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43件 - メーカー・取り扱い企業
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16件 - カタログ
131件
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短納期・小ロットでも対応可能です。 経験豊富な技術者による対応。 …
特徴 ・短納期 ・小ロットでも対応可能です。 ・経験豊富な技術者によるトータルソリューション ・塗布の均一性を追求した精密コーティング ・スピンコーターの貸出レンタルも行えますので、お客様の用途、環境に合わせてご提案いたします。 対象基板・ワーク ガラス:10mm□~200mm□・400×500mm ウエハ:Φ2インチ~Φ300mm 機能性フイルム:MAX400×500mm 光...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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短納期・小ロットでも対応可能。 経験豊富な技術者による対応。 50…
【特徴】 ・短納期 ・小ロットでも対応可能です。 ・経験豊富な技術者によるトータルソリューション ・お客様のニーズにお応えするために、共同開発や試作加工、小ロットの 特注など柔軟に対応いたします。 【設備ラインナップ】 ・洗浄 ロールtoロール式洗浄 スピン洗浄 炭化水素洗浄 減圧乾燥 ・コーティング スリットコーター スピンコーター ロール...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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低コスト・小ロット(1個)からご注文賜ります。JIS規格から特殊サイズ…
低コスト・小ロット(1個)からご注文賜ります。JIS規格から特殊サイズまで製作可能な樹脂ベアリングです。 食品・自動車・電子産業への納入実績多数あり。 お気軽にお見積り・お問合せ下さい。 耐腐食性、耐熱性、非磁性、軽量性、絶縁性などの特性を持つFineセラミック素材で製作されており、既存の鋼材(SUT2)ベアリングでは困難な特殊環境分野に適合します。 製品特徴 1.耐食性・・・強酸、...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定…
【装置仕様】 ・ 基板サイズ :MAX200mm□基板(対角300mm以内) ・ 基板の受渡し方法 :人手によるセット/リセット ・ 装置重量 :約50Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 :φ500mm ・ カップ材質 :SUS+ミガキ#400 ・ カップ処理 :オプション テフロンコーテ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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短納期・低コストの直動部品です。小ロット(1個)からご注文賜ります。
差別化された技術、厳格な品質管理と競争力のある価格で、 Linear Motion Systemのご提供を行っております。 国内メーカーと比べて短納期でご提供が可能です。 超小型ミニチュアタイプから一般的なボールタイプまで、幅広い内容のリニアモーションガイドを提供しています。低音リニアモーションガイドから超高剛性ローラーリニアモーションガイドまで、異なる形状、サイズなどの条件に応じて、それぞ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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低コスト・小ロット(1個)からご注文賜ります。JIS規格から特殊サイズ…
低コスト・小ロット(1個)からご注文賜ります。JIS規格から特殊サイズまで製作可能なPEEKベアリングです。 食品・自動車・電子産業への納入実績多数あり。 お気軽にお見積り・お問合せ下さい。 耐熱性、耐腐食性、自己潤滑性、耐放射線性、難煙性、機械的性質が優れた熱可塑性 の高機能プラスチック材料を使用して製作したベアリングです。 製品特徴 1.耐熱性が優れている(連続使用温度 200℃...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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ステンレスパイプ及び無垢の引き抜き材を使用。 特殊仕様のシャフト(C…
SHAFT及びROLLERを製作後又は、SHAFTとROLLERを組立後検査過程を 行い高品質のものをご提供いたします。 FPDの大型化、高精細化、製造経費削減など ニーズによる新規Conceptの Shaftの開発の必要性が急増しています。 より軽量に、より撓みをなくし振れを最小限にするシャフトを製作しております。 半導体分野、PDP、LCD 製造設備、化学設備、食品設備、精密機械産業...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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搬送コンベアにおいて非接触での駆動伝達が可能。 非接触なので発塵がな…
異方性NdFeB稀土粒の材料を利用して製造したマグネットで、製薬・飲食物・LCD・有機EL・半導体業界の製造工程の中で、特にクリーンな環境の中での搬送系の非接触型駆動ギアとして、ご使用頂いております。 局数、内径・外形、固定方法などにより、様々な種類をご用意しております。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【主な特徴】 ○寿命が永久的で、交換・修理が不...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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軽量・コンパクトな卓上タイプ
【装置特徴】 基板サイズ:MAX370×470mm 温度範囲:MAX200℃ ホットプレートGAP:0.3mm(プロキシタイプ) 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 ...【装置特徴】 基板サイズ:MAX370×470mm 温度範囲:MAX200℃ ホット...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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実験可能サイズ:600×700mm(最大) ランプ照度:50~140…
【実験機仕様】 ・実験可能サイズ:600×700mm(最大) ・ランプ照度:50~140mW ・ランプ灯数:5本 ・ステージ搬送速度:0.5~5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー:N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム:クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度RF放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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低コスト・小ロット(1個)からご注文賜ります。JIS規格から特殊サイズ…
低コスト・小ロット(1個)からご注文賜ります。JIS規格から特殊サイズまで製作可能な樹脂ベアリングです。 食品・自動車・電子産業への納入実績多数あり。 お気軽にお見積り・お問合せ下さい。 特殊環境用軸受、特殊環境条件でも軸受が使用できるように軸受の内輪外輪、保持器、転導体の素材をプラスチック・セラミックス、PEEK、フッ素樹脂等多様な特殊素材を複合して構成生産しています。 その他詳細は、カ...
