

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

薄膜形成装置 エレクトロスプレー SLEF-100

室温・大気圧下で高品質な薄膜を形成！電着による塗布とX-Yロボットで高…

『室温・大気圧』下であるにも関わらず、均一な薄膜を形成致します 『電着による塗布』＋『X-Yロボット』＝ムダのない効率的な塗布！ マスク板を汚しにくく『お手入れも簡単』！ 【特徴】 ・小型な装置でスプレーコーティング ・高温・高真空下ではなく、室温・大気圧下で塗布 ・電着による塗布により塗液を効率的に塗布！ ・X-Yロボットを使用した正確なコーティング ・マスク板を汚しにくいの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

【SCREEN】”塗る”を極めたスリットコータ ※カタログ進呈

ラボスケールでの高精度塗布を実現。低粘度から高粘度まで、実験・試作段階…

『リサーチコータ』は、液晶や有機ELディスプレー製造工程で 数多くの採用実績を誇る「コーターデベロッパー」の高度な塗布技術を ラボスケールに展開したスリットコータ（ダイコータ）です。 塗布部にはスリット式塗布装置「リニアコータ(TM)」を搭載。 1～10,000mPa・sの低粘度から高粘度の塗布材料を、ガラス基板、樹脂基板、 フィルム、金属箔など様々な基材に高精度にスリットコートでき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

デモ機貸出中！　高精度スプレーコーター『API-40RD』

吐出精度１％以下！成膜プロセスを効率化する卓上型スプレーコーター！デモ…

『API-40RD』はタッチパネル、燃料電池等の各種ナノ材料や 成膜プロセス開発のために最適化された高精度スプレーコーターです。　 卓上に置ける超小型ながら、吐出再現性は1％以下という超高精度を実現！ 薬液は1実験あたり3ml～10mlという少量で済み、コストを大幅抑制できます。 【特長】 ■使い捨ての着脱式スプレーヘッドで、取付カンタン ■使用前後のメンテナンスがほぼ不要 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

高出力紫外線照射装置『UVflasher TX2000』

瞬時の硬化を実現！パルス発光による環境配慮型高出力紫外線照射装置！自動…

『UVflasher TX2000』は、紫外線を強力なパルス発光により照射し、 連続発光方式と比べて熱の発生が少なく、遥かに短い時間で 樹脂の硬化を実現した紫外線照射装置です。 キセノンガスを使用しているので、環境負荷が少なく、発光電圧、 発光パルス数などを目的に合わせて容易に設定変更が可能。 専用ソフトが標準で付属されているので、導入後直ちに使用できます。 当製品は、単体で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクト

塗工装置『CEDコーター』

全塗工工程が完全密閉状態で進む！最新鋭の技術を駆使したCEDコーター

『CEDコーター（クローズドエッジダイコーター）』は、タンク・ヘッド・ポンプ部がすべて密閉されているのが特徴の塗工装置です。 全塗工工程を完全密閉状態で行えるため、溶剤にチリやゴミなどの異物が混入しないほか、溶剤が空気に触れて蒸発することもないことから、希釈調整の必要もありません。 『CEDコーター』は、テクノスマート特許の“最新鋭のクローズドタイプコーター”といえます。 【特徴】 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート

塗工機『スマートラボ』

研究・試作用途に最適！各種乾燥方式を選択可能な高精度設計塗工機

企業の研究・開発をサポートする機械として需要が高いラボ塗工装置（塗工機）。 新商品開発をにらんだマーケティングサンプルの生産に流用できます。 コンパクトな仕様ながらコーター、フローティング、巻出・巻取装置と 全製作ラインを抑えているため、目的とする製品によっては 生産機としても十分機能します。 【特長】 ■研究、試作用途に対応した高精度設計 ■各種カセットチェンジコーターラインナ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート

大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター

430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、…

角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。 また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます（高粘度で実績多数！） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

低～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの半自動機（セミオート）も作製…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために半自動（セミオート機）の製作を低価格で実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

10000cP！高粘度対応自動レジスト塗布装置（スピンコーター）

10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス…

高粘度レジストの塗布に強みを持っています！ 例えば、400cP以上のレジストでも面内均一±5％以内に納めます（φ300mmウェハ） ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)特許の回転カップ方式によって厚膜を均一良く塗布することが可能です（保有特許：第3821468） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

R&Dや少量生産に最適！手動レジスト塗布装置(スピンコーター)

研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置！卓上タイプとは違う自動機と同…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、装置の低価格を実現しました♪ 自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために最適な手動機（マニュアル）装置です。 卓上タイプとは違い、自動機と同等のレジスト塗布が可能なので、自動機へ移行した際もプロセスの条件出し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高粘度フォトレジスト対応！密閉式自動レジスト塗布装置（コーター）

高粘度フォトレジスト塗布に自信があります！10000cPのポリイミドで…

高粘度フォトレジストやポリイミド塗布の実績が多数あります！ 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 ベローズポンプやシリンジの対応も可能です！ マニュアル機～フルオート機までお客様の生産量に合わせて設計から製造まで行います。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■高粘度塗布でも高均一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ラボ塗工装置『スマートラボ』

コンパクトな生産機としても機能！企業の研究・開発を支えるラボ塗工機

『スマートラボ』は、企業の研究・開発をサポートする機械として需要が高いラボ塗工装置（塗工機）です。 新商品開発をにらんだマーケティングサンプルの生産に流用できます。 コンパクトな仕様ながらコーター、フローティング、巻出・巻取装置と全製作ラインを抑えているため、目的とする製品によっては生産機としても十分機能します。 【特徴】 ○研究、試作用途に対応した高精度設計 ○各種カセットチェンジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート