【新製品】エアリークを可視化ですぐに検知！ 産業用超音波カメラ

PR圧縮空気・ガスの漏れの「見える化」 圧縮エアー・ガスのリークを可視化す…

・圧縮空気・ガスの漏れの「見える化」 圧縮エアー・ガスのリークを可視化することで、すぐにピンポイントでガス漏れを画面上に表示することができます。高所や大きな配管の継手等、通常のガス検知器では難しい場所のリークも検知できます。ガス種は関係なく、可燃性ガス、蒸気のリークも検知できます。 ・見やすく操作しやすいディスプレイ 7インチのタッチスクリーンにより、簡単操作でリークを発見できます。周波数範...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部

廃プラスチックのリサイクルシステム＜NEW環境展出展！＞

PR【ゼロエミッション推進！】廃プラスチックを燃料化、エネルギーコストを大…

当社ではプラスチック再生機の国際的メーカー、エレマ社の装置を中心に 廃プラスチックのリサイクルシステムを提案しています。 特に産業廃棄物となってしまっている、マテリアルリサイクルできない プラスチックに対して油化、RPF化により燃料化し、電気、蒸気、温水等をつくりだします。 ゼロエミッションを推進し、工場のエネルギーコスト削減をサポート。 ☆補助金活用により費用を抑えた導入実績も...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南貿易

真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替え…

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。 【特長】 ■到達真空を改善 ■銅...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

極高真空計『3B-Gauge』

X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 【特長】 ■3つの測定限界を総合的に改善...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

ガス漏れなしで圧送！新開発のロータリーブロワ―

軸貫通部にマグネットカップリングを採用。軸貫通部がないためガス漏れなし…

軸貫通部にマグネットカップリングを採用し、シールレスを実現したロータリーブロワ―。 軸貫通部をなくすことで、ガス漏れを解消。 漏洩が許されないシビアな環境下での利用に適しています。 【メリット】 ・原子力関係などガス漏れが許されないシビアな環境下で利用が可能。 ・マグネットカップリングの寿命は半永久。 ・長寿命化によるメンテナンスコストの削減が可能。 ◎詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社四葉機械製作所

　非蒸発型ゲッターポンプ　マジックNEG

残留水素でお悩みの方に！

0.2%BeCu合金の真空容器に小型のニップルNEGカートリッジを挿入したNEGポンプです。 活性化は中央部に配置したスパイラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせてポンプ自体からのガス（水素）放出が 従来型NEGポンプの1/10まで小さくなっています。 450℃活性時に要する電力はICF70タイプが22W、114タイプが50Wと省電力です。 0.2%BeCu合金...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』

フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能！真空及びガス置換雰囲…

『HMS2-300』は、フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能な ため、高温化での成膜が可能な2インチ2元スパッタリング装置です。真空 及びガス置換雰囲気下での成膜に対応しています。2インチマグネトロン式 スパッタカソードを具備しており、最大3元まで増設可能です。オプション でL/Lチャンバ、移動式膜厚計、バイアス機構に対応しています。 【特長】 ■フラットヒータ加熱によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

【化学業界向け】ドライ真空ポンプ

水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ

◆化学業界で水封式真空ポンプからドライポンプへ置換える際に、様々な吸引物により、一般的なドライ真空ポンプでは不具合が発生します。当社のドライ真空ポンプは吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、故障せず安定した連続運転が可能です。 ◆真空蒸留・真空乾燥・反応槽脱気・溶剤回収など、水封式真空ポンプからの置換え実績が多数。 ◆独自設計のスクリューロータにより、吸引物を排出します。一般的なドライ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

デジタルマスフローメータ　MM-3000L series

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです

マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。 【特長】 ○高分解能（16ビット）A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示ＬＥＤを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

封液循環型　水封式真空ポンプ　SW-S/AS-Cシリーズ

有害物の流出を防ぐ封液循環型の水封式真空ポンプ

有害ガスが封液に溶解して排水されることを防ぐため、封液を直接流出させずに循環させる「封液循環型」の水封式真空ポンプです。排水処理でお困りの場合に適しています。 ◆水封式真空ポンプと気水分離タンク、熱交換器で構成されており、コンパクトにユニット化しました。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、ステンレス（SUS316相当）等の耐食性に優れる材質への選定も可能です。 ◆軸封部はグランドパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