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装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター…
【装置ラインナップ】 スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター 【コーターの特徴】 ・10mm□~G8基板サイズまで可能です。 ・薄膜から厚膜(1~500μm程度)まで均一性に優れた塗布精度の高いコーターです。 ・各種装置のテスト機にてご評価頂けます。 ・低粘度から高粘度(数cp~5,000cp)まで、塗布の均一を維持向上致します。 ・お客様の用途、...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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300mmウエハでも全視野ワンショット1秒以下で検査可能。
【装置概要】 300mmウエハでも全視野ワンショット1秒以下で検査可能で、 検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。 小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に 赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。 近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、BG 加工の不均一性や 研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を 高速で...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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あらゆる分野の自動機をカスタム製造でご提案!電子部品の加工ラインなど、…
【搬送コンベア】 各種プロセス装置のローダー・アンローダー及び装置単体からライン までトータルサポート。MaxG10サイズまで製作可能。マグネットギア による伝道部の非接触化、帯電防止ローラの採用、気流の最適化などに よりクリーン環境を維持。 【ロボットシステム】 設計から製造、ロボットティーチングの一貫生産で、製造現場の 自動化・省力化を推進。お客さまの要望や現状をヒアリングし...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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10mm□~G8基板の受託が可能 小ロットの特注対応 多彩なニーズ…
【特徴】 お客様の技術・試作開発に全力でサポート致します。 コーティング・印刷・ラミネートの技術力・提案力・行動力を生かし お客様にとって安心・信頼できる ビジネスパートナーとなることを目指しております。 1.10mm□~G8基板の受託加工が可能です。 2.お客様のニーズにお応えするために、共同開発や試作加工、小ロットの特注など柔軟に対応いたします。 3.テスト装置の販売、レンタルも...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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炭化水素(NS-100など)を使った洗浄実験(超音波洗浄対応)が可能で…
3槽式炭化水素洗浄機 【装置構成】 ・対象ワークかご寸法:W300×D300×H250mm(SUS製) ・対象バレルかご寸法:Φ250×D300mm(SUS製) ・対象ワーク重量:Max10kg ・洗浄工程 1)本洗浄 ー 減圧+超音波(600W 26kHz) 2)リンス洗浄 ー 常圧+脱気+超音波(600W 26kHz) 3)ベーパー洗浄 ー 減圧ベーパー ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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業界初!レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・…
業界初!レンタル専用スピンコーター 受託加工(成膜・塗工)も対応可能 対応基板サイズ(MAX):250mm□・300mmウエハ 対象ワーク:ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間:15日間~1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓上タイプ ...【装置構成】 ・基板サイズ(MAX):250mm□・φ300mm ・回転数:MAX6000rpm(...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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電磁スキャナー式(特許取得済み) ダメージレスで非破壊で測定可能 …
初心者でも正確な測定が可能です! サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます! ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。 【製品特徴】 ・奥行幅、共に15cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能 ・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績 ・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します ・スキャンに電磁スキャナー(特許取得済み)を使用す...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量:3.8kg 寸法:W3…
超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量:3.8kg 寸法:W320×D260×H180mm デモ機貸出可能 【社内実験機仕様】 ・実験可能サイズ:600×700mm(最大) ・ランプ照度:50~140mW ・ランプ灯数:5本 ・ステージ搬送速度:0.5~5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー:N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム:クラス10,000 ・接触角計で...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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機能性フィルム・有機EL用洗浄装置
低速搬送によるディップ処理で処理部をコンパクトにすることが可能。 純水使用量やフットプリントを大幅に低減できます。 ...【ユニット構成】 処理幅:200~400mm 厚み:75~150ミクロン エキシマUV 超音波洗浄 ブラシ洗浄 2流体シャワー エアーナイフ乾燥 IR乾燥 ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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機能性フィルム、金属箔、不織布、生地、紙等の分野で優れた新規性の機能を…
