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【技術資料】焼成依頼前に必読!材料ごとの適切な炉×温度の対応範囲
PR【研究・開発・OEM向け】焼成依頼前に知っておくと便利な《炉の設備×温…
焼成依頼に役立つ『炉×温度×材料の対応範囲』について紹介した本資料は、「大気焼成炉の対応温度とその実績」や「雰囲気焼成炉の対応温度とその実績」、「所有炉の対応温度」などを図を使いながら分かりやすく紹介した資料です。 【掲載内容】 ■よくあるお悩み事 ■加工実績例 ■大気焼成炉の対応温度及び実績分野 ■雰囲気焼成炉の対応温度及び実績分野 ■所有炉の対応温度 ■分野別の焼成温度域 ■受託加工フロー ...
メーカー・取り扱い企業: 新興窯業株式会社 工場
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PRリアクター・ドライヤー仕様!混合・反応・加熱・冷却・乾燥が1台で可能 …
『パムアペックスミキサ』は、パッチ式の高速反応機としても応用が 可能な製品です。 高速かつ効率的な反応混合が可能。 当社独自のスキ型ショベル羽根により材料が浮遊拡散されることで、 反応物同士の接触回数が多くなること、効率的に熱交換がされることで 効率的な反応、高収率を実現可能にします。 【特長】 ■材料をムラなく反応混合させることが可能 ■槽内の温度勾配が少ない環境下で...
メーカー・取り扱い企業: 大平洋機工株式会社
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多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ
コンパクトな筐体に3元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。 多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプシ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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量産対応バッチタイプスパッタリング装置 (STH10311型)
φ410基板×4枚の自公転基板台を4枚備えたバッチ型のスパッタリング装…
複数の自公転基板台の採用により、量産用としての処理量と優れた膜厚均一異性を両立したバッチタイプスパッタリング装置です。 サイドスパッタ方式により1mを超えるチャンバ系でありながら、基板やターゲットの着脱作業、真空層内のメンテナンスの簡易性を実現しました。 量産用途に最適なデータロ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種 簡易ロードロックタイプで化合…
当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。 全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した 簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。 サンプルテスト・仕様対...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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水素フリーDLCコーティング装置(高密度スパッタADMS装置)
独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成(水素含有量1%以下)優…
高密度プラズマスパッタカソードを最大4元装備。量産対応の大型バッチタイプスパッタ装置。 立体形状基板の全面コーティングに対応した基板自公転機構を備え、小型機械部品の生産に最適。 実績豊富な各部機構と制御ソフトに加えデータロギングソフト等優れたインターフェース...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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高水準な仕様と豊富なオプションで様々な成膜用途に適した研究開発用スパッ…
特長 ■クリーンなサイドスパッタ方式を採用 ■ロードロック式タイプ、バッチ式タイプの2機種をご用意 ■タッチパネルで簡単な操作・成膜条件管理、メンテナンスも容易な装置コンセプト ■設置スペースを取らないコンパクトな装置 ■お客様のご要望・用途に応える豊富なオプショ...
メーカー・取り扱い企業: 芝浦メカトロニクス株式会社
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相談だけでも歓迎!設計から製作、組立まで自社で一貫して対応!各種装置製…
ます。 また、デモ機にてサンプル処理を実施しておりので、 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【製作実績(抜粋)】 ■薄膜MEMS用超高温スパッタリング装置 ■薄膜MEMS用バッチ式スパッタリング装置 ■多元複合スパッタリング装置 ■有機EL用GB付きスパッタリング装置 ■ロードロック式二元スパッタリング装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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難しい材料、様々な基板形状、用途にも!非常に幅広い基板サイズに対応可能
キシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 【特長】 ■独自の技術で全ての金属、酸化物ターゲットに対応 ■面サイズは1mmx1mmから300mmx560mm、厚さは2...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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SDR型巻取式スパッタリング装置(RtoRタイプスパッタ装置)
サンプルテスト対応中 フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…
り安定した稼動を実現。 プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなど豊富なオプション機構を揃えており多目的なフィルム連続処理装置として運用可能 R&D用小型機やシート対応のバッチ型装置など目的・用途に合わせて柔軟にハード&ソフトの実現...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…
力を手動操作型の簡易実験機で実現 8インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりMEMS・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応 電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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フルオートで大気に曝されることなく成膜完了! 〜サンプル測定実施中!…
装置構成: 成膜チャンバー本体・自立制御盤・チラー・コンプレッサ 処理方法: バッチ処理 スパッタ源: マグネトロン式φ25mm×5 ※詳細はカタログ裏面をご確認ください。...
メーカー・取り扱い企業: 九州計測器株式会社
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導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温(400℃以下)で不活性…
多元カソードをにより基板に合わせて密着層+導電性カーボン膜の積層成膜。 同時スパッタによる導電性カーボン膜への金属の添加など新材料開発に対応。 実績豊富な基本チャンバ構成による表面処理用大型バッチタイプとR&D用のコンパクトタイプの2機種をラインナップ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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各種研究開発、材料開発等に幅広く対応できる成膜装置。多様性・拡張性を持…
【成膜室】 ・処理方式: バッチ式/ロードロック式 ・カソード方式: ロングスローマグネトロンスパッタリング ※ヘリコンスパッタ(通称) ※オプション ・カソード数: 2インチカソード(磁性体、非磁性体共用) Max.4台ま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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「有機EL用GB付きスパッタリング装置」や「研究開発用IBS装置」など…
を保有。 デモ機にてサンプル処理を実施しております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【製作実績(抜粋)】 ■薄膜MEMS用超高温スパッタリング装置 ■薄膜MEMS用バッチ式スパッタリング装置 ■多元複合スパッタリング装置 ■有機EL用GB付きスパッタリング装置 ■ロードロック式二元スパッタリング装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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