SLD-100 スマートリークディテクター

ヘリウムガス不要！各種サーチガスを使用可能な光学式リークディテクタ。 …

◎高価で枯渇の恐れのあるヘリウムガス不要 ・アルゴンガスや大気（窒素）を用いてリークテスト可能 ◎検査時間の短縮、簡略化が可能 ・低真空領域（約50Pa）からテスト可能 ・ガス抜けが早く、検査タクトの短縮化が可能 ・サーチガス変更はワンタッチ ⇒大気中の窒素を用いてリークの有無や全リーク量を確認後、 　 アルゴンモードに切替えてリーク箇所の特定が可能 ◎高度なスキル不要 ...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

真空環境内の圧力測定センサ【真空環境内の圧力分布を同時測定！】

真空チャンバー内などセンサ複数設置により広範囲が測定可能！今まで困難だ…

「マイクロハクマク圧力センサ」は超小型・堅牢な設計で、真空設備環境内へ設置でき、今まで測定できなかったところで壓力測定が可能になります。最適な設備環境への改善・監視に結びつき、製品の高品質化、歩留まりの向上を通して低炭素化（環境負荷の低減）が達成できます。 【測定できなかったところでの 測定が可能に！】 ■真空環境内へ設置でき、ピンポイントで圧力の状態・変化を測定可能。 ■センサを複数設...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

超微粒子・ナノ粒子製造装置

対象材料は、各種金属・合金・セラミックなど広範囲！乾式なので清浄なナノ…

『超微粒子・ナノ粒子製造装置』は、水素（アルゴンとの混合）や 窒素などのガス雰囲気中で、材料をアーク溶解することにより強制的に 蒸発させ、超微粒子・ナノ粒子を作製することを目的に開発されました。 超微粒子・ナノ粒子化対象材料は、各種金属・合金・セラミックなどの 広範囲に渡ります。 また、発生室には、各所にナノ粒子を高効率に発生させ捕集するための 工夫がなされています。 【...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

真空シール組込み軸受けユニット

クリーンな高真空を実現、磁気シール組込み型、軸受けユニット

◎ロボットシールの高性能化を提案します。 ◎高温・活性ガスに耐えうる磁気シールを提供します。 ◎超高真空システムなどに対応します ◎漏洩磁束の少ない磁気シールを提供します。 ◎スタンダード品、カスタム品から目的にあった製品をお選びいただけます。...〜リガクが取り扱う真空シールユニットは、磁性流体を使用し、独自の設計で優れた耐磁場性、 　高真空性、耐久性を実現し、回転導入システムを提供し...

メーカー・取り扱い企業： 理学メカトロニクス株式会社 拝島工場

真空計測機器　マイクロハクマク圧力センサ

『世界初』真空環境内の圧力をダイナミックに測定できる真空計です。複数設…

真空技術は多くの産業で必要とされ、様々な生産設備が用いられています。それらの生産設備内の環境は、大気圧から10-5Paまで大きく異なり、また大半の生産設備は連続した複数の異なる加工環境工程で構成されています。そのため、製品の品質、生産性に影響をおよぼす設備内の環境で、それぞれのプロセス・製品近傍の圧力分布、ガスの流れを動特性（ダイナミック）に計測・把握することは非常に重要です。しかし、現状は真空計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

中型真空プラズマ装置【ワンタッチで簡易な操作性】

表面改質に特化した大型真空プラズマ装置！ワンタッチの簡単な操作性で初心…

表面改質に特化した大型真空プラズマ装置です。 ワンタッチフルオート機能、及び、オートリーク機能を搭載しているため、取扱が非常に容易で、真空機器初心者でも扱えます。 AC100Vのコンセントで動作しますので、様々な状況での使用が可能となります。 また大変メンテナンスが容易です。又、チャンバーサイズはご要望に合せて作らせて頂きます。...■大面積！φ400、A4サイズの処理対応 ■家電感覚の使用感 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体