【機能と特徴】 1)ロール外形寸法はφ110mmとφ130mmの2種類あります。 2)ロール外周部はEPDMもしくはシリコーンゴムからなる ストレッチリングで構成されています。 3)このゴムリングには、接触する基材を外側へ伸ばす ストレッチエレメントがあり、ロール回転によるストレッチ効果を もたらします。 4)ストレッチエレメントはロール外形によって30セットもしくは ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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SiC、サファイア、GaNウエハなどの化合物系ウエハ外観検査装置です。…
内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の4つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、AFMやウエハ厚さ測定を載せる事も可能です。 【装置アプリケーション】 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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初めてフィルム搬送をお考えの方に ロールtoロール搬送でお困りの方に…
お客様ニーズに合わせプロセス装置の巻出し・巻取り部を設計・製作 張力(1~100N)・低速、高速自動搬送が可能。 基材の傷・シワ・ダメージレスで搬送を行います。 端面支持搬送による両面洗浄プロセス処理が可能。 導入事例 機能性フィルム・有機EL・液晶デバイス・2次電池 対象基板 機能性フィルム・PEN・PETなど 装置導入事例 欠陥検査装置の巻出し・巻取りユニット ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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多彩なフィルム・ガラスに対応するラミネート装置
近年はラミネート機械だけではなく、スリッター&カッティング機械、自動機械の製品化を成功して参りました。 設計より製造まで一貫生産してます。 いままで多数の加工機/生産機を製造しております。 ラミネ-トに限らずお客様のオーダーメイドなラインご相談もお受けしております。 またテスト加工等の機械も数十台取りそろえておりますので実験を繰り返しての機種や機能選定も可能です。 お気軽にご相談ください...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度:数cp~10,000c…
【装置特徴】 対象基板:G8サイズ 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度:数cp~10000cp ・膜厚:1~100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 【テスト実験設備】 ・クリーンブース(クリーンルーム内に設置) ・スリットコ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…
ウエハレベルCSP用/ TAB用/COF用など、広範な生産技術に対応。 ・面内均一性に優れ、50nm ~ 100μmレベルの薄膜・厚膜形成が可能 ・塗布事例:薄膜・厚膜・凹凸・貫通穴への精密コーティング ・装置の販売及び実験、受託テストも行えますのでお客様の用途、環境に合わせてご提案致します。 【スピンレス塗布装置】 ウエハ・ディスクなどの円形基材に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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CFRPは鉄やアルミなどの金属材料よりも低密度でありながら、力学特性に…
FPDの大型化、高精細化、製造経費削減など ニーズによる新規ConceptのShaftの開発の必要性が急増しています。 より軽量に、より撓みをなくし振れを最小限にするシャフトを製作しております。 シャフトの種類 1.CFRP+SUS 2.CFRP+PVC 3.CFRP Pipe 4.CFRP丸棒 製品特徴 1、FPD大型化による軽量化実現 2、製作対応サイズ G10サイズま...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ:200mm□ ・レンタ…
レンタル専用スリットコーター! 受託加工(成膜・塗工)も対応可能 対応基板サイズ(MAX):200mm□×0.4~1.1mmt 対象ワーク:ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間:1ヶ月~6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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省液塗工を実現!1回の塗工で最少5ccを実現 軽量化卓上コンパクトタ…
1.機械サイズがコンパクトで軽量 2.塗工液の粘度幅が広い 1cps~100,000cps 3.膜厚範囲 1μ~1.5mmt 4.ロールtoロールタイプ、自動機など カスタマイズ仕様に対応 5.ストライプ塗工(最小塗工幅2mmまで) 6.ダイリップの自動洗浄ユニット 7.2層3層同時塗工ダイ製作可能 8.Wet on Wet塗工が可能 ...1.機械サイズがコ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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低コスト・小ロット(1本)からご注文賜ります。G10サイズまで製作可能…
FPDの大型化、高精細化、製造経費削減など ニーズによる新規ConceptのShaftの開発の必要性が急増しています。 より軽量に、より撓みをなくし振れを最小限にするブラシシャフトを製作しております。 ブラシシャフトの芯金の種類 1.CFRP+SUS 2.CFRP+PVC 3.CFRP Pipe 4.CFRP丸棒 製品特徴 1、製作対応サイズ G10サイズまで納入実績あり ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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自動精密ディップコーティング装置 約20台の実績
機能性フィルム・有機EL・LCD・半導体デバイス・スマートフォン向け精密部品など実績多数...【装置構成】 ・対象サイズ:Max1000mm□ ・自動搬送ロボット ・LD/ULD ・ディップコーティングユニット:上下駆動・撹拌ユニット ・洗浄ユニット:超音波洗浄・カスケード洗浄・オーバーフロー洗浄 ・乾燥:熱風乾燥...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置
・機能性フィルム、有機EL研究用フィルム改質装置 ・幅200~300mmのフィルムに対応 ・常圧プラズマ発生装置を中央に左右往復搬送が可能 ・ガイドフィルム挿入、または保護フィルム合わせ巻取りモードを選択 ・搬送速度0.1~1m/min(実際は4m/min達成) ...・全面樹脂カバーとHEPAユニットでクリーン度を保持 ・改質時に放出されるオゾン、N2ガスを封じ込め、オ ゾン吸着...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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各種ケミカル洗浄、超音波洗浄、フォトリソ装置の取扱
半導体デバイス・MEMS・LCD・有機EL・タッチパネルなど 電子デバイス向けケミカルウェットステーションを100台以上納入。 デモ機・評価システム完備。...【各種取扱装置】 超音波洗浄 ケミカル洗浄 現像・エッチング・剥離装置 スピン洗浄 ディップ洗浄 ロールtoロール洗浄...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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業界初!小型コーター 回転数MAX8,000rpm!
