エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

動画！応答性の速さ！不良を見逃さないサーボプレス機/マルチプレス

PR【高応答性の事例】マルチプレスはワーク倒れなどの異常を素早く検知し、N…

\こんなことでお困りではありませんか？/ ・ワーク倒れを金型やワークを破損せずに検出したい ・プレス加工を高精度で判定したい \動画で事例をご紹介/ コアテック製小型サーボプレス機/マルチプレスミニ（型式：PMS02-S）を使用した高応答性のメリットを見ていただけるデモです。 たまごよりも小さい樹脂製ボールには設定荷重をかけ、 同じ動作パターンでボールより大きいたまごを高さ異常...

メーカー・取り扱い企業： コアテック株式会社 本社/中部営業所/関東営業所

【オートフォーカス】顕微鏡対物レンズ⽤ピエゾステージ

100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで…

顕微鏡対物レンズ⽤の⾼速ピエゾ駆動ナノフォーカスデバイス。 100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能です。 【ポイント】 ・対物レンズをサブナノメートルの分解能でスキャンおよび位置決め ・ストローク～100μm、ミリセカンドレベルのセ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-734 XY ピエゾスキャナ

振れを極限まで抑える、センター開口部付き高ダイナミックシステム。100…

P-734高ダイナミックXYピエゾナノポジショニングステージは、 サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、 100 x 100μmのリニアストロークを実現します。 【特徴】 ○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御 ○パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御 ○ストローク：100 x 100μm、56 x 56m...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

PIHera高精度ステージ P-620.Z－P-622.Z

最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシ…

Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、 サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ○垂直ストローク：50～400μm ○高精度、低コスト ○0.1n...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-737 PIFOC試料フォーカシングZステージ

顕微鏡標本用の薄型ロングストローク ピエゾZナノポジショナー。ストロー…

PIFOC(R) P-737高速垂直位置決めシステムは、 顕微鏡検査のためのXYステージで使用するように設計されています。 【特徴】 ○高さ方向の高速ピエゾ動作：ストローク～250μm 　（500μmまでカスタマイズ可能） ○ナノメートル分解能 ○大きなセンター開口部によって標本押さえに対応 ○手動またはモーター駆動のXY OEMステージに機械的に適合 ○ミリセカ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

N-310 NEXACT OEMミニチュアリニアモーター

コンパクトで高速なPiezoWalk(R)ドライブ。20mmの標準スト…

N-310 NEXACT(R) PiezoWalk(R)リニアドライブは、 わずか25 x 25 x 12mmのコンパクトなパッケージに、 20mmのストロークと10Nのプッシュプルフォースの性能を備えています。 【特徴】 ○20mmの標準ストローク ○コンパクトでコスト効率に優れた設計 ○0.03nmの分解能 ○プッシュプルフォース～10N ○低動...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

N-111 NEXLINE OEMリニアモーター／アクチュエータ

長距離ナノポジショニング用のPiezoWalk(R)ドライブ。ストロー…

N-111 NEXLINE(R) OEMドライブは、ストローク～5mm、 高分解能、および発生力～40Nの、コンパクトなナノポジショニング用アクチュエータです。 【特徴】 ○ストローク：5mm ○分解能：0.025nm（オープンループ）と5nm（クローズ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-611.ZピエゾZステージ

コンパクトナノポジショナー。クローズドループストローク100μmを特徴…

P-611.Zステージは、設置面積がわずかに44 x 44mm、 クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積はわずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コス...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-517・P-527多軸ピエゾスキャナ

ダイレクト計測機能を備える高ダイナミックナノポジショナー／スキャナ

高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、 XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大4mradの範囲での位置決めが可能です。 【特徴】 ○2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ） ○ストローク～200μm ○サブナノメートルの分解能 ○摩擦のない高精密フレクシャガ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

最大800µm動作の精密位置決め用　対物レンズピエゾステージ

対物レンズ　精密位置決めステージ 充実した機能・高性能なPI社の対物…

テージは、 世界中のお客様にご使用されています。 今回、装置構造を見直し、以前より高剛性で、ロングレンジ駆動を可能にしました。 また扱いやすさも向上させた作りになっております。 【特長】 ・ストローク：100µm、400µm、800µm ・静電容量センサー内蔵 ・高剛性によりハイダイナミクス動作にも最適 ・ケーブルの柔軟性 ・幅広い設置方法 ※新デジタルコントローラとの併用でより高精度に！...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

小型精密位置決めステージ

場所を取らずに高精度位置決め可能！小型ステージのご紹介！

PI社製の小型ステージを駆動タイプによってご紹介。 サイズ比較や、小型ステージの積み上げ構成例などを一目瞭然で把握できます。また、分解能とストローク、耐荷重と速度についてどのようなステージが最適なのかを含め、精密位置決めステージをお探しの方にはとても分かりやすいハンドブック形式になっています。...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

高速・高精度リニアモーターステージ　V-551型

高加速度および等速駆動が必要になるアプリケーションに最適！ ストロー…

クロスローラーベアリングを用いた高精度リニアガイドにより、リニア位置決めステージは高い移動精度を実現。 特に一定速度が求められるスキャニングでの利用に適合します。 アンチクリープシステムは確実にケージクリープを防ぎます。 本ステージは、高速および高加速度を実現するため、アイアンレス磁気直接駆動を採用。磨耗のない駆動により高い位置決め分解能を得ることが可能です。 内蔵のアブソリュートエンコーダー...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

【顕微鏡検査】開口付　高精度XY軸ピエゾモーターステージ

厚さ32mm、分解能0.1µm、XY：25mm動作範囲　開口付ピエゾモ…

U-751　開口付ステージは、顕微鏡検査における自動位置決めアプリケーション用に設計されたものです。 【特徴】 ○内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現 ○ストローク：25×25mm ○分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵 ○コンパクトな設計：断面高さ32mm、設置面積170×170mm ○センター開口部：78×78mm、66×66mm（最大拡大時） ○...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

PI社　精密対物レンズ位置決めステージ

私たちの対物レンズピエゾ位置決めステージは、顕微鏡を用いた生体観察、ス…

分に満足できなことがあります。 高精度な画像認識、高速駆動、高分解能が必要な場合には、 ナノメートルの駆動が可能な、ピエゾアクチュエータを利用した 対物レンズ位置決めステージが最適です。 ・ストローク：18µm～最大2mm駆動タイプ ・静電容量型センサー、歪ゲージセンサーによるフィードバック制御 ・数msecの高速スキャニング ・高負荷駆動ポジショナー ・各メーカに適切なスレッドアダプタ ・...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

3軸高精度位置決めピエゾステージ　P-561－P-563

高精度ナノポジショニングステージ、3～6軸

多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。 【特徴】 ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○動作軸：XYZ軸 〇ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○比類のないスキャニング平坦度 ○高ダイナミックなXYZバ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726

大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー。静電容量センサーによ…

に開発されました。 【特徴】 ・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング／スキャニング ・共振周波数1120Hz（210g負荷時560Hz） ・標準セットリング時間約6ms ・ストローク100μm ・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現 ・分解能～0.3nm ・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-733.2／3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ

高精度XY(Z)スキャナシリーズ（開口部付き）。高速かつ高精度のナノポ…

P-733 XYおよびXYZピエゾ駆動ステージは、 高速かつ高精度のナノポジショニング／スキャニングシステムです。 【特徴】 ○ストローク：XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に～10μm ○静電容量センサーにより分解能～0.1nmを実現 ○直動式の高速バージョン ○真空対応および非磁性バージョン ○パラレル制御によるダイ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

【P-842－P-845プリロード付き】ピエゾアクチュエータ

高負荷および力発生用に、オプションで位置センサー内蔵タイプを用意

ーズピエゾトランスレータは、 スタティックおよびダイナミックアプリケーションのための高分解能のリニアアクチュエータです。 【特徴】 ○PICMA(TM)ピエゾセラミック層による驚異の長寿命 ○ストローク～90μm ○プッシュフォース～3000N ○プルフォース～700N ○サブミリセカンドの応答 ○サブナノメートルの分解能 ○オプション：真空対応バージョン、防水ケース ●詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-587 6軸高精度ピエゾステージ

長いスキャニングレンジ、位置の直接測定。最大8mradの回転レンジ

-587.6CDは、ピエゾフレクシャ駆動に基づく、 独自の高精度6軸スキャニング／ポジショニングシステムです。 【特徴】 ○表面計測について、6軸すべてのスキャニングと位置決めが可能 ○リニアストローク800 x 800 x 200μm ○最大8mradの回転レンジ ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○静電容量センサーでのダイレクト計測により優れたリニアリティを実現 ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-752高精度ナノポジショニングステージ

超高ガイド精度を誇る！最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高…

速ナノポジショニングステージは、 最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、 直進性が非常に高いことが大きな特徴です。 【特徴】 ○分解能0.1nm、高速応答 ○ストローク～35μm ○静電容量センサーによる高リニアリティ ○フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-611.XZ・P-611.2 XZおよびXZナノポジショナー

ナノポジショニングのためのコンパクトな2軸ピエゾシステム。設置面積44…

P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積44 x 44mm ○ストローク～120 x 120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、Z...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-212/216 PICA高出力ピエゾスタックアクチュエータ

スタティックとダイナミックのアプリケーションの為の高分解能。プリロード…

P-212とP-216のシリーズは、スタティックとダイナミックの アプリケーションのための高分解能のリニアピエゾアクチュエータ（トランスレータ）です。 【特徴】 ○ストローク～180μm ○プッシュフォース～4500N ○プルフォース～500N ○サブミリセカンドの応答 ○サブナノメートルの分解能 ○オプション：真空、高温、および低温 ●詳しくはお問い合わせ、また...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

PIHeraピエゾリニアステージP-620.1～P-629.1

ストロークの長い、コンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ。スト…

単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ○ストローク50～1800μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.0...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

【P-840・P-841プリロード付き】ピエゾアクチュエータ

スタティックおよび ダイナミックアプリケーションのための高分解能のリニ…

トランスレータは、スタティックおよび ダイナミックアプリケーションのための高分解能のリニアアクチュエータです。 【特徴】 ○PICMA(TM)ピエゾセラミック層による驚異の長寿命 ○ストローク～90μm ○コンパクトなケース ○プッシュフォース～1000N ○プルフォース～50N ○サブミリセカンドの応答 ○サブナノメートルの分解能 ○オプション：ボールチップ、真空対応バ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-611.1ピエゾナノポジショナー

低価格で、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクトな、リニアポジシ…

P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-225/235 PICA高出力ピエゾスタックアクチュエータ

プリロード付き高負荷ピエゾアクチュエータ（HVPZT）センサーオプショ…

イナミックのアプリケーションのための プリロード付き高負荷ピエゾアクチュエータ（トランスレータ）です。 【特徴】 ○超高剛性 ○プッシュフォース～30,000N ○プルフォース～3500N ○ストローク～180μm ○オプション：真空、高温、低温、および防水ケース付きの各バージョン ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社