1.小型・軽量 W180×D210×H200mm 約3.5Kg 2.主軸回転数 Max8000rpm 3.ワーク寸法 1インチ・2インチ・50mm□ 4.ワーク固定 内蔵真空ポンプによる真空吸引 5.ユーティリティー AC100V 2.0A コンセント ...【製品長所】 1.低価格・短納期 2.業界一省スペース・最軽量 3.高性能、高安定、高機能 4.真空ポンプ内...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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G2~G6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター
多種多様なフォトマスクサイズ対応。 幅広い膜形成に対応し、膜厚均一性と安定性に優れ、高い歩留まりを実現したインナーカップ方式の自動マスクスピンコーターです。...【装置構成】 ・自動搬送ロボット ・スピンコーター ・スピン洗浄 ・エキシマUV ・ホットプレート ・ローダー/アンローダー...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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スマートフォン用精密部品・半導体デバイス・有機EL・自動車部品向け洗浄…
防爆仕様・有機溶剤使用・精密部品・スマートフォン付帯部品の洗浄...【装置構成】 ・自動搬送機構 ・ディップ洗浄 ・減圧乾燥システム ・防爆仕様 ・自動消火システム...
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実験用小型スリットコーター ・基板サイズ:200mm ・粘度:数c…
【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10,000cps ・ノズル上下駆動:サーボモーター ・テーブル駆動:リニアモーター ...【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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平面プレス・ロールプレスに対応 真空雰囲気でのロール加圧対応
【装置特徴】 フィルムサイズ:MAX400mm□ 最大加圧力:平面プレス400kN・ロールプレス50kN 加熱温度:Max200℃ テスト機による実験対応可能です。 詳細仕様は別途お問合せ下さい。 【主要用途・実例】 ビルドアップ基板・部品内臓基板・フレキシブルプリント基板・燃料電池・セラミックグリーンシート・機能性多層フィルムなどの貼合わせ・成型 燃料電池M...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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洗浄・塗布後の基材を減圧状態にして乾燥を促進させる装置です。 実験機…
【装置構成】 ・対象ワークかご寸法:W300×D300×H250mm(SUS製) ・対象バレルかご寸法:Φ250×D300mm(SUS製) ・対象ワーク重量:Max10kg ・洗浄工程 1)本洗浄 ー 減圧+超音波(600W 26kHz) 2)リンス洗浄 ー 常圧+脱気+超音波(600W 26kHz) 3)ベーパー洗浄 ー 減圧ベーパー 4)乾燥 ー...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R&D用途…
【装置仕様】 ・ 基板サイズ :φ4~250mm□基板 ・ 基板の受渡し方法 :人手によるセット/リセット ・ 装置重量 :約48Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 :φ500mm ・ カップ材質 :SUS+ミガキ#400 ・ カップ処理 :オプション テフロンコーティング ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R&D用途…
【装置仕様】 ・ 基板サイズ :φ10~150mm□ 基板 ・ 基板の受渡し方法 :人手によるセット/リセット ・ 装置重量 :約22Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 :φ300mm ・ カップ材質 :SUS+ミガキ#400 ・ カップ処理 :オプション テフロンコーティング ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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レンタル専用エキシマUV ・長期貸出可能 15日~1年間以上 ・月…
【レンタルのメリット】 ・装置導入が難しい ・既存の装置が故障した時 ・急遽、エキシマUV装置が必要になった ・保守、メンテナンス、固定資産税、管理コストを抑えたい ・新規装置導入可能:別途ご相談下さい 【特徴】 ・高照度RF放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダによ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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高照度172nmエキシマランプ 管面照度150mW/cm²以上
【特徴】 ・高照度RF放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長:MAX G10サイズまで 【無電極照射ユニット・N2スリッドホルダー構造】 ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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